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ハイマンガンの良好な切削条件を教えてください。
砕岩用の部品なんですが、始めての材質で思うように加工できません。
宜しくお願いします。

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緒論
1.1 切削加工の位置づけ
主な金属加工法
・塑性加工
・加熱・加圧成形
・高エネルギ密度加工
・電気・化学加工
・機械的除去加工(このうちの1つが切削加工[cutting]
切削加工は世の中で行われている加工の大半を占める
理由・除去加工の内で生産性・経済性において優
材料除去の規模を極小化 →せん断応力[大]、除去体積あたりのエネルギ[大]
極限においては理論値 G/2π(G：せん断弾性係数)
薄く剥ぎ取る(微細な粒子ごとに除去)加工はエネルギ効率悪
1.2 切削加工法の種類
切削の定義：刃物を用いて加工対象である材料の不要部分をくずとして
除去することで目的の形状・寸法および品質を得る加工法
1.3 切削工具と各部名称
切削工具は大別すると以下
・バイト[single point tool)
・多刃工具[multipoint tool/multiedged tool]
1.3.1 バイト
・シャンク[shank]･･･使用において保持する柄部
・刃部[cutting part]･･･切れ面/すくい面[face]/逃げ面[flank]を含む部分
切削工具/工作物は工作機械[machine tool]に支えられ
相対運動(主運動[primary motion]、送り運動[feed motion])が与えられる
主運動の速度：切削速度[cutting speed]
送り運動の速度：送り速度
上の2つを総称して送り[feed/feed rate]という
送り運動方向への工具の単位移動をf:送り量
平削りや型削り[shaping]→mm/str
旋削→mm/revで表す
その他の用語
・取りしろ[stock allowance]
・切削仕上げ面[machined surface]
・切り込み(深さ)[depth of cut]
・被削面[work surface]
・切りくず生成(chip formation]
・切削抵抗[cutting force]
・工具寿命[tool life]
・仕上げ面あらさ[surface roughness]
1.3.2 多刃工具
刃部の1つ1つを見ればバイトと原則的には同じ
1.4 被削性(machinability)
狭義の被削性：被削材から見た削りやすさ
評価基準
　 1.切削抵抗/動力[cutting power]
2.工具寿命
3.切削仕上げ面品位[surface quality]
4.加工精度[working accuracy]
5.切りくずの処理性[chip controllability]
※これらは互いに独立したパラメータではない

2 切削の機構と力学
2.1 切りくず生成
切りくずの形態は以下の4種に分類
・流れ形[flow type]
・せん断形[shear type]
・むしれ形[tewr type]
・き裂形[cutting type]
どの形状になるかは
・被削材[material]
・工具の刃部形状[tool geometry]
・切削条件[cutting condition]
・切削油剤[cutting fluid]
2.2 単純な切削モデルにおける力学的関係
2.2.1 2次元切削と3次元切削
2次元切削→切れ刃のりょう線と主運動の方向が互いに直角
3次元切削→傾斜切削、切れ刃が主運動面に直角ではない
2.2.2 切削における力学的関係
理想化した単純な切削モデルでの場合
a.切削抵抗
b.応力
c.せん断角と比削比
d.せん断歪み
e.速度関係
f.エネルギ ※一般式はP.19～22
3 切削理論
3.1 最大せん断応力説による解 #krystof
切削抵抗の合力Rにつりあう工作物内の合力Rの方向が
せん断における1つの主応力方向と考え、
これとπ/4をなす方向に最大せん断応力発生→せん断
3.2 最大エネルギによる解 #Merchant
切削における切りくずのせん断
→エネルギが最大になる方向に発生
3.3 すべり線場理論による解 #Lee,Shaffer
上の2つの式はせん断面だけを塑性状態と仮定
→すくい面と被削材とにはさまれる部分を塑性領域とした
3.4 すくい面切りくず接触長さを導入した解
上記の理論に含まれる不確定要因を考慮
3.4.1 切削における摩擦の特徴
・接触圧力が非常に高い
・すくい面上の温度が非常に高(700～1200℃)
局部温度[flash temperature]は被削材の溶融点にも達する
・創成された直後の新しい面と、汚れの無い工具面の接触
3.4.2 すくい面上の応力分布
・すくい面上の応力分布→均一に分布
・法線応力は均一とは言い難く、刃先近傍で大
3.4.3 すくい面切りくず接触長さの意義
すくい面の摩擦条件が切りくずに影響を与えせん断角が大へ
→切削抵抗の変化
被削材中にPb,S等の快削添加物[free cutting additives]が介在する場合は
応力集中でせん断力が大きくなる
→すくい面切りくず接触長さは小となる
2 切削の機構と力学
2.1 切りくず生成
切りくずの形態は以下の4種に分類
・流れ形[flow type]
・せん断形[shear type]
・むしれ形[tewr type]
・き裂形[cutting type]
どの形状になるかは
・被削材[material]
・工具の刃部形状[tool geometry]
・切削条件[cutting condition]
・切削油剤[cutting fluid]
2.2 単純な切削モデルにおける力学的関係
2.2.1 2次元切削と3次元切削
2次元切削→切れ刃のりょう線と主運動の方向が互いに直角
3次元切削→傾斜切削、切れ刃が主運動面に直角ではない
2.2.2 切削における力学的関係
理想化した単純な切削モデルでの場合
a.切削抵抗
b.応力
c.せん断角と比削比
d.せん断歪み
e.速度関係
f.エネルギ ※一般式はP.19～22
3 切削理論
3.1 最大せん断応力説による解 #krystof
切削抵抗の合力Rにつりあう工作物内の合力Rの方向が
せん断における1つの主応力方向と考え、
これとπ/4をなす方向に最大せん断応力発生→せん断
3.2 最大エネルギによる解 #Merchant
切削における切りくずのせん断
→エネルギが最大になる方向に発生
3.3 すべり線場理論による解 #Lee,Shaffer
上の2つの式はせん断面だけを塑性状態と仮定
→すくい面と被削材とにはさまれる部分を塑性領域とした
3.4 すくい面切りくず接触長さを導入した解
上記の理論に含まれる不確定要因を考慮
3.4.1 切削における摩擦の特徴
・接触圧力が非常に高い
・すくい面上の温度が非常に高(700～1200℃)
局部温度[flash temperature]は被削材の溶融点にも達する
・創成された直後の新しい面と、汚れの無い工具面の接触
3.4.2 すくい面上の応力分布
・すくい面上の応力分布→均一に分布
・法線応力は均一とは言い難く、刃先近傍で大
3.4.3 すくい面切りくず接触長さの意義
すくい面の摩擦条件が切りくずに影響を与えせん断角が大へ
→切削抵抗の変化
被削材中にPb,S等の快削添加物[free cutting additives]が介在する場合は
応力集中でせん断力が大きくなる
→すくい面切りくず接触長さは小となる
5.切削抵抗と動力
切削抵抗の合力[resultant cutting force]
・主応力 Fv [Principal cutting force]･･･動力のほとんど
・送り分力 Ff [feed force]
・背分力 Fp [thrust force]･･･工作物の変位、びびり振動
5.1 工具刃部形状と工具材の影響
2次元切削:すくい面が増加→切削抵抗、動力が集中
高速度鋼工具 [high-speed steel tool,HSS tool]
超硬工具 [sintered carbide-tool]
セラミック工具 [ceramic tool] Al2O3を主体
5.2 被削材の影響
一般に被削材の硬さ、引っ張り強さが小→降伏せん断応力 →大
快削鋼 [free cutting steel]に冷間加工を施した銅
→炭素鋼よりは硬さはあるが切削抵抗は小
快削鋼:切りくずの塑性域が狭→切削抵抗増加
炭素鋼:切断仕組み:大、すくい面接触長さ:長 →せん断角:減少 →切削抵抗:大
5.3 切削条件の影響
5.3.1 切り込みと送り量
切込みと送り量
切り込み増加→切削抵抗増加
切削抵抗∝(送り量)^n ,n＜1
※切れ刃が鋭利ですくい角が大きい場合を除く
5.3.2 切削速度
構成刃先, 発生した場合、すくい角が増加した工具のようにふるまい、
低速において切削抵抗の最大値を持つようになる
5.4 工具磨耗の影響
工具磨耗[tool wear]
・すくい面磨耗[face wear]
・逃げ面磨耗[flank wear]
5.5 切削油剤の影響
切削油剤の作用
・潤滑[lubrication]
・冷却[cooling]
・抗凝着[anti-adhesion]
※抗凝着：高い切削温度のため、油剤に含まれる成分が工作物/工具と
化学反応を起こし、これによりできた反応生成物の被膜が工具/工作物との
金属接触を妨げる
極圧添加剤[extreme-pressure agents]が添加されている。
※極圧添加剤
・有機塩素化合物
・硫黄、有機硫黄化合物
・有機リン化合物
5.6 切削抵抗の実験式
理論から求められる数値は種々の仮定のため不十分な精度
5.7 切削動力
切削動力[cutting power]
切削抵抗とその方向における工具と工作物との相対速度の積
5.8 切削抵抗の測定
切削動力計[tool dynamometer]
要求される条件
1.感度[sensitivity]、剛性[rigidity]が高
2.各分力が互いに干渉しないこと
ex. x,y,z分力で、x方向に負荷があった場合にy,z方向にも出力があることを
干渉[cross sensitivity]があるという
3.直線性が良い 負荷の値/出力の読み値
4.時間.温度および湿度に対する安定性が良い
6.工具損傷と工具寿命
6.1 工具損傷と工具寿命の関係
6.1.1 工具寿命の種類
磨耗[wear]---漸進的
チッピング[chipping]
欠損,破損[fracture]
剥離[flaking]
亀裂[cracking]
刃先の塑性変形(plastic deformation]
6.1.2 工具寿命の判定基準
化学的な工具磨耗
・すくい面磨耗[face wear]
・送り面磨耗[flank wear]
寿命判定基準[ISO]
(1)高速度鋼工具[High-speed steel tool]
(ⅰ)完全切削不能
(ⅱ)逃げ面磨耗のゾーンBが均一に磨耗 ･･･平均磨耗幅 VB=0.3mm
(ⅲ)ゾーンBの磨耗が不規則で著しく、溝状を呈する場合･･･最大磨耗幅 VBmax=0.6mm
(2)超硬工具[sintered carbide tool]の場合
(ⅰ)逃げ面磨耗のゾーンB磨耗幅が均一 VB=0.3mm
(ⅱ)ゾーンBが不均一な磨耗 VBmax=0.6mm
(ⅲ)すくい面磨耗最大幅 KT=0.06+0.3f[mm] f:送り[mm/rev]
(3)セラミック工具[ceramic tool]の場合
(ⅰ)ゾーンBの均一な磨耗のとき VB=0.3mm
(ⅱ)ゾーンBが不均一磨耗 VBmax=0.6mm
(4)仕上げ削り[finish cut]の場合
切削仕上げ面あらさが1,1.6,2.5,4,6.3,10μmRaに達したとき
6.1.3 寿命曲線と寿命方程式
テーラー(Tayler)の寿命曲線[tool life curve]
→方程式の形で表したものがテーラーの寿命方程式[tool life equation]
6.2 工具磨耗の機構
・機械的機構
・物理・化学的機構
6.2.1 機械的機構
機械的すべり磨耗[mechanical abrasion]
被削材のかたさはマクロで工具材より軟
ミクロでは硬い粒子(Al2O3,SiO2,セメンタイト,SiC等)が
砥粒の働きをして工具面が磨耗
6.2.2 物理・化学的機構
高速の切削において活性の強い極圧添加剤(塩素,硫黄)を含む切削油剤を使用
→切削熱により温度上昇
→前切れ刃の逃げ面に発生する溝状の磨耗,境界磨耗[greeve wear]
→酸化により生ずる
熱拡散[thermal diffusion]
Cの拡散
溶着[welding],凝着[adhesion]
溶着した被削材が剥がれる
→転移形[transfer type]の磨耗発生
6.2.3 工具寿命に及ぼす切削温度の影響
切削温速度が比較的低い状態(切削条件がゆるやか)
→逃げ面磨耗量は切削速度/送り量にかかわらず一定
比較的高い場合の磨耗
→exp(-E/Kθ)の関数に支配
6.3 工具材の影響
6.3.1 工具材の相対的かたさ
工具材のかたさは被削材のかたさの4倍以上必要
工具材が高い切削温度のもとで十分な相対的かたさを維持できるかどうか
6.3.2 工具材の靭性
高温かたさが高いものほど靭性[toughness]に劣る
6.3.3 被削材に対するアフィニティ(親和性)
工具材の高温かたさが高く、靭性に富んでいても、
被削材との化学的アフィニティが強ければ拡散磨耗や金属溶着による
転移形の磨耗が起こりやすくなる
6.4 被削材の影響
6.4.1 被削材の磨耗性
ミクロのかたい粒子が被削材に介在→工具を機械的に磨耗
6.4.2 被削材の強度
一般に被削材の強度:大→工具寿命:短
熱処理の有無でかたさは同じでも工具寿命は異なる
6.4.3 被削材の延性
延性:大→切りくず生成における切削歪みが大きくなる→切削温度:高
6.4.4 被削材のKwρwCw 被削材の熱的パラメータ
Kw:熱伝導率
ρw:密度
Cw:比熱
切削温度は(KwρwCw)^0.5 に反比例
KwρwCw:小ほど切削温度:高 →工具寿命:短
6.4.6 被削材の加工硬化性
工具の切ればが鋭利、切り込みや送り量が十分大きい場合は気にならない
逆だと難しくなる
6.5 刃先形状の影響
6.5.1 すくい角
すくい角:増→ひずみ減少(切れ刃が良化)
→切削温度が低下 など工具寿命が長くなる
工具寿命から見て最適のすくい角が存在
※工具材の靭性低下→小さい値
旋削の場合
・高速度工具：25～30°
・超硬工具：5～10°
6.5.2 逃げ角
通常5～6° これ以上大きくしても工具寿命に差は出ない
大きすぎるとチッピングや欠損を起こしやすくなる
6.5.3 切れ刃角
アプローチ角[approach angle] ※横切れ刃角とも言う
工具寿命に特に影響する
※特に温度に敏感な工具材において
6.5.4 すくい角切りくず接触長さ
ランド幅[widh of land]
ランド幅と送り量の比が1～2の範囲で工具寿命が最大
6.5.5 コーナ半径[corner radius]
高速度鋼工具→熱的
超硬工具,セラミック工具→力学的 に寿命を支配
6.6 切削速度、送り量および切込みの影響
VT^n = const T=工具寿命
f:送り量、a:切込み
切削容積 v=VfaT
T=kV^(-α)f^(-β)a^(-γ)
送り量が非常に小 f<0.1mm/rev →かえって寿命:短
6.7 切削油剤の影響
切削油剤
・潤滑作用
・冷却作用 ･･･比較的低速の加工のみ
6.8 工具寿命試験と工具寿命の変動
統計的に処理するのが妥当
ex. 工具寿命の平均値Tm
工具交換時間の対数値(logTm-2σ)となるよう時間を決めてやる
→97%以上の確率で工具交換まで寿命がもつ
7.切削仕上げ面の品位
仕上げ表面の幾何学的性状
・あらさ(ピッチの細かい凹凸)
・うねり(ピッチの大きい凹凸)
・加工変質層
・残留応力
・化合物被膜
7.1 表面あらさの表示法
断面曲線
a.最大高さ Rmax
b.10点平均あらさ Rz
c.中心線平均あらさ Ra
7.2 切削仕上げ面あらさを支配する要因
7.2.1 幾何学的要因
7.2.2 非呈上要因
(ⅰ)構成刃先ないし切れ刃への凝着物
(ⅱ)工具磨耗
(ⅲ)切削面の盛上がりと掘起こし
7.3 構成刃先[built-up edge]
工具の刃先に被削材の一部が堆積し、加工硬化を起こし(地金の数倍の硬さとなる)
それが事実上の切れ刃となる付着物をいう
7.3.1 構成刃先の発生
凝着を起こす機構
(ⅰ)金属同士がそれぞれの金属原子間隔程度の距離で引き合っている
(ⅱ)拡散が起こる
(ⅲ)合金を作る
(ⅳ)金属間化合物を作る
強固な凝着を起こすための条件
(ⅰ)互いの金属が可溶性
(ⅱ)互いの結合形式が金属結合
(ⅲ)必要かつ十分な温度
(ⅳ)必要かつ十分な接触時間
凝着を起こす準備条件
(ⅰ)金属が十分な延性を持ち、塑性変形によって広い面積で生地を
露呈して金属接触を可能とする
(ⅱ)圧力が十分高くお互いの原子の作用力場のうちに接近しうる
(ⅲ)接触面が十分にきれい
(ⅳ)接触面が幾何学的になめらか
7.3.2 構成刃先の成長
切削速度:大 →温度:高
→構成刃先:軟化 →構成刃先除去
中程度の速度で構成刃先が最も成長しやすく切削仕上げ面あらさも最大
7.4 工具材の影響
工具の刃部形状、切削条件が一定でも工具材の相違によって
切削仕上げ面あらさが違ってくる
・構成刃先の発生しやすさ
・熱仕事率の相違やすくい面の摩擦係数の違いにより切削温度は異なる
→構成刃先の成長が異なる
→切削仕上げ面あらさが違ってくる
7.5 被削材の影響
・工具材が金属材料の場合、被削材が金属的なほど構成刃先が発生しやすい
・被削材の延性:大 →構成刃先が発生しやすい
・被削材の延性が無さすぎると掘起こしを生じ切削面に凹凸
7.6 切削条件の影響
7.6.1 切削速度
温度に最も強い関係
低速:温度低 →構成刃先が発生しにくい
中速:構成刃先の発生&成長
高速:高温 構成刃先の軟化で成長できない
7.6.2 送り量
切削速度:大 →送り量:小でも正常領域
送り量:大 →切削速度:低でも正常領域
送り量が増大すれば温度が上がり構成刃先の成長を妨げる効果
7.7 工具刃部形状の影響
7.7.1 コーナ半径
コーナ半径:大 →正常領域に入りにくくなる
7.7.2 前切れ刃角
前切れ刃角:小 →切削仕上げ面あらさ:減少
7.7.3 横すくい角
低速域で行われるリーマ加工、ブローチ加工、ヘール仕上げなどで
横すくい角を大きくする(切削比:大)ことで切削仕上げ面:良
7.8 切削油剤の影響
すくい面を潤滑→金属接触が妨げられる→構成刃先が発生しにくくなる
高速域では切削油がすくい面に浸入することは期待できない
水溶性切削油は切れ刃や工作物を冷却できる
冷却により 正常領域→非正常領域に入り、仕上げ面が悪くなることが多い
※実際は切りくずの処理性や加工精度の点から、多少切削仕上げ面あらさを
増しても水溶性切削油剤による湿式切削を行うことが多い
7.9 工具磨耗の影響
仕上げ面あらさに影響:溝状の境界磨耗
境界磨耗:酸化が原因
工具材の酸化を防止するような雰囲気や切削油剤を用いる。
または酸化しにくい工具材(ex.サーメット)を用いることで対策
7.10 工作機械の影響
工作機械主軸の回転中心ずれ
送り量、切り込み量のムラ
→仕上げ面のあらさ
7.11 切削仕上げ面の材質的性状
加工によって材質的に変化した表面層→加工変質層
加工変質層の成因
(1)機械的エネルギー
塑性変形による結晶格子の乱れ、格子欠陥の増加など
(2)熱エネルギー
相変態、組織変化 など
(3)1,2の複合 ･･･一般にこれが多
バイルビー層(Beilby)
表面をポリシングや冷間加工したとき等に生じる数十Å程度の深さで
結晶格子が崩れて原子がバラバラになった状態(液状の層)8 加工精度
8.1 加工精度概論
寸法精度[dimensional accuracy]
呼び寸法[normal size]に相対的な公差[tolerance]で等級[class]分けされる
形状精度※旋削加工の場合
・真円度
・円筒度
・直角度
悪化要因
(1)工作機械系
(2)工作物系
(3)工具系
8.2 切削抵抗による工作物の変位
チャック仕事[chuck work]の場合、切削抵抗の配分力の影響を受ける
8.3 工作物の熱膨張
8.4 切削抵抗による工具のたわみ
切削抵抗により工具刃先が工作物に余計に食い込む
8.5 工具の熱膨張
寸法精度、円筒度:悪
対策:湿式切削
8.6 前処理の残留応力による変形
前処理を受けた工作物をいきなり加工すると変形:大
→内部応力が残留している工作物の表層を加工することで
内部応力のバランスが崩れ工作物が変形
切削前に工作物のひずみを取り焼きなましを行うことで防止
8.7 工具磨耗の影響
送り面磨耗:増加 →切削抵抗の背分力:大(工作物の送り:大)
工具寿命判定基準は逃げ面磨耗幅で0.2mm程度とすべき
8.8 構成刃先の影響
構成刃先がつくとその先端が仕上がり寸法を決めてしまう
リーマ加工のような低速切削では、仕上げしろを少なくする
・切削速度:小
・有効な切削油剤を用いる9 切りくず処理性
9.1 切りくずの形状
切りくずの処理生徒密接な関係
9.2 切りくずカールの機構
・上向きカール
・横向きカール
切りくずのカールは切りくずの処理性と密接な関係
上向きカール:切りくずの流れ速度が工具すくい面に近いほど速いため
切りくずをカールさせるために望ましい条件
(1)被削材の降伏応力σsが小
(2)切りくず厚さ2hまたは送り量が小
(3)被削材のヤング率Eが大
9.3 切りくず折断の機構
折断しやすいのは
・延性:低
・送り量:大
・カール半径:小
9.4 切削条件の影響
a.コーナ半径 半径:大→切りくず厚さ:薄 →折断しにくい
b.アプローチ角 角度:大→切りくず厚さ:薄 →折断しにくい
c.切込み、送り量および切削速度
切込み:大 →折断しにくい
送り量:小 →折断しにくい
速度:大 →折断しにくい
9.5 被削材の影響
快削鋼 鋼材中に少量のS,Pb,Seを含有
快削黄銅 黄銅中にPbを混入
快削添加物は応力集中の核となり、材料の破断ひずみを低下させる
→切りくずが破断されやすくなる
10 びびり振動
10.1 びびり振動の種類
びびり振動[chatter vibration]
・強制びびり
・自励びびり
・混合形びびり
10.2 強制びびり
外からの振動的力/変位によりびびり振動を生じ、
切削面にびびりマークを生ずる形のびびり
10.2.1 振動的強制力によるびびり
a.断続切削によるびびり
断続切削[intermittent cutting]
加工で生じる振動的力の周波数またはその整数倍の周波数が
機械構造系(工具、工作物、工作機械)の固有振動数[natural frequency]に
一致することで生じる
b.切りくず生成に基づくびびり
・快削黄銅の切削で見られるような不連続切りくずを生ずる場合
・せん断形の切りくずを生ずる場合
10.2.2 振動的変位によるびびり
・主軸モータの回転アンバランス
・駆動ベルトの鞭打ち
・歯車列の不整
・軸受けの誤差
10.3 自励びびり[self-excited chatter]
10.3.1 自励びびりの機構
10.3.2 重複係数[overlap factor]
振動方向に刃部形状で異なる
10.3.3 等価切削幅
問題となる振動方向に直角な方向で測った切削幅
等価切削幅が大 →負の減衰 →びびり発生しやすい
10.4 混合形びびり
旋盤Aのとなりで旋盤Bを運転
Bがたまたまある回転速度になった時にAでびびりが発生
11 切削の経済
(ⅰ)アイドルコスト
直接的な生産に役立っていない時間
(ⅱ)正味切削コスト
実際切りくずを出している時間にかかるコスト ※切削速度と送り量の関数
(ⅲ)工具交換コスト
工具の取り外し/取り付けにかかるコスト
(ⅳ)工具コスト
1切れ刃あたりの工具のコスト
切削速度:大 →工具寿命:短
コスト、生産性の両方を満たす最適解は存在しない

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1章　スパッタ薄膜とは
1.1 スパッタ技術の概要
1.1-1 スパッタの常識
1.1-2 スパッタと真空蒸着の違い
1.2 スパッタ薄膜応用のあらまし
1.2-1 デバイスの高集積、微細化
1.2-2 各種の高密度記録媒体
(1)光ディスク
(2)磁気記録媒体
1.2-3 スパッタ薄膜独自の性能利用
(1)混成IC用β-Ta
(2)ダイヤモンド状薄膜
(3)CoCr垂直磁気記録媒体
(4)表面弾性波(SAW)デバイス
(5)その他
1.3 スパッタ条件と薄膜の性質
2章　気体の性質
2.1 圧力とガス分子密度
p=nkT k:ボルツマン定数
分子密度 n= 3.5*10^16*P*(273/T)
2.2 平均自由行程
ガス分子が動きながら他の分子と衝突して次に衝突するまでの距離
→自由行程
自由行程の平均値 λ=1/((√2)*π*σ^2*n)
σ:分子直径
2.3 表面に対するガス分子の入射束
ガス分子が単位面積当たりに毎秒入射する数 j:入射束(flux)
j=n*c/4
c:分子の平均熱速度
c=√(8kT/πM)
2.4 物理吸着と化学吸着
ファン・デル・ワールス力,静電的な力：物理吸着
Tiなどの表面にH2,N2,O2などが吸着するとき：科学吸着
1)一般に 化学吸着熱:qc ＞ 物理吸着熱:qp
2)化学吸着:表面の種類に敏感, 物理吸着:鈍感
3)化学吸着は1～2層で終わり、圧力依存性:小　物理吸着は多層吸着
4)化学吸着:解離の有無に分かれる
5)化学吸着には活性化エネルギ吸着などがある
2.5 各種技術における残留ガスの限界
2.5-1 テレビ用受信管など各種電子管
2.5-2 オージェ電子表面分析装置
2.5-3 スパッタ装置の許容残留ガス

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