＜一、真空概念
所謂真空並不是內空無一，而是指在固定空間 內，壓力低於周圍的大氣壓力（指1大氣壓力
），也就是該空間內的氣體分子數密度，低於大氣壓的氣體分子數密度，1大氣壓下氣體分子密度約為2.687×10e25/m3，若在真空度為1×10e-4pa高真空，氣體分子密度約為2.65×10e16/m3，所以空無一物的理想真空，實際上是不存在。
二、真空度衡量
真空是一種環境，其衡量單位就是氣體壓力，壓力值越低，真空度就越低，常用單位有
（1）pa，（2）mbar （3）torr，其關係數
1大氣壓=1.03×10e5 pa
1mbar=100pa
1torr=133pa
三、真空的形成
地球受引力的影響，離地球表面高低不同，壓力隨著變化，因此外太空大約是個超高的真空環
境。在地球表面上要形成真空環境，唯有靠真空pump抽氣來達成。隨著真空pump使用上限制,真空範圍可區分為:
真空等級
真空度範圍
抽氣pump種類
粗真空
1大氣壓（pa）
油封式機械邦浦或乾式pump
中真空
10pa~1×10e-2pa
油封式機械邦浦或乾式pump
高真空
1×10e-2pa~1×10E-7pa
油擴散pump,冷凍pump，turbo pump
超高真空
1×10e-7pa~1×10E-10pa
冷凍pump
極超高真空
1×10E-10pa~
四、真空邦浦元件
目前所有的真空邦浦，並沒有一種能單獨從大氣抽氣至高真空，必須前段使用
粗抽邦浦從大氣抽至1*10E-2,10rr，再利用高真空邦浦從1*10E-2來抽氣至高真空。
1 油封式機械邦浦(oil seal Rotary pump)
油封邦浦是電子業；光學工業，及一般裝飾鍍膜工業最常用的粗抽邦浦，其優點
是穩定、方便及省錢、最大缺點是壓力在0˙2Torr以下時，一發生油氣回流至
腔體現況‧真空範圍可達5*10E-4Torr.
2乾式邦浦(DRY PUMP)
乾式邦邦浦是目前半導體工業、TFT,LED光電工業最常用無油式粗抽邦浦，其優點
是可產生無油非常乾淨的環境，真空範圍可達5*10E-4Torr.
3魯式邦浦(Rooster Pump)
魯式邦浦‧無法單獨抽氣，必須搭配油封式機械邦浦或是乾是非浦連接在一起使用，
其優點是具有最大量抽氣的真空幫浦，真空範圍可達5*10E-4Torr.
4渦輪分子邦浦(Turbo Pump)
TURBO PUMP 是目前相同排氣效率，最昂貴的真空邦浦，最常用於學術研究單位，
其抽氣範圍可達10E-2到10E-11Torr,無法獨立運轉，必須搭配乾式邦浦作為前級
粗抽邦浦抽氣，優點是乾淨、無油、稼動率高、操作簡單、容易解決突來壓力，
前置時間最短 ，缺點：維護昂貴、對水氣抽氣效率很差、大氣進入之慮。
依使用軸承不同有全磁浮式、半磁浮式及陶瓷式三種‧其轉子轉速一般為
37500~90000rpm.
圖:VARIAN turbo pump
5冷凍邦浦(cryo pump)
cryo pump 是目前半導體使用最普遍，乾淨無油高真空邦浦，抽氣範圍可達10E-2到10E-11Torr對水氣抽氣效率最高最大，因為是利用極低溫(約零下273。 C)來捕捉氣體分子，但因一段時間後需利用N2來Purge，吸附‧捕捉的氣體分子用粗抽PUMP抽走，為其最大缺點。
圖:DAIKIN cryo pump
6油擴散式邦浦(Diffusion pump)
Diffusion pump 是目前光學業使用最普遍高真空幫浦，也是目前抽氣速率最大的高真空幫浦、
優點: 是便宜、構造簡單、維護費低廉、缺點是：對水氣抽氣效率較差及有油氣回流腔體問題。
五、真空量測元件
要得知真空度狀況,需靠真空計;依真空度範圍,精度需求而有不同真空計
公司目前所用真空計有下列幾種
1、派拉尼真空計(pirani gauge):
目前使用最廣泛粗真空真空計 ,使用範圍760torr(一大氣壓)~5*E-4torr,
在E-4torr範圍真空誤差約26%
2、冷陰極離子真空計 ( cold cathode ion gauge):
目前使用最廣泛高真空真空計之一, 使用範圍E-3torr~E-9torr,
在E-3torr~5E-4torr範圍真空誤差約26%
3、熱陰極離子真空計 ( hot cathode ion gauge):
目前使用最廣泛高真空真空計之一, 使用範圍1*E-3torr~E-10torr,
缺點:使用壽命短,當有通氧氣時離子加熱燈絲易燒斷
4、電容薄膜式真空計 (capacitance diaphragm gauge)
目前使用最精準,線性度最高真空真空計, 使用範圍依需求而不同規格
常用規格1.torr~1*E-3torr;0.1torr~1*E-4torr
缺點:價格貴;使用範圍小
圖:INFCON pirani gauge
圖:GP hot cathode ion gauge
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