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BW 高速切削模具鋼最佳潤滑冷卻方式之研究1-1www.tool-tool.com 碧威股份有限公司
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薄 膜 材 料 技 術1-1
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國立勤益技術大學機械系
教授：張子欽博士
大 綱
硬質膜結構簡介
離子束材料表面改質技術概述
離子束濺鍍沉積應用於超大型 積體電路之銅製程研究

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Why CrN coating?
 

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The as-deposited UBM-CrN coating
 

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The 800 C oxidized UBM-CrN coating
 

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MEVVA源結構
 

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MEVVA+PVD混合系統
 

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A.微觀結構
 

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離子束濺鍍沉積參數及調變範圍
 

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BW薄 膜 材 料 技 術1-9www.tool-tool.com 圖示：
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