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一近2000年来机械制造精度,随着产品性能的不断提高而
发展。
1770年制造第一台蒸气机汽缸用的镗床,所能达到的制造精度仅为1mm,以后陆续出现了汽油发动机,柴油发动机,高速齿轮,轴
承,第二次大战后,喷汽发动机、导弹、卫星相继发展,零件制造精度迅速提高,如圆度仪上的标准球,其加工精度为
0.01µm机床,加工表面粗糙度也不断降低,如生产型高精度外圆磨床相继出现,加工精度,可达0.1µm,工件表面粗糙度达Ra0.012µm,金属材
料的发展与产品发展也密切相关,最初使用材料主要是低碳钢和铸铁,然而近代制造的燃汽轮机,就必须有耐热,耐磨,腐蚀全新材料,于是出现了耐热,耐磨,耐
腐蚀及合金钢复合材料,陶瓷,在发展航天飞机,人造卫星时,又出现了钛和钛合金材料、其它高强度钢等材料。极限抗拉强度几乎提高了十几倍。

以适应新材料各类零件的磨削加工。磨床和砂轮的品种,性能也有了进一步的发展。在基本型式的基础上出了10个系列,精密高精度型,半自动型,斜砂轮型,数
控型,宽砂轮型,多片砂轮型,高速型,多砂轮架型,强力磨削型等。
二现代机械加工发展及各种新型材料的出现
随着现代机械
加工不断发展及各种新型材料的不断出现,对其加工精度表面粗度要求越来越高,其相应的各种磨削方法不断出现来满足现代工业的不断发展
这些
年来,磨削技术正朝着这个方向发展,研制和使用新型的,超硬的磨料磨具开发和推广,超精密磨削,高效的磨削工艺和研制,应用在高精度、高刚度的磨床和磨削
加工中。
新型和超硬磨料磨具有:
1.陶瓷刚玉磨料
陶瓷刚玉磨料经过化学陶瓷化处理,SG经过晶体瓷胶仪
后破碎成颗粒,最后烧结成磨料,陶瓷刚玉砂轮韧性比普通刚玉砂轮好,其自锐性锋利性形状保持及寿命高2—2.5倍,它目前制造成本高,它通常多与白刚玉式
棕砂轮混合体,在发达国家这种混合砂轮普遍使用。
2.人造金刚石
人造金刚石砂轮,由磨料层、过渡层和基体三部份组成,人
造金刚石砂轮用于磨削超高硬度的脆性材料,硬度合金,花岗岩,宝石,光学玻璃,和陶瓷等。
3.立方氮化硼砂轮
立方氮化硼
砂轮的立方氮化硼颗粒粘在普通砂轮表面只有很薄一层,其磨粒韧性、硬度、耐用度是刚玉类砂轮的100倍,适用于高速或超高速及难加工材料,高速纲,耐热钢
等。它不能用普通切削液,需特殊的切削液。
三高精磨,小粗糙磨和高速磨削
高精磨小粗糙磨及精密磨
削,R0.05-0.1µm
超精密磨削R0.012—0.025µM
镜面磨削Ra0.012µm以下,它对磨床精度运动
平稳性,环境条件,砂轮选择运用和修整,切削液选择及浇注处理要求较高
高速磨削
1.强力磨削
强力度磨削
一般指以大的磨削深度,进行磨削加工如缓进行磨削,磨削深度可达1—30mm为普通磨削100—1000倍,工件进给缓慢5—300mm/分钟,一次或数
次行程中将工件加工至尺寸,工作效率高能获得较高的加工精度,适合于韧材料(如镍基合金和淬火硬材料)并特别适合于,成型面和沟槽,难加工材料的磨削加
工,并可以从铸、锻毛坯,直接磨削加工出符合要求的零件。
2.高速磨削
大于45m/s以上磨削加工,高速磨削可获得明显
的技术和经济效益,50-60m/s,生产效率,可提高30-100%,砂轮耐用度,提高0.7-1,工件表面粗糙度降低50%,当前高速磨削线速度达
250m/s,并成功进行了500m/s,超高速削试验。
3.砂带磨削
砂带磨削是以高速运动的,砂带作为磨具并辅之接触
轮,张紧轮,驱动轮等旧式的磨头组件对工件进行加工的一种磨削方法。
砂带由基体,结合剂和磨粒组成,常用牛皮纸布,尼龙纤维和纸布组合
体,砂带上仅有一层经过精选的粒度均匀的磨粒,通过静电植砂,确定磨粒之间的位置,结合剂常用树脂,切削刃具有良好的等高性,材料切除率高,磨砂表面质量
好。
砂带磨削发展非常快,工业发达国家砂带磨削已是磨削加工量的一半左右,与砂轮磨削比,砂带磨削具有以下特点。
磨削效
率高
切除率高,功率利用率高达700mm3/s,比常规车,铣生产率高,是普通切削10倍,普通磨削5倍。
加工质量好

工质量好,尽寸精度3µm,表面粗糙度1µm,砂带磨削已跨入了精磨,系超精密磨削加行列,尺寸精度可达0.1µm,Ra值可达0.01µm,即到镜面效
果。
磨削热、小工件冷硬度与残余应力为砂轮磨削的十分之一,即使干磨也不易烧伤工件而且无微裂纹或金相组织的改变具有冷态磨削的美称。

艺灵活性大适应强,如平面,内外圆和异形曲面等加工。
材料,加工尺寸适应范围广,可加工金属,还可以加工皮革,木材,橡胶,塑料,对不锈
钢,钛合金,镍合金,难加工材料更显示出其独特的优势。当前砂轮磨削最大宽度为1米,而宽达4.9m砂带磨床已投入使用。
综合成本低,结
构简单,投资少操作简单,生产辅助时间少,对工人技术要求不高,工作安全可靠。
它有占地空间大,噪声大,不能加工小直径深孔,盲孔,柱坑
孔,阶梯外园和齿轮等砂带消耗量大。
四超精度,高刚度磨床和磨削加工中心
超精度高刚度磨床
精密加工心须
由高精度高刚度的机床保证,精密磨床应采用油轴承,空气轴承,磁轴承,静动压轴承,及静动压导轨,直线导轨,静动压丝杠,进给机构高建化高精密化机床结
构,采用稳定性好,抗拉性好,等花岗岩,人造花岗岩,陶瓷,微晶玻璃代替铁系材料,增加了机床的刚度等。
磨削加工中心

削加工中心具备自动交换,自动选择及自动修正磨削工具的机能,一次装卡即能完成磨削加工,实现了磨削加工的复合化与集约化,甚至可实现无人化连续自动生
产,节约成本,节约工装费用,对机床高的刚度,热变形等,进一步提高加工精度,磨削加工,中心是当今磨削技术进步的主要标志,也是磨削加工技术的发展方
向。
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削加工的过去与未来 机加

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用砂轮或其他磨具加工工件,称为磨削。本节主要讨论用砂轮在磨床上加工工
件的特点及其应用,磨床的种类很多,较常见的有外圆磨床、内圆磨床和平面磨床等。作为切削工具的砂轮,是由磨料加结合剂用烧结的方法而制成的多孔物体。由
于磨料、结合剂及制造工艺等的不同,砂轮特性可能差别很大,对磨削的加工质量、生产效率和经济性有着重要影响。砂轮的特性包括磨料、粒度、硬度、结合剂、
组织以及形状和尺寸等。
一.磨削过程
磨削可以加工外圆面、内孔、平面、成形面、螺纹、齿轮等
1.外圆磨削
1、在外圆磨床上进行
 磨法:纵磨法 横磨法 综合磨 深磨法
2、
无心外圆磨
 圆面必须连续,不能有较长键槽等孔的磨削
2.平面磨削
周磨质量较高,但较慢

磨较快,但质量不高
特点:主运动是砂轮的旋转运动;
磨削过程:实际上是磨粒对工件表面的切削、刻削和滑擦三种作用的综合效应;

轮的“自锐性”
:磨削中,磨粒本身也会由尖锐逐渐磨钝,使切削能力变差,切削力变大,当切削力超过粘结剂强度时,磨钝的磨粒会脱落,露出一层新的磨粒,这就是砂轮的“自
锐性”。
磨内孔
磨削往往作为最终加工工序。
砂轮的修整
 由于砂轮的“自锐性”以及切屑和碎磨粒会阻塞砂轮,在磨削一
定时间后,需用金刚石车刀等对砂轮进行修整。
二.磨削的工艺特点
磨床的特点:
a.使用磨料、磨具(如砂轮、
砂带、油石、研磨料等)为工具,进行切削加工。
b. 用来加工硬度较高的材料。
c.加工精度高、光洁度高。
d.一般加工余量较
小。
工业发达国家,磨床比例高(约30%左右),磨床用于粗、精加工,发展了新型强力磨和高速磨。
三.磨削的应用和发展
(一)外
圆磨床
 磨床中所占比例较大的一种,包括万能外圆磨床、外圆磨床、无心外圆磨床。
1.万能外圆磨床
 万能性好,常用于加工以下几
种典型表面。
<1>磨外圆
加工所需的运动
砂轮主运动 n
工件的圆周进给运动 f1
工件的纵向进给运
动 f2
砂轮的横向切入运动 c
<2> 磨长圆锥面
外圆磨床工作台分两层,上工作台相对下工作台调整至一定的角度位
置(不超过±7°)机床运动与(1)相同,但工件回转中心线与工作台纵向进给方向不平行,故磨削出来的是圆锥面。
<3>磨短圆锥面

锥面的宽度小于砂轮宽度。砂轮架在水平面内转角度,工件不作往复运动。
<4>磨内锥孔(包括圆柱孔)
工件卡盘装在头架主轴
上,头架可在水平面内转角度,此时大砂轮不转,内圆磨具支架翻下,小砂轮磨削。
由上可知:万能外圆磨床万能性高,但是机床的层次多,刚性差,加工
精度低。
2.普通外圆磨床
与万能外圆磨床的区别~头架、砂轮架、头架主轴都固定不可转动,并且没有内圆磨具。主要加工外圆柱表面和锥度不
大的圆锥表面。
特点:结构简单,刚性好,加工精度高,但万能性较差。
3.无心外圆磨
工件很短(如销钉)无法用顶针顶起,是以工件
的外圆面作定位面的外圆磨床。
无心磨的两种方法:
1.贯穿磨法~工件中心高出e=(15~25%)D工件,导轮用橡胶和树脂作磨粒粘结
剂,摩擦系数大,工件随导轮转,速度相同,且磨粒粒度细不产生磨削。
砂轮转速快,与工件有相对运动,产生磨削。导轮中心线倾斜α角,导轮与工件接
触处的线速度f分解出f2,带动工件贯穿磨削区。
导轮表面为回转双曲面,保证导轮、工件为直线接触,适宜加工无纵向槽的圆柱表面。
2.切
入磨法
工件无轴向进给运动,由砂轮横向切入。
导轮轴相对于砂轮轴倾斜30分,使工件轴向定位。
适宜加工无纵向槽的成型回转表面。
(二)内圆磨床 包括无心、普通和行星式三种内圆磨。
1.普通内圆磨床
  常带有自动测量装置
2.
无心内圆磨床
  用外圆定心磨内圆,内外圆同心度高,滚动轴承制造厂用得多,生产率高。
3.行星式内圆磨床
 
用于磨削大型箱体零件上的内孔。也可磨削大件上圆形凸台的外圆。
(三)平面磨床 包括周边磨和端面磨两种
1.周边磨~用盘形砂轮的圆柱面
磨削,加工精度高,生产率低。
2.端面磨~用碗形砂轮或砂瓦的端面磨削,加工精度低,生产率高。
 
除以上介绍的磨床外,还有工具磨床、专门化磨床、研磨机、珩磨机等。
 

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本文摘自:美國 American Machinist 雜志
作者:Charles Bates
       
內圓磨削与外圓和表面磨削是完全不同的。由于孔內加工的砂輪的外形,加工車間必須特別注意砂輪和工件的接触面積,更要注意砂輪与工件之間的關系——砂輪速
度,工件速度,砂輪軸的剛性和其他操作因素。
       
大多數的車間都以為對一個特定的工件來說,選擇正确的內圓磨削砂輪只与要磨削的材料有關。然而在很多情況下,這是錯誤的,Saint-Gobain
Abrasives(www.saint-gobain.com)的一位應用工程師Bill Bednarski說。


 
       
試想一家車間使用32A氧化鋁砂輪(一种非常鋒利的單晶体磨粒)來磨削硬質工具鋼,然后用同樣規格的砂輪來進行內部磨削操作。就會看到震顫和磨削過熱的現
象。另外為了保証砂輪正常的工作,操作員在加工一個零件時就必須對砂輪做好几次修整。另一方面,如果車間使用25A砂輪(更加易碎的磨粒等級J級,軟兩
級)來進行內圓磨削就會消除震顫和磨削過熱,砂輪修整次數也減少到一個零件一次。
       
但Bednarski說在為內圓磨削選擇磨粒和等級時,除了要磨削材料及其硬度外,還有其他几項因素是車間必須考慮的,磨削去除量,磨削精度和表面光洁
度,接触面積,砂輪尺寸,工件速度,砂輪速度和操作因素以及磨削系統的剛性。
        工件的材料
       
工件材料的硬度等級和應力裂紋主要影響了磨粒的選擇,尺寸和砂輪的等級。硬質材料會抵抗磨粒的滲入而使砂輪很快變鈍。因此,更加堅硬的工件材料,更多的操
作者會選擇更軟等級的易碎磨粒砂輪。軟等級砂輪的磨料磨粒邊鈍后會掉下來,暴露出新的磨削顆粒。
        下面是几种給定材料的磨料選擇
       
◆ 氧化鋁或CBN磨料砂輪用于高抗拉強度材料,例如碳鋼,合金鋼和高速鋼。
        ◆
碳化硅或金剛石磨料砂輪用于低抗拉強度的材料,例如鑄鐵,軟青銅和鋁,以及硬質合金。
        ◆
金剛石砂輪用于非金屬材料,例如高密度陶瓷,碳化硼,碳化鈣和硼硅酸玻璃。
        按照斷裂特性可以分為三种碳化鋁磨料:
       
◆ 深色、耐用氧化鋁(57A)和單晶体氧化鋁(32A)用于鋼制零件的一般內部磨削。
        ◆
白色、易碎氧化鋁(38A)非常适合特硬鋼的干磨削或輕磨削,因為它的冷卻和自修整作用。(當磨削壓力增大后易碎磨料會斷裂,暴露出鋒利的切邊)
       
◆ 粉色氧化鋁(25A)磨削特性与38A很相似并且顯示出很好的外形保持特性。
       
另外,53A是黑色氧化鋁和白色氧化鋁的混合,其特性界于57A 和38A之間。
        磨削量,磨削精度和表面光洁度
       

按常規,粗糙的磨粒用于高磨削率,因為這樣的砂輪通常允許大的磨削量。但是,如果工件材料是硬制鋼或一些其他很難滲入的合金,則應該使用略微精細的磨料,
由于与工件有更多的磨削點,砂輪會更加快速的進行磨削。
       
為保持尺寸精度,非磨削砂輪是很重要的。非磨削砂輪有相當小的壓力,并且在精密加工時是非常重要的影響因素。例如,一個內圓需要0.005英寸到
0.008英寸的圓角半徑,砂輪磨料尺寸應當為100到150。在光洁度操作中,通常是更好的光洁度需要更加精細的磨料尺寸和冷卻磨削砂輪。冷卻磨削可以
使磨削熱產生的變形減小到最少,并且可以快速和一致的生產精密零件。
        接触面積
       
与外圓磨削相比,內圓磨削具有更加大的接触面積。尤其在小孔磨削時,因此需要使用比孔略小的砂輪。与工件的接触面大必須使用相對軟等級的砂輪,并具有開式
結构以提供充足的磨屑清理空間。
       
關于砂輪的尺寸,過大的砂輪會有低壓力和變鈍的問題。過大尺寸的砂輪還會阻止冷卻液,導致磨削區域非常低的磨屑去除。相反,一個砂輪如果太小就不能有效率
的工作,因為沒有足夠大的磨削面積,并且由于工作在過大壓力下會過度磨損。通常,當砂輪的尺寸磨損至原有尺寸的70%時就需要更換他們了。
       
工件和砂輪的轉速以及操作因素
       
工件相對砂輪旋轉越快,更大的力會加在砂輪上,兩者中軟的一者會起作用。相反,當砂輪尺寸增加時,施加在砂輪的力會減小,相對硬的砂輪的起作用。對
Bednarski來說,典型的砂輪速度大約在 8,500 sfpm,但可分布于4,500 到 12,500 sfpm。
       
砂輪轉速因素
        ◆ 如果可以的話,保持正确的圓周速度并使用不變的表面速度。
        ◆ sfpm = 砂輪
rpm ×砂輪×0.2618
        ◆ 小的砂輪轉速會起到“軟作用”,而快的砂輪速度會起到“硬作用”
       
工件速度的經驗法則
        ◆ 工件速度与砂輪速度的比率應當在25:1和65:1之間。
        ◆
對于材料硬度為Rc50或者更小:sfpmwheel = sfpmwork ÷ 30。
        ◆
對于材料硬度為Rc51或者更大:sfpmwheel = sfpmwork ÷ 55。
        操作因素
        ◆
對硬度為Rc50或更軟的材料來說,橫進給率起點為:粗切率使用0.00015
英寸到0.00010英寸的每工件砂輪旋轉的去除率。光洁切除率采用0.00005 英寸到0.00003英寸。
        ◆
對硬度為Rc51或更高的材料來說,橫進給率起點為:粗切率使用0.00010
英寸到0.00005英寸的每工件砂輪旋轉的去除率。光洁切除率采用0.00005 英寸到0.00003英寸。
        ◆
震蕩率通常為75ipm到125ipm。起點,使用0.2×砂輪寬度× rpmwork
        磨削系統剛性
       
成功的磨削系統需要剛性,選擇合适的砂輪軸或主軸是非常必要的。要确定正确的砂輪軸,加工車間必須考慮砂輪磨損。在允許砂輪磨削工件和被修整的前提下選擇
最短的。
        關于砂輪軸的長度与砂輪軸直徑的比率,使用盡可能最短的砂輪軸長度和最大的砂輪軸直徑。
        ◆
比率小于3:1會產生可靠的性能和最短的加工時間。
        ◆ 比率界于3:1 到 6:1通常作為邊界選擇。
        ◆
比率大于6:1會導致諸如饒度、錐度、震顫和長的加工時間。
        There are several other
factors, besides the material to be ground and its hardness, that shops
must consider when choosing the grain and grade for a grinding wheel for
"inside" work. These factors include the amount of stock that is to be
removed, grinding accuracy and surface finish, area of contact, wheel
size, workpiece speed, wheel speed and operating factors and grinding
system rigidity.
        The workpiece material degree of
hardness and its susceptibility to cracking principally influences the
choice of an abrasive grain, grain size, and the wheel grade. Hard
materials resist the penetration of abrasive grains and cause them to
dull quickly. Therefore, the harder the workpiece material, the more
operators should use wheels with friable grains in softer grades. These
softer grades permit abrasive grains to break away as they dull,
exposing new, sharp cutting grains to the workpiece.
        As a
rule, coarser grain sizes make for higher stock-removal rates because
these wheels ordinarily permit heavier cuts. However, if the workpiece
material is hardened steel or some other difficult-to-penetrate alloy,
then a slightly finer, rather than coarser, grain wheel may cut faster
because of the greater number of cutting points it presents to the
workpiece.
        The contact area is much larger for internal or
I.D. grinding compared with cylindrical or surface grinding. It is
especially large in some small bore grinding, where it is necessary to
use wheels just slightly smaller in diameter than the hole itself. A
large area of contact with the workpiece necessitates using relatively
soft-grade wheels with open structures to provide sufficient chip
clearance.


表格:根据孔的尺寸推荐內圓磨床的砂輪尺寸
孔的直徑 (英寸)砂輪直徑(孔的尺寸的百分比計算% )


 
歡迎來到Bewise Inc.的世
界,首先恭喜您來到這接受新的資訊讓產業更有競爭力
,我們是提供專業刀具製造商,應對客戶高品質的刀具需求,我們可以協助客戶滿足您對產業
的不同要求,我們有能力達到非常卓越的客戶需求品質,這是現有相關技術無法比擬的,我們成功的滿足了各行各業的要求,包括:
精密HSS DIN切削刀具協助客戶設計刀具流程DIN or JIS 鎢鋼切削刀具設計NAS986 NAS965 NAS897 NAS937orNAS907 航太切削刀具,NAS航太刀具設計超高硬度的切削刀具醫療配件刀具設計複合式再研磨機PCD地板專用企口鑽石組合刀
粉末造粒成型機主機版專用頂級電桿PCD V-Cut捨棄式圓鋸片組粉末成型機航空機械鉸刀主機版專用頂級電汽車業刀具設計電子產業鑽石刀具木工產業鑽石刀具銑刀與切斷複合再研磨機銑刀與鑽頭複合再研磨機銑刀與螺絲攻複合再研磨機等等。我們的產品涵蓋了從民生
刀具到工業級的刀具設計;從微細刀具到大型刀具;從小型生產到大型量產;全自動整合;我們的技術可提供您連續生產的效能,我們整體的服務及卓越的技術,恭
迎您親自體驗!!

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Willy Chen willy@tool-tool.com bw@tool-tool.com www.tool-tool.com
skype:willy_chen_bw mobile:0937-618-190 Head &Administration Office
No.13,Shiang Shang 2nd St., West Chiu Taichung,Taiwan 40356
http://www.tool-tool.com /
FAX:+886 4 2471 4839 N.Branch 5F,No.460,Fu Shin North Rd.,Taipei,Taiwan
S.Branch No.24,Sec.1,Chia Pu East Rd.,Taipao City,Chiayi Hsien,Taiwan


Welcome to BW
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tools. We focus on what you need and endeavor to research the best
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cutting tool
hss
drill
ФрезерыCarbide drillHigh speed steelCompound SharpenerMilling cutterINDUCTORS FOR PCDCVDD(Chemical Vapor Deposition
Diamond )’
PCBN
(Polycrystalline Cubic Boron Nitride)
Core drillTapered end
mills
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PCD
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PCD V-CutterPCD Wood toolsPCD Cutting toolsPCD Circular Saw BladePVDD End Millsdiamond tool. INDUCTORS FOR PCD .
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PCD (Polycrystalline
diamond)
‘FresePOWDER
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grooving floors
V-Cut
PCD Circular Diamond Tipped Saw Blade with Indexable Insert

PCD Diamond Tool
Saw Blade with Indexable InsertNAS toolDIN or JIS toolSpecial toolMetal slitting sawsShell end millsSide and face milling cuttersSide chip clearance sawsLong end millsend mill grinderdrill grindersharpenerStub roughing end millsDovetail milling cuttersCarbide slot drillsCarbide torus cuttersAngel carbide end millsCarbide torus cuttersCarbide ball-nosed slot drillsMould
cutter
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ミルの製造メーカーで、客先に色んな分野のニーズ
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設計

(3)鎢鋼エンドミル設計
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Bewise
Inc. talaşlı imalat sanayinde en fazla kullanılan ve üç eksende (x,y,z)
talaş kaldırabilen freze takımlarından olan Parmak Freze imalatçısıdır.
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Karbür Parmak Frezeler, Kalıpçı Frezeleri, Kaba Talaş Frezeleri, Konik
Alın Frezeler, Köşe Radyüs Frezeler, İki Ağızlı Kısa ve Uzun Küresel
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BW специализируется в
научных исследованиях и разработках, и снабжаем самым
высокотехнологичным карбидовым материалом для поставки режущих /
фрезеровочных инструментов для почвы, воздушного пространства и
электронной индустрии. В нашу основную продукцию входит твердый карбид /
быстрорежущая сталь, а также двигатели, микроэлектрические дрели, IC
картонорезальные машины, фрезы для гравирования, режущие пилы,
фрезеры-расширители, фрезеры-расширители с резцом, дрели, резаки форм
для шлицевого вала / звездочки роликовой цепи, и специальные нано
инструменты. Пожалуйста, посетите сайт 
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coating to supply cutting / milling tool for mould & die, aero space
and electronic industry. Our main products include solid carbide / HSS
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sprocket, and special tool, with nano grade. Please visit our web 
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本文摘自:美國 American Machinist 雜志
作者:Charles Bates
       
內圓磨削与外圓和表面磨削是完全不同的。由于孔內加工的砂輪的外形,加工車間必須特別注意砂輪和工件的接触面積,更要注意砂輪与工件之間的關系——砂輪速
度,工件速度,砂輪軸的剛性和其他操作因素。
       
大多數的車間都以為對一個特定的工件來說,選擇正确的內圓磨削砂輪只与要磨削的材料有關。然而在很多情況下,這是錯誤的,Saint-Gobain
Abrasives(www.saint-gobain.com)的一位應用工程師Bill Bednarski說。
 
       
試想一家車間使用32A氧化鋁砂輪(一种非常鋒利的單晶体磨粒)來磨削硬質工具鋼,然后用同樣規格的砂輪來進行內部磨削操作。就會看到震顫和磨削過熱的現
象。另外為了保証砂輪正常的工作,操作員在加工一個零件時就必須對砂輪做好几次修整。另一方面,如果車間使用25A砂輪(更加易碎的磨粒等級J級,軟兩
級)來進行內圓磨削就會消除震顫和磨削過熱,砂輪修整次數也減少到一個零件一次。
       
但Bednarski說在為內圓磨削選擇磨粒和等級時,除了要磨削材料及其硬度外,還有其他几項因素是車間必須考慮的,磨削去除量,磨削精度和表面光洁
度,接触面積,砂輪尺寸,工件速度,砂輪速度和操作因素以及磨削系統的剛性。
        工件的材料
       
工件材料的硬度等級和應力裂紋主要影響了磨粒的選擇,尺寸和砂輪的等級。硬質材料會抵抗磨粒的滲入而使砂輪很快變鈍。因此,更加堅硬的工件材料,更多的操
作者會選擇更軟等級的易碎磨粒砂輪。軟等級砂輪的磨料磨粒邊鈍后會掉下來,暴露出新的磨削顆粒。
        下面是几种給定材料的磨料選擇
       
◆ 氧化鋁或CBN磨料砂輪用于高抗拉強度材料,例如碳鋼,合金鋼和高速鋼。
        ◆
碳化硅或金剛石磨料砂輪用于低抗拉強度的材料,例如鑄鐵,軟青銅和鋁,以及硬質合金。
        ◆
金剛石砂輪用于非金屬材料,例如高密度陶瓷,碳化硼,碳化鈣和硼硅酸玻璃。
        按照斷裂特性可以分為三种碳化鋁磨料:
       
◆ 深色、耐用氧化鋁(57A)和單晶体氧化鋁(32A)用于鋼制零件的一般內部磨削。
        ◆
白色、易碎氧化鋁(38A)非常适合特硬鋼的干磨削或輕磨削,因為它的冷卻和自修整作用。(當磨削壓力增大后易碎磨料會斷裂,暴露出鋒利的切邊)
       
◆ 粉色氧化鋁(25A)磨削特性与38A很相似并且顯示出很好的外形保持特性。
       
另外,53A是黑色氧化鋁和白色氧化鋁的混合,其特性界于57A 和38A之間。
        磨削量,磨削精度和表面光洁度
       
按常規,粗糙的磨粒用于高磨削率,因為這樣的砂輪通常允許大的磨削量。但是,如果工件材料是硬制鋼或一些其他很難滲入的合金,則應該使用略微精細的磨料,
由于与工件有更多的磨削點,砂輪會更加快速的進行磨削。
       
為保持尺寸精度,非磨削砂輪是很重要的。非磨削砂輪有相當小的壓力,并且在精密加工時是非常重要的影響因素。例如,一個內圓需要0.005英寸到
0.008英寸的圓角半徑,砂輪磨料尺寸應當為100到150。在光洁度操作中,通常是更好的光洁度需要更加精細的磨料尺寸和冷卻磨削砂輪。冷卻磨削可以
使磨削熱產生的變形減小到最少,并且可以快速和一致的生產精密零件。
        接触面積
       
与外圓磨削相比,內圓磨削具有更加大的接触面積。尤其在小孔磨削時,因此需要使用比孔略小的砂輪。与工件的接触面大必須使用相對軟等級的砂輪,并具有開式
結构以提供充足的磨屑清理空間。
       
關于砂輪的尺寸,過大的砂輪會有低壓力和變鈍的問題。過大尺寸的砂輪還會阻止冷卻液,導致磨削區域非常低的磨屑去除。相反,一個砂輪如果太小就不能有效率
的工作,因為沒有足夠大的磨削面積,并且由于工作在過大壓力下會過度磨損。通常,當砂輪的尺寸磨損至原有尺寸的70%時就需要更換他們了。
       
工件和砂輪的轉速以及操作因素
       
工件相對砂輪旋轉越快,更大的力會加在砂輪上,兩者中軟的一者會起作用。相反,當砂輪尺寸增加時,施加在砂輪的力會減小,相對硬的砂輪的起作用。對
Bednarski來說,典型的砂輪速度大約在 8,500 sfpm,但可分布于4,500 到 12,500 sfpm。
       
砂輪轉速因素
        ◆ 如果可以的話,保持正确的圓周速度并使用不變的表面速度。
        ◆ sfpm = 砂輪
rpm ×砂輪×0.2618
        ◆ 小的砂輪轉速會起到“軟作用”,而快的砂輪速度會起到“硬作用”
       
工件速度的經驗法則
        ◆ 工件速度与砂輪速度的比率應當在25:1和65:1之間。
        ◆
對于材料硬度為Rc50或者更小:sfpmwheel = sfpmwork ÷ 30。
        ◆
對于材料硬度為Rc51或者更大:sfpmwheel = sfpmwork ÷ 55。
        操作因素
        ◆
對硬度為Rc50或更軟的材料來說,橫進給率起點為:粗切率使用0.00015
英寸到0.00010英寸的每工件砂輪旋轉的去除率。光洁切除率采用0.00005 英寸到0.00003英寸。
        ◆
對硬度為Rc51或更高的材料來說,橫進給率起點為:粗切率使用0.00010
英寸到0.00005英寸的每工件砂輪旋轉的去除率。光洁切除率采用0.00005 英寸到0.00003英寸。
        ◆
震蕩率通常為75ipm到125ipm。起點,使用0.2×砂輪寬度× rpmwork
        磨削系統剛性
       
成功的磨削系統需要剛性,選擇合适的砂輪軸或主軸是非常必要的。要确定正确的砂輪軸,加工車間必須考慮砂輪磨損。在允許砂輪磨削工件和被修整的前提下選擇
最短的。
        關于砂輪軸的長度与砂輪軸直徑的比率,使用盡可能最短的砂輪軸長度和最大的砂輪軸直徑。
        ◆
比率小于3:1會產生可靠的性能和最短的加工時間。
        ◆ 比率界于3:1 到 6:1通常作為邊界選擇。
        ◆
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磨削(Grinding)是一種利用磨輪(Grinding
Wheel)作高速旋轉及微小深度(微小量),磨削工件表面或內孔,以獲得精密形狀及表面粗度的加工技術。
磨削加工的特色:
(1)
每一顆微細磨粒,其作用相當於一把細微刀刃,磨削加工,如同無數細微刀刃同時切削。
(2)
可磨削硬脆材料,如硬化鋼、玻璃、碳化物及陶瓷等。
(3) 磨削去除率小(Low Material Removal Rate)
(4)
磨削速率(Cutting Speed)大,進給率(Feed Rate)及磨削深度(Depth of cut)均小,因此比馬力(Specific
Horse Power)相當大
HPs (Specific Horse Power)=HP(Horse
Power)/MRR(Material Removal Rate)
10-2 深進緩給磨削(Creep Feed
Grinding)
所謂深進緩給磨削(Creep Feed
Grinding)簡稱(C.F.G),與一般的平面磨削不一樣,磨削深度(Depth of cut)增加數倍至數十倍,而進給率(Feed
Rate)以相同的倍數減慢,可以增加磨削速率及增進工作表面粗度的磨削技術。CFG機制示意圖,如圖(一)所示。
圖一 CFG機制示意圖
CFG磨床之特色:
(1)
磨削深度(即磨削量)大,具備減震裝置(Damping Device),以維持靜,動平衡。
(2) 軟質磨輪增進工件表面粗度。
(3)
為保持磨輪表面,不被磨屑阻塞,經常保持在銳利狀態,因此在其上方按裝表面含有鑽石磨粒之整修砂輪(Dressing
Wheel),在製程中,不斷整修磨輪,使其保持真圓度及銳利狀態,以維持工件品質之穩定性。
(4)
為維持一定的切削速率(Cutting Speed)及磨削深度,磨輪轉速不但可以無段變速,並且能夠自動下降以獲得理想且一致的工件品質。
10-3
電解磨削(Electrolytic Grinding)
電解研削(ECG)是由電解加工,亦可稱為電化學加工(Electro
Chemical Machining簡稱ECM),亦就是反電鍍(Deplating)加工與機械磨削(Mechanical
Grinding)所組合之複合加工。電解磨削是1952年美國G.F Keeleric 研發成功。
電解加工原理
電解
加工在原理上是將電鑄的陽極金屬溶解現象應用於金屬加工,將預先成形為所定形狀的電極隔著微小間隙(0.2~0.3mm)與被加工物表面相向,並壓送電解
液(electrolyte),流速5~20m/s,以電極(electrode)為陰極,被加工物為陽極,施加一定的直流電壓(5~20V),則經電解
液而通電流,被加工物從接近電極的部份開始電解,同時使電極以一定速度(0.5~3.0mm/min)向被加工物送入,達預先設定的加工深度時,即得所希
望的加工形狀。
電解加工的特色
(1) 可同時加工廣大面積之工件。
(2)
不拘被加工物的機械性質,都可加工。
(3) 不發生熱變形、加工應變、加工變質層。
(4)
單一工程即可雕出複雜形狀工件。
(5) 電極不消耗。
(6) 加工面粗糙度良好。
(7)
加工速度比放電加工(EDM)快5~10倍。
電解加工的應用
(1) 鍛造模、玻璃模、橡膠模等的雕形加工。
(2)
溝加工、斜面、輪廓加工、深孔加工等傳統加工法的效率差者。
(3) 難切削材料的加工。
(4)
去除毛邊,傷痕等不可能用機械加工的加工。
電解研削機構示意圖如圖(二)所示

(二) 電解磨削機構示意圖
電解磨削原理示意圖如圖(三)所示
(圖
三) 電解磨削原理示意圖
電解磨削係利用金屬結合劑及微細鑽石磨料所組成的導電性砂輪同時進行電解加工與機械研削的方式,砂輪的導電部份
為陰極,被加工物為陽極,接直流電源,在兩者的間隙通電解液,在被加工物與砂輪的導電性結合材料之間進行電解加工,不易電解的物質或被加工而生成的不動態
皮膜(即金屬氧化膜),用磨料以機械研削除去,加工量的比率是電解加工量90﹪、機械研削量10﹪。磨料突出量為0.05mm以下,這可防止兩極的短電
路,並保持電解液通路必要的間隙。
當進行粗、中等加工後,停供電解電流,只以機械研削細加工而提高加工精度的方式—此方式是利用電解研削
的高效率,除去加工量後,停止電解加工,不更換砂輪,以同一砂輪繼續細磨。而得到期望的表面精度。電解液可提高電解研削速率,磨料微粒為不導電的材料,
如:鑽石、三氧化二鋁(Al2O3)及晶方氮化硼(CBN)。
10-4
電解拋光(Electrolytic Polishing)
所謂電解拋光,即是將工件放置陽極,於電解液中通電,在適當操作參數下,使工
件發生電解反應(亦稱反電鍍),工件表面而因電場集中效應而產生溶解作用,因而可達成工件表面平坦與光澤化之加工技術。電解拋光機制示意圖如圖(四)所
示:
圖(四)電解拋光機制示意圖
電解拋光技術於1931年,由D.A.Jacquet發明採行。
「電解拋光」技術可廣泛運用在半導體製程設備、化工、航太以及其他高精密等表面處理加工。
電解拋光應用範圍:
(1)
可處理銅、黃銅、鉛、鎳、鈷、鋅、鍚、鋁、不銹鋼、鐵、鎢等材料。
(2)
電解拋光技術廣泛應用於半導體/LCD等級閥件、管配件、接頭、IGS之表面處理。
(3)
電解拋光可達鏡面級光澤,拋光後產品表面可達Ra=0.2~0.5μm。
(4) 不銹鋼電解拋光表面可生成鈍化層,有效提昇抗腐蝕能力。
電解拋光成品如相片(一)所示:

片(一)電解拋光成品
工研院機研所,兩年來,在沒有技術引進情況下,自行設計、開發夾治具、電解液和設立實驗室,摸索出世界最新穎的表面
處理「電解拋光」關鍵技術。機械所目前已建立電解拋光實驗室,擁有內外孔電解拋光設備,除開發閥件內孔電解拋光技術外,更將觸角延伸至管件內孔電解拋光高
級技術發展,期能建立我國紮實的電解拋光加工能力。
近年,國內半導體製造業蓬勃發展,但半導體製程設備工業卻遠遠落後,詳究其原因,主要
在於國內缺半導體製程設備所需的精密表面加工技術。電解拋光應用於半導體製程設備中的控制閥內流道、廠務配管流道、反應腔壁表面之處,凡與製程氣體接觸之
處理都需要電解拋光加工處理,應用範圍多且廣。將電解拋光應用於半導體製程設備的目的有三,一為可生成抗蝕鈍化層,二為可產生高度潔淨表面,三為可鏡面拋
光降低粗糙度。為建立電解拋光操作參數,機械所是從電流密度、電壓、通電時間、溫度、流速、電解液配方、比例、添加劑等,來了解其對鈍化抗蝕性的影響,並
委託清華大學進行電解拋光試片抗蝕性研究,已實驗完成且有不錯的成果。機械所在電解拋光高度潔淨表面研究方面,則從製程和步驟著手,包括前處理溶液清洗、
鹼洗除油、酸洗除銹、電解液潔淨和控制、後處理化學清洗,以及在無塵室進行超化學液配方、溫度、操作時間、角度等研究。
電解拋光效益(創
造產值):
(1) 為一具備機械、電控、熱流、材料化工高度整合性技術。
(2)
1999年時國內半導體業者需求與EP有關之閥件、管配件等零組件消耗品總金額為67.5億,其中EP技術產生價值約佔22%,總值約為15億。
10-5
化學機械拋光(Chemical Mechamical Polishing,簡稱CMP)
CMP機器之構造圖及製程示意圖如圖(五)
及圖(六)所示:
圖(五)CMP機器構造簡圖

(六)CMP製程示意圖
CMP是將工件壓在旋轉之彈性襯墊(研磨墊)上,利用相對運動加工之拋光技術。將具有腐蝕性之加工液供給到工件
上,當工件進行腐蝕加工(化學性)時,同時供給超微磨粒(直徑100奈米以下)拋光(機械性)材料,對工件之凸部進行選擇性的拋光操作,故稱機(械)化學
拋光或化學機械拋光。
在LSI往微細、高積體化發展之同時,形成於矽表面之裝置構造也有多層化,其表面凹凸變大之傾向。為了實現多層化裝
置之配線的高信賴性、高成功率,在裝置製造之過程中,每一層表面之凹凸必須很平坦化(Planarization)。
平坦化過程之概念
圖,如圖(七)所示:
在矽晶片上所形成內部配線之突出氧化膜部分,利用包含超磨粒拋光材之拋光襯墊進行拋光加工後,便會逐漸平坦。

(七)平坦化過程之概念圖
化學機械研磨(CMP)技術因其擁有全面平坦化(Global
Planarization)的優勢,因此在近年來成為各大IC相關產業競相研發之技術。
傳統的平坦化技術以Spin On
Glass(SOG)和Resist
Etchback(REB)技術為主但在0.25μm以下IC製程SOG及REB技術並無法達到全面平坦化(Global
Planarization)的目標,因此極需尋找新平坦化技術,化學機械研磨技術經由IBM及Intel等公司積極研發,在近年來已成為全面平坦化的新
興技術。它不僅可以達成全面平坦化的目標,同時可增加元件設計的多樣性,如可將銅及鎢納入新元件設計中且可減少缺陷。圖(八)乃各IC平坦化技術之比較,
由此圖可看出CMP在全面平坦化技術的優勢。

(八)平坦化技術
圖(四)說明積體電路不同製程的平坦化能力。以積體電路產品16M(百萬)DRAM的晶方邊長在拾厘米以上,因此理想的
平坦化距離也需要拾厘米以上長度,在製程上最早應用的硼磷玻璃回填(BPSG
Reflow)平坦化技術,除了高溫限制在金屬化前的使用外,平坦化距離僅能適合數微米長。旋塗玻璃(Spin on
Glass)是二層金屬連線製程最常使用的平坦化技術,其平坦化距離僅及10微米長。以沈積/蝕刻交替及電子迴旋電漿(ECR)沈積薄膜非常適合深次微米
製程中的填隙,如搭配化學機械研磨(Chemical Mechanical
Polishing)則可完全應用在多層連線的製造,以阻劑填平後蝕刻(Resist Etch
Back)的平坦化技術,因沒有塗佈玻璃材質的吸水性及有機物揮發等問題,故為美、日的主要積體電路製造商在高可靠度產品應用的平坦化技術。由於阻劑填平
的平坦化間距僅及百微米範圍,及綜合圖(八)的比較,化學機械研磨就成為全面平坦化的最佳選擇。
0.25μm以下製程不可或缺之平坦化設
備,化學機械研磨機在中科院主導及相關業者之協又合作F商品化研磨機已進入市場。以
二氧化矽為主要成分的絕緣介質在CMP所使用的研磨劑目前Cabot公司所製造之研磨液系列產品為多數廠商所接受。Cabot公司能佔有研磨液,大部份市
場乃因其能自行製造之高純度且穩定性佳Sio2粉末。同時Cabot公司擁有研磨液所需發展之技術即研磨粉末製造技術,研磨粉末分
散技術及研磨液配方投術。
研磨液乃是用來研磨二氧化矽介電層,BPSG介電層、淺溝隔絕層(Shallow Trench
Isolation)及Polysillicon薄膜層之研磨液。研磨液一般包含下列組成SiO2研磨粉末(平均粒徑根據不同配方
約在100nm左右),固含量約10~30%,PH值約在9.0~11.0(由KOH或NH4OH調整),以及去離子水約70%。
以介電薄膜研磨所使用之SiO2研磨液為例,在PH值固定時,當研磨液的SiO2研磨粉末
之含量或粒徑大小增加時,其研磨速率亦相對增加,如圖(九)所示,然而若其增加比例過高,亦會刮傷薄膜表面。當PH值增加時,研磨速率亦會隨之增加,然而
額外之化學反應亦會提高,因而降低研磨薄膜之平坦度。

(九)介電膜研磨速率與SiO2研磨劑組成之關係
而CMP技術所使用之研磨墊-PU
Pad,大體來說有兩種功能,一是研磨墊之孔隙度可協助研磨液於研磨過程輸送到不同區域,另一種功能乃是協助將晶片表面之研磨產物移去。研磨墊之機械性質
會影響到薄膜表面之平坦度及均勻度,因此控制其結構及機械性質是十分重要的。
研磨墊則是研磨劑外的另一個重要消耗材,由於積體電路製程的
目的是平坦化,異於傳統光學玻璃與矽晶圓的拋光作用。圖(四)平坦化過程的示意圖,平坦化的作用即要將晶圓表面輪廓凸出部份削平,達到全面平坦化。理想的
研磨墊是觸及凸出面而不觸及凹面,達到迅速平坦化的效果。就研磨墊的應用言,其材料的化性需求較為單純,一般僅具備耐酸鹼,持久穩定即可。但在物性條件則
相當複雜。Rodel 的研磨墊Suba系列產品為美國Sematech等所評定,適合CMP製程應用。此Suba系列的材質為Polyurethane
Impregnated Polyster
Felts。上述的PU材料,具多孔性及一定的硬度。如圖(四)所示,研磨墊的壓縮性差異,形成不同的垂直與水平變形,軟性的研磨墊,因變形而容易觸及凹
面,形成平坦度較差的現象。Rodel另一系列的IC(品名)產品,具較低壓縮性,較高硬度的研磨墊,可以有效提昇平坦度的效果,但其均勻度的控制則變差
了。使用IC 1000/Suba
IV的組合墊則兼顧了平坦度與均勻度的效果,也就成為今日對氧化矽薄膜在CMP製程的主要研磨墊。穩定的製程除了選擇適當的研磨墊外,適當的保養則是必要
的過程。在研磨過程中,研磨墊表面材質也會耗損,變形。另外表面堆積的反應物也需妥當的排除。因此在使用中,如無適當的處理,研磨墊表面將呈現快速老化,
造成蝕刻率衰退等現象。為了解決研磨墊的老化問題,現代的CMP機台都具備『研磨墊整理器』,具備與研磨過程同步整理或定時整理的功能。

學機械研磨製程控制
RR=Kp.P.V
其中RR為蝕刻率,P為晶圓上的施加壓力,而V為相對線性速率。Kp則稱為
Preston常數,此簡單的Preston方程式說明蝕刻率與壓力、線性速度成正比關係外,其他物性、化性及機械參數及特性都隱藏在Preston常數
內。在良好的機台參數控制下,一般氧化層膜的製程控制範圍都可適用Preston方程式。典型的例子如圖十所示。由圖上可以看出氧化矽膜的蝕刻率與施加壓
力呈正比的線性關係,另外在不同設定的轉速下亦都呈現正比的線性關係,其斜率則隨著轉速而增加。圖(十一)即在固定的施壓下,蝕刻率與平台轉速的關係。一
般實驗結果可以得到線性但非正比關係。

(十)熱氧化矽薄膜的CMP蝕刻率與壓力關係圖

(十一)熱氧化矽的CMP蝕刻率與磨盤轉速的關係圖
10-6 製程中電解削銳(Electrolytic In-Process
Dressing,簡稱ELID研磨)
電子零件等功能材料之進步是有目共睹的,但對於各種素材零件之加工精度要求則是愈來愈嚴格。其加工
技巧之磨料加工技術的研磨、拋光方面,對於高效率、高精度、高品位、超精密、自動化等之期望也很高,滿足其要求的加工技術之一為ELID研磨法。
ELID
研磨法為金屬結合砂輪的削銳方法之一,利用電氣化學作用所產生之電解溶出現象,在研磨加工中也可以連續地進行削銳,以保持穩定的銳利度。

(十二)所示為平面磨床使用ELID研磨法時之示意圖。電解削銳是對與研磨加工無關之砂輪部份,在砂輪和電極之間產生電氣化學反應而進行的。

(十三)所示為ELID研磨時之砂輪表面狀態的示意圖。
(a) 為砂輪剛削正後之狀態。
(b)
為在研磨加工之前僅實施削銳操作,利用電解方式,使砂輪之結合劑溶解的狀態。
(c)
為隨著電解之進行,不導電薄膜產生,結合劑之溶解被抑制。
(d) 是由於加工之進行,磨料發生磨耗,不導電薄膜也被剝離之狀態。
(e)
是不導電薄膜變薄,導電性回復,結合劑之溶解再度開始,而露出磨粒。
由於這些作用之反覆進行,使砂輪可以保持良好的銳利度。
圖(十二)使用ELID研磨法之平面磨床示意圖

(十三)ELID研磨時之砂輪表面狀態示意圖
依據工研院微機電部H.Y.Lin及F.Y.Chang等人89年11月1~2日發表於第四
屆奈米工程暨微系統技術研討會之論文:
The Surface Morphology and Sub-surface
Characteristics of ELID-Ground Single Crystal Silicon.
利用ELID鑽石磨輪
研磨直徑300-400mm之矽晶圓,可獲得所期望的表面粗度與平坦度(flatness)其研磨結果則視電流、電壓、磨輪轉速、材質、磨粒粗細、進給率
及工作台轉速而決定。Nachi RGS20N ELID研磨機之示意圖如圖(十四)所示:

(十四)Nachi RGS20N ELID研磨機示意圖
通常磨輪之磨粒越細,則研製工件之表面粗度越好,然而磨輪表面越容易被切屑
(Chip)堵塞而變成不銳利,因此必需定時停機清理削銳,如此一來就造成加工不方便及損失,因此Ohmori提供ELID研磨法,使得在研磨過程中,經
常保持磨輪在銳利狀態,因即可獲得穩定又理想之工件表面粗度。
相片(二)(三)(四)(五)(六)為利用AFM(Atomic
Force Micro Scope 電子力顯微鏡)、SEM(Scanning Electron Micro Scope
掃描電子顯微鏡)及HRTEM(High Resolution Transmission Electron Micro Scope
高解析度穿透式電子顯微鏡)在不同加工參數條件下所得到之矽晶片表面狀況之相片。

片(二)ELID研磨之矽晶片 SEM(左) AFM(右)相片
(#6000 Diamond ,Wheel ,30V,
20A,2000/400rpm,2μm/min)

片(三)ELID研磨之矽晶片 HRTEM相片
(#6000 ,30V, 20A,2000/400rpm,2μm/min[110])
相片(四)ELID研磨之矽晶片 AFM相片
(#6000 ,60V,
10A,3000/100rpm,8μm/min(左),2μm/min(右))

片(五)ELID研磨之矽晶片 HRTEM相片
(#6000 ,60V, 10A,3000/100rpm,8μm/min[110])
相片(六)ELID研磨之矽晶片 HRTEM相片
(#6000 ,60V,
10A,3000/100rpm,8μm/min[110])
由於磨輪進給率不同,晶片表面之狀況也稍微不同,如圖(十三)所示,進給率
為8μm/min時,在晶片表面產生10-30nm(奈米)之非晶形薄層(amorphous
layer)如圖(十四)所示,當進給率為2μm/min時,因磨耗較大,導致磨擦生熱,因此在晶片表面產生80μm之非晶形薄層,同時在基底下形成
200nm之差排薄層(dislocation layer)
Reference:
(1) 機械所無師自通電解拋光技術
經濟日報(88.11.28)
(2) 微細加工技術 復漢出版社
(3) 電解拋光技術 工研院機研所
(4)
The Surface Morphology and Sub-surface Characteristics of ELID-Ground
Single Crystal Silicon.
H.Y.Lin and F.Y.Chang
第四屆奈米工程暨微系統技術研討會之論文集
(5) MATERIALS AND PROCESSES IN MANUFACTURING
E.Paul De Garmo
(6) VLSI 製程概論 陳志芳 工業技術人才培訓計劃講義
 
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硬车削的突出吸引力是消除了使用磨削操作的可能性,然而,有些工厂依然对
重复车削45 Rc以上零件并达到磨削级别精度的工艺不太乐观。
硬车削的目标是随切屑带走至少80%的热量,以保持零件的热稳定性。
采用完全和谐的
硬车削工艺可获得0.00011英寸的表面光洁度、0.000009英寸圆度和±0.0002英寸直径公差,这样的精度在对淬硬前工件进行“软车削”的相
同机床上同样可以达到,从而最大限度地提高设备利用率。然而有些工厂最初失策地选用不合适的(确切地说是比较便宜的)刀片,另一些工厂也许对他们的机床是
否具有很高的刚性、足以承受二倍于普通车削的压力没有把握。哈挺公司(Hardinge)的应用工程师Tom
Sheehy讲述了该公司对于硬车削的一些建议和理解。以下是工厂认真评估硬车削时必须牢记的8个重要的过程因素。
工件
尽管45Rc材料是硬车削的起始点,但是硬车削经常在60
Rc以上硬度的工件上进行。硬车削材料通常包括工具钢、轴承钢、渗碳钢以及铬镍铁合金、耐蚀耐热镍基合金、钨铬钴合金等特殊材料。根据冶金学的观点,在切
深范围内硬度偏差小(小于2个Rc)的材料显示出最好的过程可预测性。有时,工件的尺寸或几何特征完全不适合于硬车削,最适合于硬车削的零件具有较小的长
度/直径(L/D)比;一般说来,无支撑工件L/D之比不大于4:1,支撑工件L/D之比不大于8:1。尽管细长零件有尾架支撑着,但是切削压力过大仍有
可能引起刀振。
最适合于硬车削的选择对象是具有小L/D比的零件。

 

机床
机床刚
度决定硬车削的加工精度,最近15~20年内制造的机床几乎都有很好的刚性,足以对付某些硬车削用途。在许多情况下,机床的总体状况在更大程度上比使用年
限更重要,维护精良的手动老车床甚至可以成为硬车削的候选对象。无论如何,由于对零件公差和表面光洁度要求越来越严格,机床刚度将不再是一个简单的问题。
为了给硬车削用途增加刚性和阻尼特性,哈挺将许多特征纳入了车削中心,其中包括聚合物复合材料增强机座、带弹簧夹头(使主轴支撑靠近工件)的直接配合式主
轴和静压导轨。系统刚性最大化意味着尽量减少一切悬空、刀具延伸和零件伸出,并取消调隙片和垫圈,其目标是保持一切物件尽可能地接近转塔刀架。



完全和谐的硬车削系统可以减少甚至省去磨削以及与之相关的高昂的刀具成本和冗长的加
工时间。

 


刀片

些工厂最初对立方氮化硼(CBN)刀片的高昂价格望而却步,尽管CBN
刀片是最适合于硬车削。CBN刀片能够在断续切削过程中保持定位不变,在连续切削过程中提供安全的刀具磨损率。当采用合适的硬车削工艺时,CBN刀片除了
在控制直径公差方面比不上磨削以外,其它性能都是首屈一指的。


瓷不如CBN耐磨,因此一般不用于公差小于±0.001英寸的操作。陶瓷不适合于断续切削,而且不应加冷却液,因为热冲击可能造成刀片破裂。刀片的钝缘几
何形状是陶瓷材料的固有特点,这一特点转化为切削力增大而工件表面光洁度下降。另外,陶瓷刀片刃口断裂可能是灾难性的,它可能会使所有切削刃无一可用。


属陶瓷(立方碳化钛)对连续切削渗碳硬化材料很有效,尽管它不具备CBN那样的的耐磨性,好在刀片在大多数情况下会成比例地磨损而不断裂。


前角刀片通常由于其结实的切削刃而得到利用。与之相反,正前角刀片由于其切削力比较小,才有可能用在刚性不高的机床上进行硬车削。


于刀片的最好建议是与刀具供应商密切合作,特别是在最初阶段,以迅速达到最佳切削速度。


却液

关于冷却液的最大问题是究竟用不用冷却
液。对于齿轮之类的断续切削零件来说,最好是“干运行”,否则进刀和退刀时的热冲击很可能引起刀片破裂。至于连续切削,刀头在干运行过程中产生的高温足以
韧化(弄软)预切削区域,从而降低材料硬度使之易于剪切。这个现象说明了干切削时增大速度是有益的。同时,无冷却液切削式具有明显的成本优势。


连续切削用途中,冷却液可能有助于延长刀具寿命和改进表面光洁度。问题的关键是要使冷却液能够到达刀头,高压冷却液是解决这个问题的最好办法,因为它不容
易在高温下蒸发。此外,高压可以减少切屑堆积,从而减少因为切屑阻塞、妨碍冷却液流至刀头的机会。另一个办法是将冷却液同时释放到刀片的顶部和底部,确保
冷却液连续到达刀头。

如果使用冷却液,它必须是水基的。在完全匹
配的硬车削过程中形成的切屑,可以带走80~90%的热量(切削区域最高温度可达 1,700°F)。
如此炽热的切屑万一接触低燃点冷却油,整个工序完全有可能化为乌有。如果在敞开式机床上进行硬车削,必须增加适当的保护装置,避免操作人员被切屑烫伤。



为了最大限度地增加硬车削的系统刚性,应尽量减
小一切悬伸并取消垫圈和调整片。刀具伸出长度不得大于刀杆高度的1.5倍。



因为硬车削产生的热量大部分由切屑带走,加
工前后对切屑进行检查可以发现整个过程是否协调。连续切削时,切屑应该呈炽燃的橙黄色,并象一根缎带似地飘逸而出。如果切屑冷却后用手一压基本断裂,表明
切屑带走的热量是正常的。

白化层

“白化层(热影响区)”可能令人讨厌地显露在硬车削和磨削操作
中,即在材料表面形成一层肉眼看不见的非常薄(通常1微米)的硬壳。在硬车削过程中形成白化层,一般是因为刀片钝化引起过多的热量传递到零件内。白化层经
常在轴承钢上形成,而且对于轴承圈之类需要承受高接触压力的零件是非常有害的,随着时间的推移,白化层可能剥离并导致轴承失效。


承制造商几乎都自备试验手段,
以便在这个方面处于领先地位。至于刚刚开始从事硬车削的工厂,建议在开始生产的头几周内进行随机抽查,以确定每个刀片能够车削多少零件而不形成白化层。冶
金公司有能力进行这些试验。即使一个刀片以能加工400个零件为标准,它也可能在加工300件后就变钝并且开始使零件产生白化层了。



镗削淬硬材料需要很大的切削压力,因此往往
会成倍地增加镗杆承受的扭力和切向力。采用正前角式35°或55°锐角、小刀尖半径刀片可以减小切削压力。在增加切削速度的同时减小切深和进刀速度,也是
减小切削压力的办法。



 
 
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版2ec5
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我國在金屬切削方麵有著悠久的曆史。古代加工石質、木質、骨質和其他非金
屬器物是今天金屬加工的序曲。在舊石器時代就有石砍砸器,到了新石器時代,人們再與大自然的搏鬥中生產工具得到了不斷的改進,如:石斧、石刀、石鐮等。並
且以能在石器上鑽孔。甚至把堅硬的石刃鑲嵌或粘接在骨把上製成夾固式石刃骨刀。
   
人類從這時候起,在生產實踐中逐步認識了刀刃的作用。可以這樣說,一個原始的切削加工過程形成了。基本上具備了切削的基本條件:刀具(帶刃口的石器),被
加工對象(生產和生活用品),切削運動。
   
我國的金屬切削加工工藝,從青銅器時代開始萌芽的,並逐漸形成和發展。從殷商到春秋時期已經有了相當發達的青銅冶鑄業出現了各種青銅工具,如:青銅刀、青
銅銼、青銅鋸等等。同時有出土文物與甲骨文記錄表明,這個時期的生產的青銅工具和生活工具,在製造過程中大都要經過切削加工或研磨。我國的冶鑄技術比西歐
早一千多年。滲碳、淬火、和煉鋼技術的發明,為製造堅硬鋒利的工具提供了便利的條件。鐵質工具的出現,表明金屬切削加工進入了一新的階段。有記載表明早在
三千多年前的商代已經有了旋轉的琢玉工具,這也就是金屬切削機床的前身。70年代在河北滿城一號漢墓出土的五銖錢,其外圓上有經過車削的痕跡,刀花均勻,
切削振動波紋清晰,橢圓度很小。有可能將五銖錢穿在方軸上然後裝夾在木質的車床上,用手拿著工具進行切削。
八世紀的時候我國就有了金屬切
削車床。到了明代,手工業有了很大的發展,各種切削方法,有了較細的分工。如:車、銑、鑽、磨等等。從北京古天文台上的天文儀器可以看出當時采用了與五、
六十年代類似的加工方法。這也就說明當時就有較高精度的磨削、車削、銑削、鑽削等等。其動力是畜力和水力。
   
清末,由於政府腐敗和外國的侵略使我國的科學技術發展停滯不前,金屬加工也處於落後的狀態。
   
解放前,我國的工業已經十分落後,根本沒有自己的機床,工具製造業。就連高速鋼這樣的工具材料,麻花鑽這樣的普通工具都不能製造。
   
解放後,我國的機床也有了長足的發展。機床和工具製造業也從無到有,從小到大。
   
七八十年代,工具材料進一步得到發展,硬質合金和高速鋼的規格和品種不斷增加。如:塗層硬質合金、立方碳化硼,陶瓷等等。到了八十年代數控、數顯設備也開
始發展起來了。由於受當時電子設備、微機、傳輸等影響,沒有太大的發展空間。隨著電子設備、微機、傳輸速率的快速發展,數控、數顯設備也快速發展起來了。
   
現今,我國機床製造也已基本上成熟了,特別是在普通機床上。準確來講機床是先進製造技術的載體,機械產品質量、更新速度、應變能力、效率在相當程度上取決
於機床。我國現在對機床的需求將是中檔數控機床、加工中心和專用機床為主。其他機床相對要少得多了。而我國的尖端數控機床和自動化生產線的製造還不能與世
界強手相比。
   
但是,我國在軍事,航空等方麵還需要精密、複合、智能的設備。這也就要求我們奮發圖強趕上他們,在這樣的環境下也確定了我國數控機床的發展方向,向複合、
高速、智能、精密、環保等方麵的發展,完善我國自主知識產權的開放式數控係統平台及技術規範,開發數控機床的智能化和網絡化技術;進一步研究並聯加工技術
和集車、磨、銑、鑽、鉸、鏜等工序於一身的集成技術,減少加工中的裝夾次數;攻克高水平電主軸、直線電機、高速滾珠絲杠等功能部件製造技術,提高產品性能
和技術水平;推廣機械加工中的無冷卻、無潤滑、無氣味等技術,減少機床使用中對環境的汙染。
 
而普通機床也不能少,在小規模的生產廠家普通機床是必不可少的,這些廠家主要以修配和小批量生產為主,一些民品的精度不是很高,普通機床完全可以滿足他們
的需要。
    刀具材料的發展及現狀
   
在現代機械加工中,刀具材料以硬質合金和高速鋼用得最多,幾乎各占一半。高速鋼的發明和應用,已有整整一個世紀的曆史,硬質合金則已有半個世紀。但二者均
研製出許多新品種,其性能不斷提高,在機械加工中發揮著重要作用。近年來,隨著數控加工技術的迅猛發展以及數控機床的普遍使用,要實現高效率、高穩定性、
長壽命加工。超硬刀具的應用也日漸普及起來,同時引入了許多先進的切削加工概念,如高速切削、硬態加工、高穩定性加工、以車代磨、幹式切削等。超硬刀具已
成為現代切削加工中不可缺少的重要手段。
    (一)超硬刀具
   
超硬刀具主要包括金剛石刀具和立方氮化硼刀具,其中以人造金剛石複合片(PCD)刀具及立方氮化硼複合(PCBN)刀具占主導地位。
   
(1)PCD金屬切削刀具
   
PCD金屬切削刀具可利用PCD材料的高硬度、高耐磨性、高導熱性及低摩擦係數實現有色金屬及耐磨非金屬材料的高精度、高效率、高穩定性和高表麵光潔度加
工。此類刀具從結構上主要可分為焊接式PCD刀具和可轉位式PCD刀片。近年來焊接式PCD刀具中發展較快的品種是帶標準刀柄的PCD刀具,如帶柄PCD
銑刀、PCD鏜刀、PCD鉸刀等,刀柄型式主要為圓柱柄、錐柄和HSK柄。這種刀具(尤其是多齒刀具)的特點是切削刃對刀柄的跳動小(如刃長為30mm的
HSK柄PCD銑刀的切削刃跳動僅為0.002mm),尤其適合於對各種有色金屬零件的成形麵、孔、階梯孔等進行大批量高速加工。例如,采用鋁基體刀盤的
PCD高速銑刀(六刃,直徑100mm),最高轉速可達20,000r/min以上,切削速度可達7,000m/min。
   
可轉位式PCD刀片是在硬質合金可轉位刀片上鑲裝一塊PCD刀坯再經刃磨而成,可裝夾在各種數控機床的刀杆、刀夾或刀盤上,用於高可靠性的大批量加工。隨
著數控機床、加工中心及自動生產線的日益普及,可轉位式PCD刀片的使用越來越多,其刀具耐用度較硬質合金刀具可提高幾十倍。
   
(2)PCBN金屬切削刀具
    PCBN金屬切削刀具也可分為焊接式PCBN刀具和可轉位式PCBN刀片兩類。
   
焊接式PCBN刀具是將PCBN刀坯焊接在鋼基體上經刃磨而成,主要有車刀、鏜刀、鉸刀等。PCBN刀具大多用於耐磨黑色金屬的加工,因此其刀尖角不能太
小,刀具前角一般為-5°~5°,後角一般為3°~10°,斷續切削時一般采用負倒棱。
   
轉位結構的PCBN刀片(主要為車刀片和銑刀片)一般是在可轉位硬質合金刀片的一個角上鑲焊一塊PCBN刀坯,經刃磨而成。考慮到刀坯較貴及重磨等原因,
一般隻做成一個刀尖。隨著焊接工藝質量的提高,其剪切強度可達0.78kg/m2。隨著PCBN刀坯尺寸越做越小,不重磨PCBN刀片的價格也隨之降低。
    (二)超硬刀具的典型應用
(1)硬態加工,以車代磨
   
由於PCBN刀具具有極高的硬度及紅硬性,可使被加工的高硬度零件獲得良好的表麵粗糙度,所以采用PCBN刀具車削淬硬鋼可實現“以車代磨”。應用實例如
汽車、摩托車齒輪孔的加工,此類零件材料一般為20CrMnTi,滲碳淬火,表麵硬度為60~62HRC,齒輪孔精度為IT6,表麵粗糙度
Ra≤0.8μm。傳統加工工藝為:機加工->熱處理->磨削。采用超硬刀具“以車代磨”的加工工藝為:粗加工->熱處理->精
加工。新工藝可大幅度提高加工效率,降低加工成本,原采用磨削工藝一班僅能加工100個小齒輪,現采用PCBN刀具車削(切削參數
V=60~120m/min,f≤0.12mm/r,ap≤0.1mm,一班能加工400個小齒輪,此外,分攤到每個齒輪的加工成本也有所下降。
   
(2)高速切削,高穩定性加工
   
在汽車發動機生產線上,灰鑄鐵缸體的缸孔精加工是關鍵工序之一,要求缸孔加工尺寸精度高、表麵粗糙度值小、穩定性好;由於生產線加工節拍快,要求切削速度
高(通常V≥500m/min),刀具壽命長(加工孔數≥1000),且倒角、止口、粗精鏜等多個工位的刀片壽命均應滿足耐用度要求。采用PCBN刀具即
可實現發動機缸孔的高速切削及高穩定性加工,其典型切削參數為:V=500m/min,f=0.2~0.4mm/r,ap=0.2~0.7mm;加工表麵
粗糙度Ra≤1.6μm,刀具壽命>1,000件。
    (3)有色金屬的高速、高穩定性、低粗糙度加工及鏡麵加工
   
采用PCD刀具加工有色金屬時,由於金剛石硬度高,表麵與金屬親合力小,且刀具一般拋光成鏡麵,不易產生積屑瘤,因此加工尺寸穩定性及表麵質量都很好,刀
具壽命也較長。
   
例如,采用PCD刀具加工電機整流子的紫銅換向器,典型切削參數為:V=300m/min,f=0.08mm/r,ap≤0.15mm,加工表麵粗糙度
Ra0.1~0.2μm,刀具壽命>5,000件,而采用硬質合金刀具則隻能加工幾件。
   
采用PCD刀具加工各種矽鋁合金零件,表麵粗糙度Ra≤0.1μm,刀具壽命可達幾千~幾萬件,尤其適合汽車、摩托車零件的大規模生產。
   
采用單晶金剛石刀具,在超精密車床上可實現鏡麵球形加工。機床采用超精密氣體靜壓主軸及回轉工作台,跳動量≤0.3μm,工件采用高精度氣動卡盤,可實現
快速高精度定位。加工無氧銅材料時,表麵粗糙度Ra≤0.025μm,圓度≤0.3μm;加工鋁件時,表麵粗糙度Ra≤0.025μm。
   
(4)幹式切削,清潔化加工
   
采用PCBN刀具加工含硼鑄鐵缸套,切削參數:V=200m/min,f=0.1mm/r,ap=0.2~1mm,加工表麵粗糙度Ra≤1.6μm,精度
IT6,兩次刃磨間刀具壽命>100件,可實現“以車代磨”。由於采用幹式切削,避免了切(磨)削液及砂輪灰對環境的汙染,切屑也可回收再利用,符
合清潔化生產要求。
    以上所說的刀具價格比較貴一些小型生產廠家由於成本的問題不會去大量購買。
(三)我國的新型刀具
   
這種添加稀土元素的硬質合金是刀具材料新品種之一。稀土元素是指化學元素周期表中原子序數57~71(從La到Lu),再加上21和39(Sc和Y),共
17個元素。將某些稀土元素,以一定方式,微量添加到傳統的硬質合金牌號中,即可有效地提高它們的機械性能與切削性能。我國稀土元素資源豐富,對稀土硬質
合金的研究開發,領先於其他國家。已研製出下列牌號的刀具用稀土硬質合金:YG8R(相當於ISOK30級別)、YG6R(K20)、
YW1R(M10)、YW2R(M20)、YT5R、YT14R(P20)、YT15R(P10)、YS25R(P25)。還有礦山、地質工具牌號
YG11CR。在YG8、YT14、YW1硬質合金中添加了Ce、Y等稀土元素後,形成了稀土硬質合金YG8R、YT14R、YW1R。YG8R主要用於
鑄鐵和有色金屬的粗加工;YT14R主要用鋼材的半精加工;YW1R則為通用牌號,可用於各種工件材料的半精加工。
   
經過測試,添加稀土元素後硬質合金的組織比較致密;室溫硬度和高溫硬度有所改善;斷裂韌性和抗彎強度顯著提高,分別提高20%和10%以上。
   
稀土硬質合金的耐磨損和使用壽命試驗
   
通過一些試驗,稀土硬質合金與無稀土元素的原刀片相比,YG8R、YT14R、YW1R刀片的耐磨性和使用壽命均有不同程度的提高。稀土硬質合金與無稀土
元素的原刀片相比,在車削花鍵軸鋼件,便刀尖受衝擊,直至刀尖破損為止。經多次重複試驗,在刀尖破損前,YG8R、YT14R、YW1R刀片所能承受的衝
擊次數分別比YG8、YT14、YW1刀片提高1~2倍以上等優勢。
   
稀土元素存在於(W,Ti)C或(W,Ti,Ta,Nb)C固溶體中,能強化硬質相;並能抑製WC晶粒不均勻長大,使之趨向均勻,平均晶粒尺寸有所減小。
少量稀土元素還固溶在粘結相Co中,使粘結相得到強化。稀土元素富集在WC/Co的相界麵處及(W,Ti)C/(W,Ti)C等相界麵間,常與雜質S、O
等化合形成RE2O2S等化合物,改善了界麵上潔淨狀況並提高了硬質相與粘結相的潤濕性。由此,稀土硬質合金的衝擊韌性、抗彎強度及工作時的抗衝擊能力明
顯得到提高。其硬度、耐磨性及刀具表麵上抗擴散和抗氧化的能力亦有一定提高。
   
經過電鏡測試,還發現稀土硬質合金刀片在切削時表層有富鈷現象,故能降低切屑、工件與刀具間的摩擦係數,從而可以降低切削力。
   
稀土元素在自然界蘊藏豐富,價格不高,添加在硬質合金中可以明顯地提高機械、物理性能和使用性能,故有廣闊的應用前景。
 
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cutting tool
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ФрезерыCarbide drillHigh speed steelCompound SharpenerMilling cutterINDUCTORS FOR PCDCVDD(Chemical Vapor Deposition
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PCBN
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Core drillTapered end
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Edge-Beveling Cutter(Golden Finger
PCD V-CutterPCD Wood toolsPCD Cutting toolsPCD Circular Saw BladePVDD End Millsdiamond tool. INDUCTORS FOR PCD .
POWDER FORMING MACHINE
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PCD (Polycrystalline
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Electronics cutterStep drillMetal cutting sawDouble margin drillGun barrelAngle milling cutterCarbide burrsCarbide tipped cutterChamfering toolIC card engraving cutterSide cutterStaple CutterPCD diamond cutter specialized in
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PCD Circular Diamond Tipped Saw Blade with Indexable Insert

PCD Diamond Tool
Saw Blade with Indexable InsertNAS toolDIN or JIS toolSpecial toolMetal slitting sawsShell end millsSide and face milling cuttersSide chip clearance sawsLong end millsend mill grinderdrill grindersharpenerStub roughing end millsDovetail milling cuttersCarbide slot drillsCarbide torus cuttersAngel carbide end millsCarbide torus cuttersCarbide ball-nosed slot drillsMould
cutter
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弊社は各領域に供給できる内容は:
(1)精密HSSエンドミルのR&D
(2)Carbide Cutting
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設計

(3)鎢鋼エンドミル設計
(4)航空エンドミル設計
(5)超高硬度エンドミル
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弊社の製品の供給調達機能は:
(1)生活産業~ハイテク工業までのエンドミル設計
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(4)オートメーション整備調達
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высокотехнологичным карбидовым материалом для поставки режущих /
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быстрорежущая сталь, а также двигатели, микроэлектрические дрели, IC
картонорезальные машины, фрезы для гравирования, режущие пилы,
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для шлицевого вала / звездочки роликовой цепи, и специальные нано
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陶瓷材料
陶瓷刀具材料隨著其組成結構和壓制工藝的不斷改
進,特別是納米技術的進展,使得陶瓷刀具的增韌成為可能,在不久的將來,陶瓷可能繼高速鋼、硬質合金以後引起切削加工的第3次革命。
陶瓷刀具具有高硬度(HRA91~95)、高強度(抗彎強度為750~1000MPa),耐磨性好,化學穩定性好,抗粘結性能良好,摩擦係數低且價格低廉
等優點。 不僅如此,陶瓷刀具還具有很高的高溫硬度,1200°C時硬度達到HRA80.
正常切削時,陶瓷刀具耐用度極高,切削速度可比
硬質合金提高2~5倍,特別適合高硬度材料加工、精加工以及高速加工,可切削硬度達HRC65的各類淬硬鋼和硬化鑄鐵等。
常用的有:氧化鋁基陶瓷、氮化矽基陶瓷、金屬陶瓷和晶須增韌陶瓷。
氧化鋁基陶瓷刀具比硬質合金有更高的紅硬性,高速切削狀態下切削刃一般
不會產生塑性變形,但它的強度和韌性很低,為改善其韌性,提高耐衝擊性能,通常可加入ZrO或TiC和TiN的混合物,另一種方法是加入純金屬或碳化矽晶
須。
氮化矽基陶瓷除紅硬性高以外,還具有良好的韌性,與氧化鋁基陶瓷相比,它的缺點是在加工鋼時易產生高溫擴散,加劇刀具磨損,氮化矽基陶瓷主要應用於斷續車
削灰鑄鐵及銑削灰鑄鐵。
金屬陶瓷是一種以碳化物為基體材料,其中TiC為主要的硬質相(0.5~2μm),它們通過Co或Ti粘結劑結合
起來,是一種與硬質合金相似的刀具,但它具有較低的親和性、良好的摩擦性及較好的耐磨性。
它比常規硬質合金能承受更高的切削溫度,但缺乏硬質合金的耐衝擊性、強力切削時的韌性以及低速大進給時的強度。
近年通過大量的研究、改進和採用新的製作工藝,其抗彎強度和韌性均有了很大提高,如日本三菱金屬公司開發的新型金屬陶瓷NX2525及瑞典山德維克公司開
發的金屬陶瓷刀片新品CT系列和塗層金屬陶瓷刀片系列,其晶粒組織的直徑細小至1μm以下,抗彎強度和耐磨性均遠高於普通的金屬陶瓷,大大拓寬了其應用範
圍。
立方氮化硼(CBN)
CBN的硬度和耐磨性
僅次於金剛石,有極好的高溫硬度,與陶瓷相比,其耐熱性
和化學穩定性稍差,但衝擊強度和抗破碎性能較好。
它廣泛適用於淬硬鋼(HRC≥50)、珠光體灰鑄鐵、冷硬鑄鐵和高溫合金等的切削加工,與硬質合金刀具相比,其切削速度可提高一個數量級。
CBN
含量高的複合聚晶立方氮化硼(PCBN)刀具硬度高、耐磨性好、抗壓強度高及耐衝擊韌性好,其缺點是熱穩定性差和化學惰性低,適用於耐熱合金、鑄鐵和鐵系
燒結金屬的切削加工。
PCBN刀具中CBN顆粒含量較低,採用陶瓷作粘結劑,其硬度較低,但彌補了前一種材料熱穩定性差、化學惰性低的特點,適用淬硬鋼的切削加工。

切削灰鑄鐵和淬硬鋼時,可選擇陶瓷刀具或CBN刀具,為此,應進行成本效益和加工質量分析,以確定選擇哪一種。
圖3為Al2O3、Si3N4和CBN刀具加工灰鑄鐵後刀面磨損情況,如圖3所示,PCBN刀具材料切削性能優於Al2O3和Si3N4.但在淬硬鋼乾式
切削時,Al2O3陶瓷的成本低於PCBN材料。 陶瓷刀具有良好的熱化學穩定性,但卻不及PCBN刀具的韌性和硬度。 在切削硬度低於
HRC60以下和採用小進給量時,陶瓷刀具是較好的選擇。 PCBN 刀具適於切削硬度高於HRC60的工件,尤其在自動化加工和高精度加工時更為適用。
除此之外,在相同後刀面磨損情況下,PCBN刀具切削後的工件表面殘餘應力也比陶瓷刀具相對穩定。
來源機械專家網
 
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粉末造粒成型機主機版專用頂級電桿PCD V-Cut捨棄式圓鋸片組粉末成型機航空機械鉸刀主機版專用頂級電汽車業刀具設計電子產業鑽石刀具木工產業鑽石刀具銑刀與切斷複合再研磨機銑刀與鑽頭複合再研磨機銑刀與螺絲攻複合再研磨機等等。我們的產品涵蓋了從民生
刀具到工業級的刀具設計;從微細刀具到大型刀具;從小型生產到大型量產;全自動整合;我們的技術可提供您連續生產的效能,我們整體的服務及卓越的技術,恭
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硬車削的目標是隨切屑帶走至少80%
的熱量,以保持零件的熱穩定性。合理的硬車削系統可以減少甚至省去磨削以及與之相關的高昂的刀具成本和較長的加工時間。採用合理的硬車削工藝可獲得
0.0028?m的表面光潔度、0.0002?m的圓度和±0.005?m的直徑公差。要想這樣的精度在對淬硬前工件進行"軟車削"的相同機床上達到這樣
的精車,從而最大限度地提高設備利用率不是不可以實現的。但由於某些工廠錯誤地選用了刀片(確切地說是選用了廉價刀片),或不清楚所用機床是否具有足夠的
剛性以承受二倍于普通車削的壓力,從而使得硬車削工藝沒有充分地、完全地發揮出其高率。因此,硬車削時須注重以下8個方面:
  1、工
件和刀具
  儘管45HRC硬度是硬車削的起始點,但硬車削經常在硬度高於60HRC以上硬度的工件上進行。硬車削材料通常包括工具鋼、
軸承鋼、滲碳鋼以及鉻鎳鐵合金、耐蝕耐熱鎳基合金、鎢鉻鈷合金等特殊材料。根據冶金學,在切深範圍內硬度偏差小(小于2個HRC)的材料可顯示出最好的過
程可預測性。最適合於硬車削的零件具有較小的長徑比(L/D),一般來說,無支撐工件的L/D之比不大於4:1,有支撐工件的L/D之比不大於8:1.儘
管細長零件有尾架支撐,但是由於切削壓力過大仍有可能引起刀振。
  在傳統刀具製造中,刀柄材料通常是45鋼調質到HB210-240,
而在硬車削工藝中採用的刀柄硬度應提高1.5倍。為了最大限度地增加硬車削的系統剛性,刀具伸出長度不得大於刀桿高度的1.5倍,工件在裝夾時也應儘量減
小懸伸長度。
  2、機床和工藝系統
  除選擇合理的刀具外,機床剛度決定了硬車削的加工精度。近15~20年內製造的
機床幾乎都有很好的剛性,足以承受硬車削。若車床或車削中心剛度足夠,且加工軟的工件時能得到所要求的精度和表面粗糙度,即可用於淬硬鋼的加工,精心維護
的普通車床都可以用於硬車削。為了保證車削操作的平穩和連續,常用的方法是採用剛性夾緊裝置和中等前角刀具。並保證工件在切削力作用下其定位、支承和旋轉
可以保持相當平穩。系統剛性最大化意味著儘量減少懸空、刀具延伸和零件伸出,並取消調隙片和墊圈,其目標是保持所有零部件盡可能地接近轉塔刀架。
 
 3、刀片
  儘管立方氮化硼(CBN)刀片的價格昂貴,但CBN刀片最適合於硬車削。CBN刀片能夠在斷續切削過程中保持定位不變,在
連續切削過程中提供安全的刀具磨損率。當採用合理的硬車削工藝時,CBN刀片除了在控制直徑公差方面比不上磨削以外,其他性能都是首屈一指的。
 
 陶瓷不如CBN耐磨,因此一般不用於公差要求小于±0.025mm的加工。陶瓷不適合於斷續切削,而且不能加冷卻液,因為冷熱衝擊可能造成刀片破裂。刀
片的鈍緣幾何形狀是陶瓷材料的固有特點,這一特點使切削力增大而工件表面光潔度下降。另外,陶瓷刀片刃口斷裂可能是災難性的,它可能導致所有切削刃均不能
使用。
  金屬陶瓷(立方碳化鈦)對連續切削滲碳硬化材料很有效,儘管它不具備CBN那樣的耐磨性,但這類刀片在大多數情況下會成比例地
磨損而不斷裂。正前角刀片由於其切削力較小,通常用在剛性不高的機床上進行硬車削。關於刀片的最合理應用,建議與刀具供應商密切合作,特別是在最初階段,
以迅速達到最佳切削速度。
  4、冷卻液
  其最大問題是用還是不用冷卻液。對於齒輪之類的斷續切削零件來說,最好採
用"幹車削",否則進刀和退刀時的熱衝擊很可能引起刀片破裂。至於連續切削,刀頭在幹車削過程中產生的高溫足以韌化(軟化)預切削區域,從而降低材料硬度
使之易於剪切。這個現象說明瞭幹切削時增大速度是有益的。同時,無冷卻液切削方式具有明顯的成本優勢。
  在連續切削中,冷卻液可能有助
於延長刀具壽命和提高表面光潔度。問題的關鍵是要使冷卻液能夠到達刀頭,高壓噴吸冷卻法是解決這個問題的最好辦法,因為它不容易在高溫下蒸發。此外,高壓
可以減少切屑堆積,從而減少因為切屑阻塞對冷卻液流至刀頭的影響。另一個辦法是將冷卻液同時噴壓到刀片的頂部和底部,以確保冷卻液連續到達刀頭。
 
 如果使用冷卻液,其成份必須是水基的。在完全匹配的硬車削過程中形成的切屑可以帶走80%~90%的熱量(切削區域最高溫度可達
1700°F)。如此熾熱的切屑一旦接觸低燃點冷卻油,整個工序將有可能遭到徹底破壞。如果在敞開式機床上進行硬車削,必須增加適當的保護裝置,避免操作
人員被切屑燙傷。
  5、加工工藝
  因為硬車削產生的熱量大部分由切屑帶走,加工前後對切屑進行檢查可以發現整個過程
是否協調。連續切削時,切屑應該呈熾燃的橙黃色,並象一根緞帶似地飄逸而出。如果切屑冷卻後用手一壓基本斷裂,表明切屑帶走的熱量是正常的。
 
 6、白化層
  令人討厭的"白化層(熱影響區)"可能出現在硬車削和磨削操作中,即在材料表面形成一層肉眼看不見的非常薄(通常
1?m)的硬殼。在硬車削過程中形成白化層,一般是因為刀片鈍化導致過多的熱量傳遞到零件內部。白化層經常在軸承鋼上形成,而且對於軸承圈之類需要承受高
接觸壓力的零件是非常有害的,隨著時間的推移,白化層可能剝離並導致軸承失效。
  對於剛開始從事硬車削的工廠,建議在生產的頭幾週內進
行隨機抽查,以確定每個刀片能夠車削多少零件而不形成白化層。另外,一個刀片即使可加工
400個零件,也有可能在加工300件後就變鈍並且開始使零件表面產生白化層。
  7、鏜孔
  鏜削淬硬材料需要很大的
切削壓力,因此往往需成倍增加鏜桿承受的扭力和切向力。採用正前角(35°或55°)、小刀尖半徑刀片可以減小切削壓力。在增加切削速度的同時減小切深和
進刀速度,也是減小切削壓力的辦法。
  鏜孔時,刀具必須與零件同心或略高於零件中心,因為切削引起的撓曲變形會降低實際中心線的位置降
低了。最好的夾緊形式是全長度對開套筒。在鏜削淬硬材料時,全長度對開套筒夾頭可提供最高的刀夾剛度。其次是彈簧夾頭和單點螺絲夾頭。
 
 8、車螺紋
  採用合適的刀片幾何形狀是在淬硬材料上車螺紋的關鍵,最好的螺紋刀片是類似于鏜桿上安裝的三角形刀片。在淬硬材料上車螺
紋時,為了控制切削壓力和延長刀片壽命,有必要增加走刀次數並減小切深。另一種選擇是採用交替式側面切入方式,可改變切削力承受位置並延長刀具壽命。

文引用的地址為http://www.zhvica.com/newsel.aspx?id=347
 
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ミル~大型エンドミル供給

(3)小Lot生産~大量発注対応供給
(4)オートメーション整備調達
(5)スポット対応~流れ生産対応
弊社の
全般供給体制及び技術自慢の総合専門製造メーカーに貴方のご体験を御待ちしております。

Bewise
Inc. talaşlı imalat sanayinde en fazla kullanılan ve üç eksende (x,y,z)
talaş kaldırabilen freze takımlarından olan Parmak Freze imalatçısıdır.
Çok geniş ürün yelpazesine sahip olan firmanın başlıca ürünlerini
Karbür Parmak Frezeler, Kalıpçı Frezeleri, Kaba Talaş Frezeleri, Konik
Alın Frezeler, Köşe Radyüs Frezeler, İki Ağızlı Kısa ve Uzun Küresel
Frezeler, İç Bükey Frezeler vb. şeklinde sıralayabiliriz.

BW специализируется в
научных исследованиях и разработках, и снабжаем самым
высокотехнологичным карбидовым материалом для поставки режущих /
фрезеровочных инструментов для почвы, воздушного пространства и
электронной индустрии. В нашу основную продукцию входит твердый карбид /
быстрорежущая сталь, а также двигатели, микроэлектрические дрели, IC
картонорезальные машины, фрезы для гравирования, режущие пилы,
фрезеры-расширители, фрезеры-расширители с резцом, дрели, резаки форм
для шлицевого вала / звездочки роликовой цепи, и специальные нано
инструменты. Пожалуйста, посетите сайт 
www.tool-tool.com  для
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BW is specialized in
R&D and sourcing the most advanced carbide material with high-tech
coating to supply cutting / milling tool for mould & die, aero space
and electronic industry. Our main products include solid carbide / HSS
end mills, micro electronic drill, IC card cutter, engraving cutter,
shell end mills, cutting saw, reamer, thread reamer, leading drill,
involute gear cutter for spur wheel, rack and worm milling cutter,
thread milling cutter, form cutters for spline shaft/roller chain
sprocket, and special tool, with nano grade. Please visit our web 
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文章来源:刀网论坛
  王林奇,
毛喆
  (郑州1804工艺研究所)
  摘要  对不锈钢零件进入钝化槽后就有气泡析出、表面渐渐变黑、甚至造成局部腐
蚀的现象进行了综合分析。发现热处理后的氧化膜、硫化层及敏化温度的回火、机械加工的表面粗糙度、钝化液中的杂质、钝化前处理的质量等都是钝化发黑的成
因。为此,我们采用了有效的措施:将热处理的盐炉淬火、碱槽回火改为真空淬、回火;机械加工零件的粗糙度降低到1.6μm对钝化工艺进行了改进,使不锈钢
钝化质量得到了保证。
  关键词  不锈钢;钝化;变黑;粗糙度;杂质
  0
前言  在不锈钢进行钝化时,常会发现有些不锈钢零件,放入溶液后,很快就有反应气泡析出,不锈钢表面就渐渐变黑,取出后进行多次吹砂或机械抛光直至钝化
能顺利进行,这样有时会造成零件尺寸超差或报废,但有些零件用此方法亦无法产生合格的钝化膜。
  1 不锈钢原钝化工艺
  1.1工
艺流程
  化学除油→热水洗→流动冷水洗→酸洗→流动冷水洗→钝化→流动冷水洗→热水洗→吹干。
全文下载
锈钢零件钝化变黑成因及对策
http://tech.86cut.com/techfiles/file/22841424-db70-49f1-b35a-10811ae6d7ad.pdf
 
歡迎來到Bewise Inc.的世
界,首先恭喜您來到這接受新的資訊讓產業更有競爭力
,我們是提供專業刀具製造商,應對客戶高品質的刀具需求,我們可以協助客戶滿足您對產業
的不同要求,我們有能力達到非常卓越的客戶需求品質,這是現有相關技術無法比擬的,我們成功的滿足了各行各業的要求,包括:
精密HSS DIN切削刀具協助客戶設計刀具流程DIN or JIS 鎢鋼切削刀具設計NAS986 NAS965 NAS897 NAS937orNAS907 航太切削刀具,NAS航太刀具設計超高硬度的切削刀具醫療配件刀具設計複合式再研磨機PCD地板專用企口鑽石組合刀
粉末造粒成型機主機版專用頂級電桿PCD V-Cut捨棄式圓鋸片組粉末成型機航空機械鉸刀主機版專用頂級電汽車業刀具設計電子產業鑽石刀具木工產業鑽石刀具銑刀與切斷複合再研磨機銑刀與鑽頭複合再研磨機銑刀與螺絲攻複合再研磨機等等。我們的產品涵蓋了從民生
刀具到工業級的刀具設計;從微細刀具到大型刀具;從小型生產到大型量產;全自動整合;我們的技術可提供您連續生產的效能,我們整體的服務及卓越的技術,恭
迎您親自體驗!!

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Willy Chen willy@tool-tool.com bw@tool-tool.com www.tool-tool.com
skype:willy_chen_bw mobile:0937-618-190 Head &Administration Office
No.13,Shiang Shang 2nd St., West Chiu Taichung,Taiwan 40356
http://www.tool-tool.com /
FAX:+886 4 2471 4839 N.Branch 5F,No.460,Fu Shin North Rd.,Taipei,Taiwan
S.Branch No.24,Sec.1,Chia Pu East Rd.,Taipao City,Chiayi Hsien,Taiwan

Welcome to BW
tool world! We are an experienced tool maker specialized in cutting
tools. We focus on what you need and endeavor to research the best
cutter to satisfy users
demand. Our customers involve
wide range of industries, like mold & die, aerospace, electronic,
machinery, etc. We are professional expert in cutting field. We would
like to solve every problem from you. Please feel free to contact us,
its our pleasure to serve for you.
BW product including: cutting toolaerospace tool .HSS  DIN Cutting toolCarbide end millsCarbide cutting toolNAS Cutting toolNAS986 NAS965 NAS897 NAS937orNAS907 Cutting Tools,Carbide end milldisc milling cutter,Aerospace
cutting tool
hss
drill
ФрезерыCarbide drillHigh speed steelCompound SharpenerMilling cutterINDUCTORS FOR PCDCVDD(Chemical Vapor Deposition
Diamond )’
PCBN
(Polycrystalline Cubic Boron Nitride)
Core drillTapered end
mills
CVD Diamond
Tools Inserts’
PCD
Edge-Beveling Cutter(Golden Finger
PCD V-CutterPCD Wood toolsPCD Cutting toolsPCD Circular Saw BladePVDD End Millsdiamond tool. INDUCTORS FOR PCD .
POWDER FORMING MACHINE
Single Crystal
Diamond
Metric
end mills
Miniature
end mills
Специальные
режущие инструменты
Пустотелое сверло
Pilot reamerFraisesFresas con mango
PCD (Polycrystalline
diamond)
‘FresePOWDER
FORMING MACHINE
Electronics cutterStep drillMetal cutting sawDouble margin drillGun barrelAngle milling cutterCarbide burrsCarbide tipped cutterChamfering toolIC card engraving cutterSide cutterStaple CutterPCD diamond cutter specialized in
grooving floors
V-Cut
PCD Circular Diamond Tipped Saw Blade with Indexable Insert

PCD Diamond Tool
Saw Blade with Indexable InsertNAS toolDIN or JIS toolSpecial toolMetal slitting sawsShell end millsSide and face milling cuttersSide chip clearance sawsLong end millsend mill grinderdrill grindersharpenerStub roughing end millsDovetail milling cuttersCarbide slot drillsCarbide torus cuttersAngel carbide end millsCarbide torus cuttersCarbide ball-nosed slot drillsMould
cutter
Tool manufacturer.
Bewise Inc. www.tool-tool.com

うこそ
Bewise Inc.
世界へお越し下さいませ、先ず御目出度たいのは新たな

情報を受け取って頂き、もっと各産業に競争力プラス展開。

社は専門なエンド
ミルの製造メーカーで、客先に色んな分野のニーズ
豊富な
パリエーションを満足させ、特にハイテク品質要求にサポート致します。

弊社は各領域に供給できる内容は:
(1)精密HSSエンドミルのR&D
(2)Carbide Cutting
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設計

(3)鎢鋼エンドミル設計
(4)航空エンドミル設計
(5)超高硬度エンドミル
(6)ダイヤモンドエンド

(7)医療用品エン
ミル設計

(8)自動車部品&材料加工向けエンドミル設計
弊社の製品の供給調達機能は:
(1)生活産業~ハイテク工業までのエンドミル設計
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  王继梅
(山东大学)
  摘要  不锈钢材料具有良好的综合性能,因此在各行各业中的应用越来越广泛,目前不锈钢产品的切削加工表面质量较差、效
率较低,其难切削加工性一直是制造行业迫切需要解决的问题。高速切削加工技术在切削不锈钢中的应用可以大幅度提高生产效率、加工质量。
  本课
题针对1Crl8Ni9Ti不锈钢高速车削加工中的刀具材料及切削用量选择、工件表面粗糙度、切屑形态、刀具磨损等问题进行了试验研究和理论分析,主要研
究内容如下:
  ①制定不锈钢切削试验方案:
  ②选择陶瓷刀具、金属陶瓷刀具、硬质合金涂层刀具进行不锈钢的高速车削加工试验,找
到不同刀具适合切削的范围。陶瓷刀具LT55适合在 Vc=120m/min以上切削加工不锈钢,耐磨性好:
  ③通过试验研究了不同刀具材料
高速车削加工lCrl8Ni9Ti不锈钢时的表面粗糙度.其中进给量对表面粗糙度的影响最为显著,其次为切削速度:
  ④分析了不同刀具材料在
不同切削速度下加工lCrl8Ni9Ti不锈钢的切屑形态,随着车削速度的提商,切屑变短且易断屑,其中LT55陶瓷刀具切削加工时产生了锯齿状切屑;
 
 ⑤分析了奥氏体不锈钢的加工硬化机理及其对刀具磨损的影响;
  ⑥根据试验结果分析在不同切削条件下切削不锈钢的刀具磨损形式及其磨损机理。
由试验结果可知。高速车削1Crl8Ni9Ti不锈钢时,产生大量的切削热,刀具磨损形式主要是沟槽磨损、刀尖破损。
  应用高速切削加工技术
进行不锈钢的切削加工,可大大提高生产效率和产品质量。本试验研究将为1CrlSNi9Ti不锈钢的高速车削加工在刀具材料选择、采用合理的切削用量、避
免刀具的非正常磨损等方面具有理论指导意义和实用价值·
  关键词  高速切削,不锈钢,表面粗糙度,切屑形态,刀具磨损
  绪论 
 不锈钢具有良好的综合性能:强度高、刚度好、耐蚀性强、耐磨性好、适应温度范围宽、价格相对低廉等,因此不锈钢的应用范围越来越广泛。然而,不锈钢的切
削加工性较差,使用传统的加工方法,其加工质量差、生产效率低。使用高速切削技术,可大大提高不锈钢的加工质量和生产效率。
  1.1不锈钢的
应用
  不锈钢具有良好的机械性能,耐腐蚀、耐高温,几乎在所有的工业领域中均被用来制造在腐蚀条件下或800℃高温下工作的零件I[1],其
具体应用如下 [2]。
  ①在建筑业中,由于不锈钢具有耐用和几乎不需要维护表面这两种特性,人们较以往任何时候更加重视其应用。日本住宅建
筑的寿命较短,一般为20-30
年,废材处理成为一大问题。最近以寿命达到100年为目标的建筑物开始出现,这样具有优异耐久性的不锈钢材料需求将增长。从环保的观点看,在减少土木、建
筑废材的同时,使用不锈钢也可降低维修成本。
  ②在海洋装置上,奥氏体和马氏体不锈钢很久以来就用于航海动力装置上的高温管道以及透平机叶
片。还有推进器、泵、散装容器、热交换器、密封匿等都大量使用奥氏体不锈钢材料。
  ③在化工行业中,大量的奥氏体不锈钢用于中弱腐蚀的场合,
降低产品受污染的概率,从而有利于产品的质量控制。
  ④在交通运输机械上,不锈钢大量用于汽车装潢材料,奥氏体不锈钢是当今汽车发动机上使用
的最广泛的一种材料。
  ⑤在食品工业中,从食品的加工、储藏、运输、烹调和食用及食物废料和残渣的处理,都大量使用不锈钢材料。
 
 ⑥在航空和航天工业中,不锈钢原材料的价格和可加工性介于铝合金和钛合金之问。不锈钢耍比铝合金或钛合金耐腐蚀性强,其工作温度范围也比铝台金或钛合金
两者都高。不锈钢广泛用于航空和航天领域中的高温结构、压力容器、流体管道和管接头、紧固件和机械系统。
  ⑦在给水、排水处理装鬣中,对具有
优异耐蚀性的不锈钢的需求也大大增加。
  ⑧在桥梁、高速公路、隧道等设施中,不锈钢的应用也很广泛。
全文下载
锈钢1Cr18Ni9Ti的高速车削技术试验研究

http://tech.86cut.com/techfiles/file/6f9cc4af-38ed-4489-8ac7-8f43e52a8422.pdf
 
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