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近年來,國內的光電產業在數位相機、手機相機、DVD/VCD 光碟機及投影機等蓬勃的成長下,帶動了精密光學元件的需求快速增加,而精密光學元件不可或缺的重要設備便是超精密鑽石車削機。由於鑽石刀具有高硬度、高熱 導係數、低摩擦係數、低熱膨脹係數及可製作極為銳利的刀刃等特性,因此可達到良好的形狀精度 (form accuracy) 與表面粗糙度 (surface roughness) 的要求,此二項正是評估光學元件品質的重要指標。本文以超精密鑽石車削加工誤差因素為重點,介紹各種加工誤差與形狀精度及表面粗糙度之關係,並說明加工機 台、切削工具及工件材料等對車削加工元件的影響。

加工機台

加工機台主要是由進給系統、 主軸系統及床台等所組成,其中進給系統包含驅動單元、拘束導軌單元及位置量測單元。目前常見的 超精密加工機大多採用線性馬達來驅動,導軌由靜壓軸承構成,而位置量測單元則為高解析度之雷射光學尺,以達成高精度與高剛性之進給要求。機器運動時,其運 動方向之定位精度係由驅動單元與位置檢測單元決定,其他方向則是由拘束導軌決定。由於加工尺寸增加,位置誤差亦隨之增加,故進給系統的運動誤差會直接影響 工件的形狀精度;其次各進給軸之直角度誤差也會影響工件的形狀精度。

此外,加工過程中因進給系統之動剛性 (dynamic stiffness) 所產生刀具與工件間之相對振動,亦會影響工件的表面粗糙度。加工過程中,由於切削加速度與切削力相當微小,因此機台靜剛性 (static stiffness) 所造成之變位量幾乎可以忽略。但機台之動剛性決定抑制振動的能力,雖然床台本身的振動隔絕裝置可隔絕來自地板的振動,但進給系統之電力配線、伸縮護套或導 軌之摩擦效應,都可能因位置改變而使機器產生振動。一般而言,機器之動剛性決定於機器之系統慣量 (inertia)、阻尼 (damping) 及自然頻率。動剛性愈高,刀具與工件之振動變位愈小,加工表面粗糙度就會愈佳。

位置感測器的位置亦會影響形 狀精度與表面精度,其安裝位置與工作軸都會存在偏位量,也就是所謂的阿貝偏位 (Abbe offset);阿貝偏位愈大,加工形狀精度愈差。若位置感測器之安裝機構設計或安裝不良,在加工過程中可能會有振動現象,機台會因位置迴授控制而隨之振 動,因此會提高工件表面粗糙度。

主軸安裝於機台時,其軸向方向應與 Z 軸平行,若有平行度誤差則會造成工件之形狀誤差。另外,主軸軸承之動剛性,誠如上段所述,也會影響工件之表面粗糙度。造成主軸振動之常見原因有主軸軸承表 面之真圓度誤差、主軸旋轉件之動平衡誤差、驅動電路雜訊干擾以及軸承空氣壓力擾動等,因此主軸系統對工件之形狀誤差與表面粗糙度都會有影響。

床台對加工精度之影響不若上述幾項因素明顯,超精密加工機大多採用花崗岩為機器床台,而花崗岩具有良好的熱穩定性與阻尼特性,因此,對環境溫度變化與振動所產生之變形量皆有很好的吸收效果,但若需長時間加工的元件,則有可能因為環境溫度變化而產生工件之形狀誤差。

車削工具

車 削工具包含鑽石刀具、刀具圓弧檢測裝置、切削液、集屑裝置等。鑽石刀具對加工誤差之影響因素有刀具之圓弧形狀、圓弧半徑 以及刀刃波紋 (waviness) 等。一般而言,鑽石刀具會修整為圓弧形狀,並藉由刀具檢測裝置檢測其圓弧半徑與中心,將檢測結果輸入控制器內,以刀具圓弧半徑補償進行車削加工。若刀具之 圓弧並非正圓形或檢測之圓弧半徑與中心有誤差時,就會造成工件之形狀誤差。刀刃波紋則會影響工件之表面粗糙度。刀具圓弧中心,運動到設定的切削中心點時, 需與工件主軸之旋轉軸位置與高度一致;若不一致,除了會產生加工形狀誤差外,亦會在工件中心殘留凸點 (俗稱肚臍眼)。

車 削加工時,經常會供給切削液,以降低切削點溫度並帶走切屑。鑽石車削大多以油霧式供給切削液 (以高壓空氣噴出切削油)。因此噴嘴之角度與油、氣之流量與速度都會影響冷卻與排屑效果。最常見的情況為切屑堆積於鑽石刀刃上,並與被切削材料表面摩擦, 進而對工件表面粗糙度造成極大的影響。為避免切削過程中產生積屑甚至捲屑的情形,可外加集屑裝置。集屑裝置之原理是利用高壓空氣吹入集屑管中,使之產生真 空狀態。使用集屑裝置會使切削點附近的空氣產生擾動,同時集屑管也會因氣體流動而產生振動,進而造成機器振動而影響加工件之表面粗糙度。因此在使用集屑裝 置時除了要注意集屑效果外,亦需小心空氣擾動與振動所造成的影響。

工件材料

工件材料的 純度及緻密性是影響加工表面粗糙度的重要因素。常見之鑽石車削工件材料如鋁及銅合金,在煉製過程中多少會摻有雜 質,這些雜質會造成切削過程的暫態振刀現象。另外,若緻密性不足,甚至在材料內部含有氣孔,則加工表面會殘存孔洞。以上兩項因素皆是表面粗糙度的致命傷, 這也是為何多數的鋁合金之最佳加工表面粗糙度被限制在 3–5 nm 的原因。無電鍍鎳之鍍製過程可以得到極佳的純度且無固定的結晶方向,在電鍍過程加入一定比例的磷成分,使其不會與鑽石刀具產生化學磨耗。基於以上原因,無 電鍍鎳可以說是目前表面粗糙度最佳的加工材料,其表面粗糙度可達 1 nm 以內。

加工參數

加工參數包括刀具幾何、切削速度 (或主軸轉速)、切削深度、進給速度等。如上節所述,鑽石車削之刀具皆採用圓弧刀刃,理論上圓弧半徑愈大,則切削進給之殘留高度愈小,即表面粗糙度愈佳。切削殘留高度公式為 h = fr2/(8rt),其中,fr 是每轉進給量,rt 為刀刃半徑,因此為得到一定的表面粗糙度,需要根據刀刃圓弧半徑與主軸轉速決定適當的精車削之進給速率。通常根據上述原則決定適當的切削參數即可得到理想的表面粗糙度;但有時刀刃圓弧半徑愈大,並不表示表面粗糙度愈佳。

因為刀刃半徑愈大,表示切削面積愈大 (亦即切削力較大),因此會造成工件材料表面之推擠變形,使得工件表面粗糙度劣化。當然,材料之推擠變形與工件材料本身之機械特性有關,在決定切削參數時,除了要考慮材料之切削性外,也應考慮切削力所造成的材料變形。

結論

除 了上述各項因素外,環境變化與操作技術等因素亦需注意。環境因素除了室溫變化與地面振動外,也要注意空調系統或門板開關 所造成的空氣振動。當然,操作技術人員的專業知識、經驗與工作態度才是決定加工精度最主要的因素。專業知識除了加工技術,還包括光學設計、機構設計與檢測 技術。因光學元件在設計階段時,光學設計人員即應與加工與檢測人員討論元件之功能與精度等級,一同評估元件之加工方法、夾持方式及檢測方法等。

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