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1. 用途:
CVD 鑽石車刀適用於切削不同的非鐵類 金屬材料,並且因鑽石鍍膜擁有良好的耐 磨耗性而能延長切削週期、提高生產產量。
Fig.1 CVDD 車刀光滑平坦的邊緣
 
2. 特色:
材料特性
機械性能
優勢
微細晶粒尺寸 好的表面平坦度 品質與競爭力的提升
低摩擦係數 無沾黏性 切削尺寸的精確性高
抗磨耗性 比WC車刀壽命延伸10倍 降低成本
優異的熱導性 無冷卻液 低污染
最佳的硬度 抗磨耗性 減少使用工具數量
3. 建議加工參數:
材料 / 參數
車削外型與磨削
銑削
工件 加工方式 線速度 (m/sec) 進刀量 (mm/rev) 線速度 (m/sec) 進刀量 (mm/rev)
非鐵類 Al alloySi (<12%),> 粗加工 <10~20 <0.25~0.5 <10~20 <0.10~0.30
精加工 <15~20 <0.10~0.25 <10~20 <0.10~0.20
Cu, Pb, Zn 粗加工 <1~10 <0.25~0.50 <3~10 <0.05~0.15
精加工 <10~15 <0.10~0.25
非金屬 塑膠,石墨,碳素 粗加工 <10~20 <0.25~0.50 <3~10 <0.10~0.20
精加工 <15~20> <0.10~0.25
4. 微觀結構:
SEM微觀結構顯示在經過拋光後的已完成鍍膜的車刀,其光滑平坦的切削刃的邊緣。

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Bewise Inc. www.tool-tool.com Reference source from the internet. 线路板的电镀工艺,大约可以分类:酸性光亮铜电镀、电镀镍/金、电镀锡,文章介绍的是关于在线路板加工过程是,电镀工艺的技术以及工艺流程,以及具体操作方法.
二.工艺流程:
浸酸→全板电镀铜→图形转移→酸性除油→二级逆流漂洗→微蚀→二级逆流漂洗→浸酸→镀锡→二级逆流漂洗→逆流漂洗→浸酸→图形电镀铜→二级逆流漂洗→镀镍→二级水洗→浸柠檬酸→镀金→回收→2-3级纯水洗→烘干
三.流程说明:
(一)浸酸
①作用与目的:
除去板面氧化物,活化板面,一般浓度在5%,有的保持在10%左右,主要是防止水分带入造成槽液硫酸含量不稳定;
②酸浸时间不宜太长,防止板面氧化;在使用一段时间后,酸液出现浑浊或铜含量太高时应及时更换,防止污染电镀铜缸和板件表面;
③此处应使用C.P级硫酸;
(二)全板电镀铜:又叫一次铜,板电,Panel-plating
①作用与目的:保护刚刚沉积的薄薄的化学铜,防止化学铜氧化后被酸浸蚀掉,通过电镀将其加后到一定程度
②全板电镀铜相关工艺参数:槽液主要成分有硫酸铜和硫酸,采用高酸低铜配方,保证电镀时板面厚度分布的均匀性和对深孔小孔的深镀能力;硫酸含量多在180 克/升,多者达到240克/升;硫酸铜含量一般在75 克/升左右,另槽液中添加有微量的氯离子,作为辅助光泽剂和铜光剂共同发挥光泽效果;铜光剂的添加量或开缸量一般在3-5ml/L,铜光剂的添加一般按照 千安小时的方法来补充或者根据实际生产板效果;全板电镀的电流计算一般按2安/平方分米乘以板上可电镀面积,对全板电来说,以即板长dm×板宽dm×2× 2A/DM2;铜缸温度维持在室温状态,一般温度不超过32度,多控制在22度,因此在夏季因温度太高,铜缸建议加装冷却温控系统;
③工艺维护:
每日根据千安小时来及时补充铜光剂,按100- 150ml/KAH补充添加;检查过滤泵是否工作正常,有无漏气现象;每隔2-3小时应用干净的湿抹布将阴极导电杆擦洗干净;每周要定期分析铜缸硫酸铜 (1次/周),硫酸(1次/周),氯离子(2次/周)含量,并通过霍尔槽试验来调整光剂含量,并及时补充相关原料;每周要清洗阳极导电杆,槽体两端电接 头,及时补充钛篮中的阳极铜球,用低电流0。2?0。5ASD电解6?8小时;每月应检查阳极的钛篮袋有无破损,破损者应及时更换;并检查阳极钛篮底部是 否堆积有阳极泥,如有应及时清理干净;并用碳芯连续过滤6?8小时,同时低电流电解除杂;每半年左右具体根据槽液污染状况决定是否需要大处理(活性炭 粉);每两周要更换过滤泵的滤芯;
④大处理程序:A.取出阳极,将阳极倒出,清洗阳极表面阳极膜,然后放在包装铜阳极的桶内,用微蚀剂粗化铜角表面至均匀粉红色即可,水洗冲干后,装入钛篮 内,方入酸槽内备用B.将阳极钛篮和阳极袋放入 10%碱液浸泡6?8小时,水洗冲干,再用5%稀硫酸浸泡,水洗冲干后备用;C.将槽液转移到备用槽内,加入1-3ml/L的 30%的双氧水,开始加温,待温度加到65度左右打开空气搅拌,保温空气搅拌2-4小时;D.关掉空气搅拌,按3?5克/升将活性碳粉缓慢溶解到槽液中, 待溶解彻底后,打开空气搅拌,如此保温2?4小时;E.关掉空气搅拌,加温,让活性碳粉慢慢沉淀至槽底;F.待温度降至40度左右,用10um的PP滤芯 加助滤粉过滤槽液至清洗干净的工作槽内,打开空气搅拌,放入阳极,挂入电解板,按0。2-0。5ASD电流密度低电流电解6?8小时,G.经化验分析,调 整槽中的硫酸,硫酸铜,氯离子含量至正常操作范围内;根据霍尔槽试验结果补充光剂;H.待电解板板面颜色均匀后,即可停止电解,然后按1-1。5ASD的 电流密度进行电解生膜处理1-2小时,待阳极上生成一层均匀致密附着力良好的黑色磷膜即可;I.试镀OK.即可;
⑤阳极铜球内含有0。3?0。6%的磷,主要目的是降低阳极溶解效率,减少铜粉的产生;
⑥补充药品时,如添加量较大如硫酸铜,硫酸时;添加后应低电流电解一下;补加硫酸时应注意安全,补加量较大时(10升以上)应分几次缓慢补加;否则会造成槽液温度过高,光剂分解加快,污染槽液;
⑦氯离子的补加应特别注意,因为氯离子含量特别低(30-90ppm),补加时一定要用量筒或量杯称量准确后方可添加;1ml盐酸含氯离子约385ppm,
⑧药品添加计算公式:
硫酸铜(单位:公斤)=(75-X)×槽体积(升)/1000
硫酸(单位:升)=(10%-X)g/L×槽体积(升)
或(单位:升)=(180-X)g/L×槽体积(升)/1840
盐酸(单位:ml)=(60-X)ppm×槽体积(升)/385
(三)酸性除油
①目的与作用:除去线路铜面上的氧化物,油墨残膜余胶,保证一次铜与图形电镀铜或镍之间的结合力
②记住此处使用酸性除油剂,为何不是用碱性除油剂且碱性除油剂除油效果较酸性除油剂更好?主要因为图形油墨不耐碱,会损坏图形线路,故图形电镀前只能使用酸性除油剂。
③生产时只需控制除油剂浓度和时间即可,除油剂浓度在10%左右,时间保证在6分钟,时间稍长不会有不良影响;槽液使用更换也是按照15平米/升工作液,补充添加按照100平米0。5?0。8L;
(四)微蚀:
①目的与作用:清洁粗化线路铜面,确保图形电镀铜与一次铜之间的结合力
②微蚀剂多采用过硫酸钠,粗化速率稳定均匀,水洗性较好,过硫酸钠浓度一般控制在60克/升左右,时间控制在20秒左右,药品添加按100平米3-4公斤;铜含量控制在20克/升以下;其他维护换缸均同沉铜微蚀。
(五)浸酸
①作用与目的:
除去板面氧化物,活化板面,一般浓度在5%,有的保持在10%左右,主要是防止水分带入造成槽液硫酸含量不稳定; ②酸浸时间不宜太长,防止板面氧化;在使用一段时间后,酸液出现浑浊或铜含量太高时应及时更换,防止污染电镀铜缸和板件表面;
③此处应使用C.P级硫酸;
(六)图形电镀铜:又叫二次铜,线路镀铜
①目的与作用:为满足各线路额定的电流负载,各线路和孔铜铜后需要达到一定的厚度,线路镀铜的目的及时将孔铜和线路铜加厚到一定的厚度;
②其它项目均同全板电镀
(七)电镀锡
①目的与作用:图形电镀纯锡目的主要使用纯锡单纯作为金属抗蚀层,保护线路蚀刻;
②槽液主要由硫酸亚锡,硫酸和添加剂组成;硫酸亚锡含量控制在35克/升左右,硫酸控制在10%左右;镀锡添加剂的添加一般按照千安小时的方法来补充或者 根据实际生产板效果;电镀锡的电流计算一般按1。5安 /平方分米乘以板上可电镀面积;锡缸温度维持在室温状态,一般温度不超过30度,多控制在22度,因此在夏季因温度太高,锡缸建议加装冷却温控系统;
③工艺维护:每日根据千安小时来及时补充镀锡添加剂剂;检查过滤泵是否工作正常,有无漏气现象;每个2-3小时应用干净的湿抹布将阴极导电杆擦洗干净;每 周要定期分析锡缸硫酸亚锡(1次/周),硫酸(1次 /周),并通过霍尔槽试验来调整镀锡添加剂含量,并及时补充相关原料;每周要清洗阳极导电杆,槽体两端电接头;每周用低电流0。2?0。5ASD电解6? 8小时;每月应检查阳极袋有无破损,破损者应及时更换;并检查阳极袋底部是否堆积有阳极泥,如有应及时清理干净;每月用碳芯连续过滤6?8小时,同时低电 流电解除杂;每半年左右具体根据槽液污染状况决定是否需要大处理(活性炭粉);每两周要更换过滤泵的滤芯;
④大处理程序:A.取出阳极,取下阳极袋,用铜刷清洗阳极表面,水洗冲干后,装入阳极袋内,放入酸槽内备用B.将阳极袋放入10%碱液浸泡6?8小时,水 洗冲干,再用5%稀硫酸浸泡,水洗冲干后备用;C. 将槽液转移到备用槽内,按3?5克/升将活性碳粉缓慢溶解到槽液中,待溶解彻底后,吸附4-6小时候,用10um的PP滤芯加助滤粉过滤槽液至清洗干净的 工作槽内,放入阳极,挂入电解板,按0。2-0。5ASD电流密度低电流电解6?8小时,D.经化验分析,调整槽中的硫酸,硫酸亚锡含量至正常操作范围 内;根据霍尔槽试验结果补充镀锡添加剂;E.待电解板板面颜色均匀后,即停止电解;F.试镀OK.即可;
⑤补充药品时,如添加量较大如硫酸亚锡,硫酸时;添加后应低电流电解一下;补加硫酸时应注意安全,补加量较大时(10升以上)应分几次缓慢补加;否则会造成槽液温度过高,亚锡氧化,加快槽液老化;
⑥药品添加计算公式:
硫酸亚锡(单位:公斤)=(40-X)×槽体积(升)/1000
硫酸(单位:升)=(10%-X)g/L×槽体积(升)
或(单位:升)=(180-X)g/L×槽体积(升)/1840
(八)镀镍
①目的与作用:镀镍层主要作为铜层和金层之间的阻隔层,防止金铜互相扩散,影响板子的可焊性和使用寿命;同时又镍层打底也大大增加了金层的机械强度;
②全板电镀铜相关工艺参数:镀镍添加剂的添加一般按照千安小时的方法来补充或者根据实际生产板效果,添加量大约200ml/KAH;图形电镀镍的电流计算 一般按2安/平方分米乘以板上可电镀面积;镍缸温度维持在40 -55度,一般温度在50度左右,因此镍缸要加装加温,温控系统;
③工艺维护:
每日根据千安小时来及时补充镀镍添加剂;检查过滤泵是否工作正常,有无漏气现象;每个2-3小时应用干净的湿抹布将阴极导电杆擦洗干净;每周要定期分析铜 缸硫酸镍(氨基磺酸镍)(1次/周),氯化镍(1次/ 周),硼酸(1次/周)含量,并通过霍尔槽试验来调整镀镍添加剂含量,并及时补充相关原料;每周要清洗阳极导电杆,槽体两端电接头,及时补充钛篮中的阳极 镍角,用低电流0。2?0。5ASD电解6?8小时;每月应检查阳极的钛篮袋有无破损,破损者应及时更换;并检查阳极钛篮底部是否堆积有阳极泥,如有应及 时清理干净;并用碳芯连续过滤6?8小时,同时低电流电解除杂;每半年左右具体根据槽液污染状况决定是否需要大处理(活性炭粉);每两周药更换过滤泵的滤 芯;
④大处理程序:A.取出阳极,将阳极倒出,清洗阳极,然后放在包装镍角的桶内,用微蚀剂粗化镍角表面至均匀粉红色即可,水洗冲干后,装入钛篮内,方入酸槽 内备用B.将阳极钛篮和阳极袋放入10%碱液浸泡 6?8小时,水洗冲干,再用5%稀硫酸浸泡,水洗冲干后备用;C.将槽液转移到备用槽内,加入1-3ml/L的30%的双氧水,开始加温,待温度加到65 度左右打开空气搅拌,保温空气搅拌2-4小时;D.关掉空气搅拌,按3?5克/升将活性碳粉缓慢溶解到槽液中,待溶解彻底后,打开空气搅拌,如此保温2? 4小时;E.关掉空气搅拌,加温,让活性碳粉慢慢沉淀至槽底;F.待温度降至40度左右,用10um的PP滤芯加助滤粉过滤槽液至清洗干净的工作槽内,打 开空气搅拌,放入阳极,挂入电解板,按0。2-0。5ASD电流密度低电流电解6?8小时,G.经化验分析,调整槽中的硫酸镍或氨基磺酸镍,氯化镍,硼酸 含量至正常操作范围内;根据霍尔槽试验结果补充镀镍添加剂;H.待电解板板面颜色均匀后,即可停止电解,然后按1-1。5ASD的电流密度进行电解处理 10-20分钟活化一下阳极;I.试镀OK.即可;
⑤补充药品时,如添加量较大如硫酸镍或氨基磺酸镍,氯化镍时,添加后应低电流电解一下;补加硼酸时应将补充量的硼酸装入一干净阳极袋挂入镍缸内即可,不可直接加入槽内;
⑥镀镍后建议加一回收水洗,用纯水开缸,可以用来补充镍缸因加温而挥发的液位,回收水洗后接二级逆流漂洗;
⑦药品添加计算公式:
硫酸镍(单位:公斤)=(280-X)×槽体积(升)/1000
氯化镍(单位:公斤)=(45-X)×槽体积(升)/1000
硼酸(单位:公斤)=(45-X)×槽体积(升)/1000
(九)电镀金:
分为电镀硬金(金合金)和水金(纯金)工艺,镀硬金与软金槽液组成基本一致,只不过硬金槽内多了一些微量金属镍或钴或铁等元素; ①目的与作用:金作为一种贵金属,具有良好的可焊性,耐氧化性,抗蚀性,接触电阻小,合金耐磨性好等等优良特点;
②目前线路板电镀金主要为柠檬酸金槽浴,以其维护简单,操作简单方便而得到广泛应用;
③水金金含量控制在1克/升左右,PH值4。5左右,温度35度,比重在14波美度左右,电流密度1ASD左右;
④主要添加药品有调节PH值的酸式调整盐和碱式调整盐,调节比重的导电盐和镀金补充添加剂以及金盐等;
⑤为保护好金缸,金缸前应加一柠檬酸浸槽,可有效减少对金缸的污染和保持金缸稳定;
⑥金板电镀后应用一纯水洗作为回收水洗,同时也可用来补充金缸蒸发变化的液位,回收水洗后接二级逆流纯水洗,金板水洗后即放入10克/升的碱液以防金板氧化;
⑦金缸应采用镀铂钛网做阳极,一般不锈钢316容易溶解,导致镍铁铬等金属污染金缸,造成镀金发白,露镀,发黑等缺陷;
⑧金缸有机污染应用碳芯连续过滤,并补充适量镀金添加剂。
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0 引言

理想的加工程序不仅应保证加工出符合图样的合格工件,同时应能使数控机床的功能得到合理的应用和充分的发挥。数控机床是一种高效率的自动化设备,它的效率高于普通机床的2~3倍,要充分发挥数控机床的这一特点,必须在编程之前对工件进行工艺分析,根据具体条件,选择经济、合理的工艺方案。数控加工工艺考虑不周是影响数控机床加工质量、生产效率及加工成本的重要因素。本文从生产实践出发,探讨和总结一些数控车削过程中的工艺问题。

1 数控加工工序的划分

在数控机床上加工零件,工序比较集中,一次装夹应尽可能完成全部工序,常用的工序划分原则有以下两种。
  1. 保证精度原则
    数控加工具有工序集中的条件,粗、精加工常在一次装夹中完成,以保证零件的加工精度,当热变形和切削力变形对零件的加工精度影响较大时,应将粗、精加工分开进行。
  2. 提高生产效率的原则
    数控加工中,为减少换刀次数,节省换刀时间,应将需用同一把刀加工的加工部位全部完成后,再换另一把刀来加工其它部位。同时应尽量减少空行程,用同一把刀加工工件的多个部位时,应以最短的路线到达各加工部位。
实际生产中,数控加工常按刀具或加工表面划分工序。

2 车刀刀位点的选择

数 控加工中,数控程序应描述出刀具相对于工件的运动轨迹。在数控车削中,工件表面的形成取决于运动着的刀刃包络线的位置和形状,但在程序编制中, 只需描述刀具系统上某一选定点的轨迹即可。刀具的刀位点即为在程序编制时,刀具上所选择的代表刀具所在位置的点,程序所描述的加工轨迹即为该点的运动轨 迹。
在数控车削中,从理论上讲可选择刀具上任意一点作为刀位点,但为了方便编程和保证加工精度,刀位点的选择有一定的要求和技巧。在数控加工中,刀位点的选择一般遵循以下规则:立铣刀应是刀具轴线与刀具底面的交点:球头铣刀是球头的球心:钻头应是钻尖:车刀应是假想刀尖或刀尖圆弧中心,刀具刀位点在选择时应注意:
  1. 选择刀具上能够直接测量的点,刀位点与刀具长度预调时的测定点应尽量一致:
  2. 在可能的情况下,刀位点应直接与精度要求较高的尺寸或难于测量的尺寸发生联系:
  3. 所选择的刀位点能使刀具极限位置直接体现于程序的运动指令中:
  4. 编程人员应有习惯性的刀位点选择方法,不宜多变:
  5. 所选定的刀位点,在刀具调整图中应以图形标示。

1
图1 端槽刀刀位点的选择

1
图2 分层切削时刀具的终止位置

1
图3 等背吃刀量试切法

如图1所示端槽刀,采用刀具预调仪对刀时,测量P1点比测量P2点方便,所以选择P1为刀位点比P2好,但若刀具位置的调整和补偿是以试切法确定,而且环槽小圆的加工精度高于大圆精度,则选择P2为刀位点比P1好。

3 分层切削时刀具的终止位置

当 某外圆表面的加工余量较多需分层多次走刀切削时,从第二刀开始要注意防止走刀至终点时背吃刀量的突增。如图2所示,设以90°主偏角的刀具分层 车削外圆,合理的安排应是每一刀的切削终点依次提前一小段距离e(e=0.05)。如果e=0,即每一刀都终止在同一轴向位置上,车刀主切削刃就可能受到 瞬时的重负荷冲击。如分层切削时的终止位置作出层层递退的安排,有利于延长粗加工刀具的使用寿命。

4 “让刀”时刀补值的确定

对 于薄壁工件,尤其是难切削材料的薄壁工件,切削时“让刀”现象严重,导致所车削工件尺寸发生变化,一般是外圆变大,内孔变小。“让刀”主要是由 工件加工时的弹性变形引起,“让刀”程度与切削时的背吃刀量密切相关。采用“等背吃刀深度法”,用刀补值作小范围调整,以减少“让刀”对加工精度的影响。 如图3所示,设欲加工的外圆尺寸为A,双面余量为2t。试切削时,取t值的一半作为切削时的背吃刀量,试切削在该表面的全长上进行,试切削后,程序安排停 车,测量该外圆尺寸是否等于A+t,按出现的误差大小调整刀具的刀补值,然后继续运行程序,完成精加工走刀。由于精加工过程与试切削过程采用相同的背吃刀 量和同样的切削速度和进给速度,切削抗力相同,工件相应的弹性变形相同,所输入的刀补值刚好能抵消“让刀”所产生的变形,保证车削工件的尺寸精度。

5 车削时的断屑问题

数 控车削是自动化加工,如果刀具的断屑性能太差,将严重妨碍加工的正常进行。为解决这一问题,首先应尽量提高刀具本身的断屑性能,其次应合理选择 刀具的切削用量,避免产生妨碍加工正常进行的条带形切屑。数控车削中,最理想的切屑是长度为50~150mm,直径不大的螺卷状切屑,或宝塔形切屑,它们 能有规律地沿一定方向排除,便于收集和清除。如果断屑不理想,必要时可在程序中安排暂停,强迫断屑:还可以使用断屑台来加强断屑效果。使用上压式的机夹可 转位刀片时,可用压板同时将断屑台和刀片一起压紧:车内孔时,则可采用刀具前刀面朝下的切削方式改善排屑。

6 可转位刀具刀片形状的选择

与普通机床加工方法相比,数控加工对刀具提出了更高的要求,不仅需要刚性好、精度高,而且要求尺寸稳定,耐用度高,断屑和排屑性能好:同时要求安装调整方便,这样来满足数控机床高效率的要求。数控机床上所选用的刀具常采用适应高速切削的刀具材料(如高速钢、超细粒度硬质合金)并使用可转位刀片。
数控车削中广泛采用机夹可转位刀具,它是提高数控加工生产率,保证产品质量的重要手段。可转位车刀刀片种类繁多,使用最广的是菱形刀片,其次是三角形刀片、圆形刀片及切槽刀片。菱形刀片按其菱形锐角不同有80°、55°和35°三类。
80° 菱形刀片刀尖角大小适中,刀片既有较好的强度、散热性和耐用度,又能装配成主偏角略大于90°的刀具,用于端面、外圆、内孔、台阶的加工。同时,这种刀片 的可夹固性好,可用刀片底面及非切削位置上的80°刀尖角的相邻两侧面定位,定位方式可靠,且刀尖位置精度仅与刀片本身的外形尺寸精度相关,转位精度较 高,适合数控车削。
35°菱形刀片因其刀尖角小,干涉现象少,多用于车削工件的复杂型面或开挖沟槽。

7 切槽的走刀路线

较深的槽型,在数控车床上 常用切槽刀加工,如果刀宽等于要求加工的槽宽,则切槽刀一次切槽刀位,若以较窄的切槽刀加工较宽的槽型,则应分多次切入。合理的切削路线是:先切中间,再 切左右。因为刀刃两侧的圆角半径通常小于工件槽底和侧壁的转接圆角半径,左右两刀切下时,当刀具接近槽底,需要各走一段圆弧。如果中间的一刀不提前切削, 就不能为这两段圆弧的走刀创造必要的条件。即使刀刃两侧圆角半径与工件槽底两侧的圆角半径一致,仍以中间先切一刀为好,因这一刀切下时,刀刃两侧的负荷是 均等的,后面的两刀,一刀是左侧负荷重,一刀是右侧负荷重,刀具的磨损还是均匀的。机夹式的切槽刀不宜安排横走刀,只宜直切。

8 小结

数 控加工的程序是数控机床的指令性文件,数控机床受控于程序指令,加工的全过程是按程序指令自动进行,数控加工程序不仅包括零件的工艺过程,还要 包括切削用量、走刀路线、刀具尺寸以及机床的运动过程,数控加工的工艺更加详细,其工艺方案的好坏直接影响机床效率的发挥和零件加工质量,在实际生产中应 特别重视。
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Bewise Inc. www.tool-tool.com Reference source from the internet.金属粉末喷射成型技术(MetalPowderInjectionMolding,简称MIM)是将现代塑料喷射成形技术引入粉末冶金领 域而形成的一门新型粉末冶金近净形成形技术。其基本工艺过程是:首先将固体粉末与有机粘结剂均匀混练,经制粒后在加热塑化状态下(~150℃)用喷射成形 机注入模腔内固化成形,然后用化学或热分解的方法将成形坯中的粘结剂脱除,最后经烧结致密化得到最终产品。与传统工艺相比,具有精度高、组织均匀、性能优 异,生产成本低等特点,其产品广泛应用于电子信息工程、生物医疗器械办公设备、汽车、机械、五金、体育器械、钟表业、兵器及航空航天等工业领域。因此,国际上普遍认为该技术的发展将会导致零部件成形与加工技术的一场革命,被誉为“当今最热门的零部件成形技术”和“21世纪的成形技术”。
美国加州Parmatech公司于1973年发明,八十年代初欧洲许多国家以及日本也都投入极大精力开始研究该技术,并得到迅速推广。特别是八十年代中 期,这项技术实现产业化以来更获得突飞猛进的发展,每年都以惊人的速度递增。到目前为止,美国、西欧、日本等十多个国家和地区有一百多家公司从事该工艺技 术的产品开发、研制与销售工作。日本在竞争上十分积极,并且表现突出,许多大型株式会社均参与MIM工业的推广,这些公司包括有太平洋金属、三菱制钢、川 崎制铁、神户制钢、住友矿山、精工--爱普生、大同特殊钢等。目前日本有四十多家专业从事MIM产业的公司,其MIM工业产品的销售总值早已超过欧洲并直 追美国。到目前为止,全球已有百余家公司从事该项技术的产品开发、研制与销售工作,MIM技术也因此成为新型制造业中最为活跃的前沿技术领域,被世界冶金 行业的开拓性技术,代表着粉末冶金技术发展的主方向MIM技术。
金属粉末喷射成型技术是集塑料成型工艺学、高分子化学、粉末冶金工艺学和金属材料学等多学科透与交叉的产物,利用模具可 喷射成型坯件并通过烧结快速制造高密度、高精度、三维复杂形状的结构零件,能够快速准确地将设计思想物化为具有一定结构、功能特性的制品,并可直接批量生 产出零件,是制造技术行业一次新的变革。该工艺技术不仅具有常规粉末冶金工艺工序少、无切削或少切削、经济效益高等优点,而且克服了传统粉末冶金工艺制 品、材质不均匀、机械性能低、不易成型薄壁、复杂结构的缺点,特别适合于大批量生产小型、复杂以及具有特殊要求的金属零件。工艺流程粘结剂→混炼→喷射成 形→脱脂→烧结→后处理。
粉末金属粉末
MIM工艺所用金属粉末颗粒尺寸一般在0.5~20μm;从理论上讲,颗粒越细,比表面积也越大,易于成型和烧结。而传统的粉末冶金工艺则采用大于40μm的较粗的粉末。
有机胶粘剂
有机胶粘剂作用是粘接金属粉末颗粒,使混合料在喷射机料筒中加热具有流变性和润滑性,也就是说带动粉末流动的载体。因此,粘接剂的选择是整个粉末的载体。因此,粘拉选择是整个粉末喷射成型的关键。对有机粘接剂要求:
1.用量少,用较少的粘接剂能使混合料产生较好的流变性;
2.不反应,在去除粘接剂的过程中与金属粉末不起任何化学反应;
3.易去除,在制品内不残留碳。
把 金属粉末与有机粘接剂均匀掺混在一起,使各种原料 成为喷射成型用混合料。混合料的均匀程度直接影响其流动性,因而影响喷射成型工艺参数,以至最终材料的密度及其它性能。喷射成形本步工艺过程与塑料喷射成 型工艺过程在原理上是一致的,其设备条件也基本相同。在喷射成型过程中,混合料在喷射机料筒内被加热成具有流变性的塑性物料,并在适当的喷射压力下注入模 具中,成型出毛坯。喷射成型的毛坯的微观上应均匀一致,从而使制品在烧结过程中均匀收缩。

萃取
成型毛坯在烧结前必须去除毛坯内所含有的有机粘接剂,该过程称为萃取。萃取工艺必须保证粘接剂从毛坯的不同部位沿着颗料之间的微小通道逐渐地排出,而不降低毛坯的强度。粘结剂的排除速率一般遵循扩散方程。烧结烧结能使多
孔的脱脂毛坯收缩至密化成为具有一定组织和性能的制品。尽管制品的性能与烧结前的许多工艺因素有关,但在许多情况下,烧结工艺对最终制品的金相组织和性能有着很大、甚至决定性的影响。后处理对于尺寸要求较为精密的零件,需要进行必要的后处理。这工序与常规金属制品热处理工序相同。
MIM工艺的特点MIM工艺与其它加工工艺的对比
MIM使用的原料粉末粒径在2-15μm,而传统粉末冶金的原粉粉末粒径大多在50-100μm。MIM工艺的成品密度高,原因是使用微细粉末。MIM工 艺具有传统粉末冶金工艺的优点,而形状上自由度高是传统粉末冶金所不能达到的。传统粉末冶金限于模具的强度和填充密度,形状大多为二维圆柱型。
传统的精密铸造脱燥工艺为一种制作复 杂形状产品极有效的技术,近年使用陶心辅助可以完成狭缝、深孔穴的成品,但是碍于陶心的强度,以及铸液的流动性的限制,该工艺仍有某些技术上的困难。一般 而言,此工艺制造大、中型零件较为合适,小型而复杂形状的零件则以MIM工艺较为合适。比较项目制造工艺MIM工艺传统粉末冶金工艺粉末粒径(μm)2- 1550-100相对密度(%)95-9880-85产品重量(g)小于或等于400克10-数百产品形状三维复杂形状二维简单形状机械性能优劣,MIM 制程和传统粉末冶金法的比较压铸工艺用在铝和锌合金等熔点低、铸液流动性良好的材料。此工艺的产品因材料的限制,其强度、耐磨性、耐蚀性均有限度。

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Bewise Inc. www.tool-tool.com Reference source from the internet.在 数控加工中常遇到孔的加工,如定位销孔、螺纹底孔、挖槽加工预钻孔等。采用立式加工中心和数控铣床进行孔加工是最普通的加工方法。但深孔加工,则较为困 难,在深孔加工中除合理选择切削用量外,还需解决三个主要问题:排屑、冷却钻头和使加工周期最小化。本文将从编程方面讨论解决有关深孔加工的主要问题。 一、深孔加工的编程指令及自动编程
1. 深孔加工指令格式
大多数的数控系统都提供了深孔加工指令,这里以FANUC系统为例来进行叙述。FANUC系统提供了G73和G83两个指令:G73为高速深孔往复排屑钻指令,G83为深孔往复排屑钻指令。其指令格式为: 式中 X、Y——待加工孔的位置;
Z——孔底坐标值(若是通孔,则钻尖应超出工件底面);
R——参考点的坐标值(R点高出工件顶面2~5mm);
Q——每一次的加工深度;
F——进给速度(mm / min);
G98——钻孔完毕返回初始平面;
G99——钻孔完时返回参考平面(即R点所在平面)。
2.深孔加工的动作
深孔加工动作是通过Z轴方向的间断进给,即采用啄钻的方式,实现断屑与排屑的。虽然G73和G83指令均能实现深孔加工,而且指令格式也相同,但二者在Z向的进给动作是有区别的,图1和图2分别是G73和G83指令的动作过程。 图1 G73指令动作过程 图2 G83指令动作过程
从图1和图2可以看出,执行G73指令时,每次进给后令刀具退回一个d值(用参数设定);而G83指令则每次进给后均退回至R点,即从孔内完全退出,然后 再钻入孔中。深孔加工与退刀相结合可以破碎钻屑,令其小得足以从钻槽顺利排出,并且不会造成表面的损伤,可避免钻头的过早磨损。
G73指令虽然能保证断屑,但排屑主要是依靠钻屑在钻头螺旋槽中的流动来保证的。因此深孔加工,特别是长径比较大的深孔,为保证顺利打断并排出切屑,应优先采用G83指令。
3. 常规自动编程方法
这里以MasterCAM V9为例,其钻孔参数设置对话框如图3所示。
图3 钻孔参数设置对话框 (1)高度参数
高度参数包括Clearance(安全高度)、Retract(参考高度)、Feedplane(下刀位置)、Top of stock(工件顶面)和Depth(切削深度)等。
安全高度是指在此高度上刀具可以在任何位置平移而不会与工件或夹具发生碰撞;参考高度为开始一个刀具路径前刀具回缩的位置,参考高度应高于下刀位置;下刀 位置是指当刀具在下刀位置之上先快速下降,当下降到该位置后再以慢速接近工件;工件顶面是指工件上表面的高度值;切削深度是指最后的加工深度。
(2)钻孔参数
根据孔加工方式的不同,可设置的参数个数也不同,各参数的含义如下: Lst Peck——第一次啄钻深度;
Subsequent Peck——以后每次的啄钻深度;
Peck Clearance——啄孔间隙;
Chip Break——退刀量;
Dwell——刀具暂停在孔底部的时间;
Shift——设置退刀时离开孔表面的距离。
(3)自动编程产生的程序段
由图3对话框中设定参数值所产生的程序段为:
N110G98G83Z-150.R2.Q5.F90
比较对话框设定参数与所产生的程序段,可以看出:
1)程序段中产生了第一次啄钻深度值Q5,“以后每次啄钻深度值”和“啄钻间隙值”两参数不起任何作用;
2)G73和G83指令在钻孔时孔底动作均为快速返回,不会产生暂停的动作,即Dwell设定值在此程序段中没有得到体现。而在实际加工中,当钻头退出 时,钻屑在冷却液冲刷下会落入孔中。这种情况尤其会发生在对钢料的加工中。当钻头再次进入后,它将撞击位于孔底部钻屑。钻屑在刀具的作用下开始旋转,将钻 屑切断或熔化。因此,在必要时应暂停加工来清理吹净钻屑。
3)若加工台阶深孔,如图4所示,其加工工艺一般是先加工直径为20的孔,然后再钻底部直径为10的孔。然而用G83指令加工底部直径为10mm的深孔时,将在直径20mm的长度上造成较大的时间浪费。 图4 台阶孔 二、编程技巧
鉴于存在上述几个缺陷,我们将钻孔参数设置对话框中的Lst Peck参数设置成65,而Subsequent Peck的参数设置成5,Dwell设置成0(即不延时)。同时打开后置处理文件,将Usecanpeck项的Yes,改成NO,则产生如下程序: %O0000(文件名)
(PROGRAM NAME - T1)(程序名)
(DATE, Day-Month-Year - 26-04-04TIME, Hr:Min - 14:00)(编程时间)
N100G21(公制单位)
N102G0G17G40G49G80G90(XY平面,半径补偿取消,长度补偿取消,固定循环取消,绝对编程)
( 10. CENTER DRILL TOOL - 1 DIA. OFF. - 1 LEN. - 1 DIA. - 10.)(刀具说明)
N104T1M6(换刀)
N106G0G90G54X0.Y0.S1145M03M08(调用工件坐标系,刀具移至X0Y0,启动主轴,开冷却泵)
N108G43H1Z50.(长度正补偿,刀具运动至安全高度)
N110Z2.(刀具运动至下刀位置)
N112G1Z-63.F90(第一次啄钻,深度至为Z-63。这段可以删除)
N114G0Z2.(快速退回至R点。此程序段可删除)
N116Z-61.(快速运动至Z-61的位置,留有2mm的啄孔间隙)
N118G1Z-68F90(钻至Z-68的深度,从Z-63钻至Z-68,每次啄钻5mm)
N120G0Z2.(快速退回至下刀位置)
N122Z-66.(快速运动至Z-66的位置,留有2mm的啄孔间隙)
N124G1Z-73.(钻至Z-73的深度,从Z-68钻至Z-73,每次啄钻5mm)
N126G0Z2.
N121G04P2000(延时2秒。此程序段为手工插入)
N128Z-71.
N130G1Z-78.
……
从上面程序中可以看出,第一次啄钻深度即达Z-68的位置,使整个加工过程的时间缩短。但因没有延时,故需用手工对程序进行修改。一般只需要在钻至较深的 位置时插入G04 P2000程序段(延时2秒),使钻头在R点延时足够的时间,以充分冷却钻头,保证钻头有足够的耐用度。 三、结论
通过合理地设置钻孔加工参数和适当地修改后置处理文件,使自动编程产生的程序能满足深孔加工的断屑、保证刀具充分冷却等实际情况。

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Viens no pirmajiem motocikliem vesturē

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Motokrosinis motociklas

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Bewise Inc. www.tool-tool.com Reference source from the internet.ລົດຈັກ ແມ່ນ ລົດຖີບທີ່ຂັບເຄື່ອນໂດຍແຮງຈັກ. ສ່ວນຫຼາຍຈະມີ 2​ ກົງແຕ່ກໍ່ມີປະເພດ 3 ກົງ ແບບ ທີ່ ຕຳຫຼວດ, ທະຫານໃຊ້.

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혼다 CBR125R

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1885年にダイムラー社が造ったオートバイ・Reitwagenのレプリカ
Bewise Inc. www.tool-tool.com Reference source from the internet.オートバイ(auto+bicycle)とは和製英語で、自動車の一種の二輪自動車である。二つの車輪を前後に配置し、人力以外の動力で走る乗り物の日本語に於ける慣用的な総称である。日本の法律上では、道路交通法においては大型自動二輪車普通自動二輪車小型自動二輪車原動機付自転車の四つに、道路運送車両法においては、小型二輪自動車、軽二輪自動車、原動機付自転車の三つに、それぞれ区分される。

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Replica della prima motocicletta Daimler
Bewise Inc. www.tool-tool.com Reference source from the internet.La motocicletta è un veicolo a 2 ruote, provvisto di motore, in cui la ruota anteriore è direzionale e quella posteriore si occupa della trazione. Appartiene alla categoria dei motoveicoli

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1 引言

超 精密加工机床的研制开发始于20世纪60年代。当时在美国因开发激光核聚变实验装置和红外线实验装置需要大型金属反射镜,因而急需开发制作反射镜的超精密 加工技术。以单点金刚石车刀镜面切削铝合金和无氧铜的超精密加工机床应运而生。1980年美国在世界上首次开发了三坐标控制的M-18AG非球面加工机 床,它标志着亚微米级超精密加工机床技术的成熟。日本的超精密加工机床的研制开发滞后于美国20年。从1981~1982年首先开发的是多棱体反射镜加工 机床,随后是磁头微细加工机床、磁盘端面车床,近来则是以非球面加工机床和短波长X线反射镜面加工机床为主。德国、荷兰以及中国台湾的超精密加工机床技术 也都处于世界先进水平。我国的超精密加工机床的研制开发工作虽起步比较晚,但经过广大精密工程研究人员的不懈努力,已取得了可喜的成绩。哈尔滨工业大学精 密工程研究所研制开发的HCM-Ⅰ超精密加工机床,主要技术指标达到了国际水平。国外部分超精密加工机床和HCM-Ⅰ超精密加工机床的性能指标如表1所 示。本文主要论述超精密加工机床的关键部件技术。
表1 国内外典型超精密车床性能指标汇总
型号(生产厂家)HCM-Ⅰ
(中国哈工大)
M-18AG
(莫尔特殊机床,美国)
Ultraprecision CNC machine
(东芝,日本)
Ultraprecision Lathe
(IPT,德国)
主轴径向跳动(µm)
≤0.075≤0.05(500r/min)≤0.048
轴向跳动(µm)
≤0.05≤0.05(500r/min)
径向刚度(N/µm)220
100
轴向刚度(N/µm)160
200
导轨Z向(主轴)直线度<0.2µm/100mm≤0.5µm/230mm
0.044µm/80mm
X向(刀架)直线度<0.2µm/100mm≤0.5µm/410mm
0.044µm/80mm
X、Z向垂直度(")≤11

重复定位精度(µm)
1(全程)
0.5(25.4mm)


加工
工件
精度
形面精度(µm)圆度:0.1平面度:0.3<0.1(P-V值)0.1
表面粗糙度(µm)Ra0.00420.0075(P-V值)Ra0.0020.002~0.005RMS
位置反馈系统分辨率(µm)
252.510
温控精度(℃)≤0.004±0.006±0.1
隔振系统固有频率(Hz)≤22

加工范围(mm)320356650×250

2 主轴系统

超 精密加工机床的主轴在加工过程中直接支持工件或刀具的运动,故主轴的回转精度直接影响到工件的加工精度。因此可以说主轴是超精密加工机床中最重要的一个部 件,通过机床主轴的精度和特性可以评价机床本身的精度。目前研制开发的超精密加工机床的主轴中精度最高的是静压空气轴承主轴(磁悬浮轴承主轴也越来越受到 人们的重视,其精度在迅速得到提高)。空气轴承主轴具有良好的振摆回转精度。主轴振摆回转精度是除去轴的圆度误差和加工粗糙度影响之外的轴心线振摆,即非 重复径向振摆,属于静态精度。目前高精度空气轴承主轴回转精度可达0.05µm,最高可达0.03µm,由于轴承中支承回转轴的压力膜的均化作用,空气轴 承主轴能够得到高于轴承零件本身的精度。例如主轴的回转精度大约可以达到轴和轴套等轴承部件圆度的1/15~1/20。日本学者研究表明,当轴和轴套的圆 度达到0.15~0.2µm的精度时,可以得到10nm的回转精度,并通过FFT测定其所制造的精度最高的空气轴承主轴的回转精度为8nm。HCM-Ⅰ超 精密加工机床的密玉石空气轴承主轴的圆度误差≤0.1µm。另外,空气轴承主轴还具有动特性良好、精度寿命长、不产生振动、刚性/载荷量具有与使用条件相 称的值等优点。但是在主轴刚度、发热量与维护等方面需要做细致的工作。要做到纳米级回转精度的空气轴承主轴,除空气轴承的轴及轴套的形状精度达到 0.15~0.2µm,再通过空气膜的均化作用来实现外,还需要保持供气孔流出气体的均匀性。供气孔数量、分布精度、对轴心的倾角、轴承的凸凹、圆柱度、 表面粗糙度等的不同,均会影响轴承面空气流动的均匀性。而气流的不均匀是产生微小振动的直接原因,从而影响回转精度。要改善供气系统的状况,轴承材料宜选 用多孔质材料。这是因为多孔质轴承是通过无数小孔供气的,能够改善压力分布,在提高承载能力的同时,改善空气流动的均匀性。多孔质材料的均匀性是很重要 的。因为多孔质供气轴承材料内部的空洞会形成气腔,如不加以控制会引起气锤振动,为此必须对表面进行堵塞加工。

3 直线导轨

作 为刀具和工件相对定位机构的直线导轨,是仅次于主轴的重要部件。对超精密加工机床的直线导轨的基本要求是:动作灵活、无爬行等不连续动作;直线精度好;在 实用中应具有与使用条件相适应的刚性;高速运动时发热量少;维修保养容易。超精密加工机床中的常用导轨有V-V型滑动导轨和滚动导轨、液体静压导轨和气体 静压导轨。传统的V-V型滑动导轨和滚动导轨在美国和德国的应用都取得了良好的效果。后两种都属于非接触式导轨,所以完全不必担心爬行的产生。从精度方面 来考虑后两种也是最适宜的导轨。液体静压导轨由于油的粘性剪切阻力而发热量比较大,因此必须对液压油采取冷却措施。另外液压装置比较大,而且油路的维修保 养也麻烦。气体静压导轨由于支承部是平面,可获得较大的支承刚度,它几乎不存在发热问题,如果最初的设计合理,则在后续的维修保养方面几乎不会发生什么问 题。但必须注意导轨面的防尘。空气导轨的间隙仅为十几微米,而对如此大小的尘埃肉眼是看不到的,这样的尘埃即使是洁净室也不能完全消除,尘埃落入空气导轨 面内会引起导轨面的损伤。总体看来,空气静压导轨是目前最好的导轨,但若不能保证防尘条件,则须改用液体静压导轨。目前空气静压直线导轨的直线度可达 0.1~0.2µm/250mm。


图1 气浮面上的压力分布
HCM-Ⅰ超精密加工机床上使用的即是空气直线导轨,其气浮面上的压力分布如图1所示。
通过安装调整空气静压导轨得出如下结论:(1)必须保证足够的排气通道,否则溜板将产生位置扰动,扰动量有时达数微米。(2)从理论上讲减小节流孔径和气膜厚度,可以提高溜板刚度,但带来工艺上的困难。用传统机械加工手段很难加工出<f0.15mm 的小孔,需探求其它加工手段,也对防止小孔堵塞提出了更高的要求。(3)T型导轨的侧气浮块和下气浮块均由螺钉紧固,形成悬臂结构,当用螺钉紧固和有空气 压力作用时,有可能产生变形,使气膜厚度不均匀以致于影响其性能。但经过计算证明,使用长螺钉时,气浮块和螺钉变形均稍大;使用短螺钉时,气浮块和螺钉的 变形都在亚微米级,可忽略不计。

4 进给与微量进给系统

进给系统中最常用的是各种进给丝杠,在超精密加工机床中滚珠丝杠因其反向间隙小、传动效率高而得到了广泛的应用。精度更高的静压丝杠和摩擦驱动装置也逐渐用于超精密加工机床。
超 精密加工机床的滚珠丝杠一般的精度等级为C0级。由于是闭环控制,利用最好等级的滚珠丝杠,可获得现行最高水平0.01µm的定位精度。滚珠丝杠不需要静 压丝杠所必需的附属装置,是使用极为方便的丝杠。但作为亚微米级超精密加工机床的进给丝杠必须考虑到由于滚珠的转动和滚珠间的接触滑动有微小的振动及与滑 动丝杠等相比较振动衰减特性差等问题。HCM-Ⅰ超精密加工机床采用的滚珠丝杠,在严格保证伺服电动机与丝杠、丝杠和螺母与底座和溜板的联接装配的基础 上,加大溜板气浮面积、提高其气浮刚度,从而减小由于丝杠的误差对溜板运动精度的影响。并且丝杠螺母与溜板采用了浮动连接结构,从而减小了溜板起伏造成滚 珠丝杠受压波动而引起的丝杠瞬间或永久的变形。同时也避免了由于滚珠丝杠本身弯曲引起的因丝杠旋转而造成的溜板运动误差,因此实现了运动的最小位移分辨率 ≤0.01µm。


图2 摩擦驱动原理图
静 压丝杠副的丝杠与螺母由于不直接接触,而是有一层高压液体膜相隔,所以没有由于摩擦而引起的爬行和反向间隙,因此可以长期保持精度,进给分辨率更高;又由 于油膜具有均化作用,可以提高进给精度,在较长的行程上可以达到纳米级的定位分辨率。但是静压丝杠装置较大,且必须有油泵、蓄压器、液体循环装置、冷却装 置和过滤装置等众多的辅助装置,另外还存在环境污染问题。
摩 擦驱动是通过摩擦把伺服电动机的回转运动转换成从动杆的直线运动,实现无间隙传动,其工作原理如图2所示。从微观上看,压紧轮与从动杆之间的油膜处于液体 润滑状态,润滑油的剪断特性决定牵引系统。因而要选择系数较高的润滑油。压紧轮滚动时实现进给,进给分辨率取决于伺服电动机回转一周的步进数。采用摩擦驱 动进给的一个重要问题是预压,若预压力过小,则接触面有可能产生滑动;若预压力过大,由于弹性变形,则很难实现正确的驱动。另外由于预压力的存在,还容易 产生磨损问题。新的研究表明,用扭曲滚轮摩擦驱动可以实现埃(Å)级定位。
各种进给丝杠及摩擦驱动特性如表2所示。

超精密加工机床中还广泛应用微量进给机构,以满足对更高定位精度和进给分辨率的要求。常用的方法有采用滚动丝杠进给和弹性进给并用的方法和由粗调和微调压电元件组合的方法。HCM-Ⅰ超精密加工机床采用的是压电式微量进给刀架。
表2 各种进给机构特性表
种类优点缺点定位精度
进给丝杠 滑动
丝杠
制造容易,但需有研磨加工技术,衰减性好需注意爬行经仔细研磨加工后定位精度为0.01µm
前加工需达到0.1µm
滚珠
丝杠
已有规格化,容易搞到(C0)级衰减性不好,
需注意爬行,
注意微小振动
最高可达0.01 µm
前加工需达到0.1µm
液体静
压丝杠
精度高,衰减性小装置大,辅助设备多和维护难,油污染相当好的定位精度为0.01µm,通常是
0.03 µm
气体静
压丝杠
精度高,维护容易加工难0.01µm
摩擦驱动精度高,结构简单需要适宜的预压和管理当前的目标是0.01µm
压电元件超微细的分辨率(亚纳米,nm)行程微小(几微米~十几微米)nm,

5 环境条件

超精密加工的环境条件有三。其一是污染,超精密加工机床必须置于洁净的超净室内才能充分发挥其优势。室内的洁净度以一立方英尺中0.5µm以上的灰尘的数量表示。作为超精密加工机床的工作环境应为20000~3000级以下。
其 二是振动。环境振动的干扰不仅会引起机床本体的振动,更主要的是会引起切削刀具与被加工零件间的相对振动位移,后者将直接反映到被加工零件的精度和表面质 量上。因此超精密加工机床必须设置性能优异的隔振装置。目前国外超精密加工机床中,大多数采用以空气弹簧为隔振元件的隔振系统,并取得了较好的隔振效果。 这主要是因为空气弹簧在具有较大承载能力的同时,具有较低的刚度。弹簧的低刚度可使隔振系统获得较低的固有频率,远离环境干扰频率,提高隔振效果。经理论 分析研究和计算比较,HCM-Ⅰ超精密加工机床采用了直筒约束膜式结构,并取内、外变角均为0°。这样不仅弹簧刚度的线性度好,而且结构简单,便于模具的 制造以及装置的安装和调整。

表3 提高超精密加工精度的计划目标
误差原因日本精度(µm)POMA计划值(µm)
位置检测精度
定位精度
偏摆、俯仰、倾斜
直线度
轴向跳动
径向跳动
主轴的延伸
主轴驱动
热的影响
工件的装夹
形状精度(综合精度)
0.005
0.005
(0.05")
0.02
0.005
0.005
0.025
0.01
0.025
0.025
0.05
0.05
0.01
0.02
0.02
0.02
0.02
0.05
0.01
0.05
0.05
0.1
注:POMA是在将直径为800mm的大型非球面反射镜的形状精度提高到0.1µm的前提下出来的。
其 三是温度。超精密加工机床的加工必须在恒温室内进行,加工过程中温度的变化,会造成机床运动精度下降,不能获得所定的加工精度。为了解决这一问题,通常从 两个方面入手,一是选择合适的部件材料,超精密加工机床中使用的和候选的材料有氧化铝陶瓷、铸铁、钢、殷钢、花岗岩、树脂混凝土和零膨胀玻璃。从实际出 发,HCM-Ⅰ超精密加工机床几乎全部采用花岗岩。二是保持温度的恒定控制。在总结国内外经验之后,哈尔滨工业大学提出了“有效冷流速率”的概念,在此基 础上进行的超精密恒温供油系统的温控精度达到了世界先进水平。

6 结束语

亚微米级超精密机床HCM-Ⅰ的诞生,标志着我国的超精密加工研究跨入了国际行列。但它毕竟还没有走出实验室,没有商品化,要赶上国际先进水平还需加倍的努力。表3列出的是美国POMA的精度目标值和日本学者认为的今后精度目标值。

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