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Leveraging international partnerships to establish global competitiveness

 生 技與醫療器材之國際商機研討會

生物技術開發中心與中華民國生物產業協會於2010年7月23日 假國際會議中心舉辦「生技醫材之國際商機研討會」。 針對生技製藥、醫療器材、能源環保等領域， 邀請具有豐富國際貿易經驗的專家，探討台灣的國際合作商機。

澳洲在生醫領域有許多世界紀錄。全世界第 一個子宮頸癌疫苗， 也是全球第一個癌症疫苗，技術和專利是來自澳洲Ian Frazer教授與CSL藥廠；全球第一個多頻道人工電子耳（C ochlear Implant）植入手術也是在澳洲完成， 至今已成為上萬名聽障者的福音。南半球最大的科技基礎建設， 是位於澳洲的同步輻射加速器（Australia Synchrotron），對醫學影像開發、 蛋白質立體結構分析，都有極大的幫助。

加 拿大在生技醫材與能源領域亦為世界翹楚。根據2010年Sci entific American全球評比， 加拿大在生技領域的創新指標名列全球第三。 全世界最早治療癌症的鈷60體外放射儀器，便是加拿大在1940 年代所發明的，後來也促成了加拿大著名MDS Nordion公司的成立。此外，目前盛行的「碳足跡」 環保概念是來自1996年加拿大Wackernagel & Rees學者提出的「生態足跡」；加拿大的環保產業興盛，超過8 500家廠商從事廢水處理與生質能源等環保科技事業。

以色列的科技發展亦領先全球。根據2009年世 界經濟論壇（WE F）評比，以色列「科學研究機構」素質名列全球第三， 僅次於瑞士與美國。全球最大的學名藥廠TEVA來自以色列，20 09年的營業額為139億美元，並積極邁入Biosimilar 市場。此外，全世界第一個包裹在膠囊內的迷你攝影機（ 可吞式影像膠囊），是以色列的Given Imaging公司所研發製造的，目前已經上市， 提供內科診斷治療用。

為促進國內各界之國際 交流，主辦單位邀請來自澳洲、 加拿大與以色列駐台辦事處的資深商務主管、 依據他們多年參與台灣與國外往來的經貿經驗， 介紹各國生醫與能源領域最新進展。會後並安排演講者與廠商、 聽眾的一對一洽談。歡迎各界踴躍參加，一同探索合作商機！

主辦單位：中華民 國生物產業發展協會、財團法人生物技術開發中心

時間：2010年7月23日（星期五）上午9:00至12:00

地點：台 北國際會議中心 201F會議室（台北市信義路五段1號）

洽詢專線：（02）2655-8233轉7031 張小姐

報名 方式：請於生技中心http://www.dcb.org. tw/en_msg.aspx?a=2&i=218線上報名， 或傳真至（02）2655-7419

報名截止日 期：99年7月16日

議程 Agenda

Time

Topic

9:00 – 9:10

Opening Remarks 致詞

9:10 – 10:10

International Business Opportunity of Biotechnology and Medical Device

生技與醫療器材之國際商機（澳 洲、加拿大、以色列） 

Moderator:

Dr. Bor-Fuei Huang

Director General, Division of Business Development, Development Center for Biotechnology

生物技術開發中心 產 業策進處, 黃博輝處長 

Speakers:

Alfred Huang, Senior Business Development Manager, Australian Commerce and Industry Office

澳大利亞商工辦事處, 黃 進發 資深商務經理 

Vanessa Chen, Commercial Officer, Canadian Trade Office in Taipei

加 拿大駐台北貿易辦事處, 陳幼欣 商 務經理 

Anna Shen, Media & Public Affairs Officer, Israel Economic and Cultural Office in Taipei

駐 台北以色列經濟文化辦事處, 沈孝芬 媒 體與公共事務官 

10:10 – 10:20

Break

10:20 – 12:00

One-on-one meeting 商務洽談 

（欲參加者請於報 名表格勾選洽談主題） 

* 本研討會全程以中文進行

洽詢專線：（02）2655-8233轉7031 張小姐

報名截止日期：99年7月16日

報名方式：請 於生技中心http://www.dcb.org. tw/en_msg.aspx?a=2&i=218線上報名

或傳真本頁至（02）2655-7419張小姐

2010生 技醫材之國際商機研討會報名表 

姓 名 

E-mail

公司名稱 

聯絡電話 

服 務部門 

職 稱

1. 是否參加一對一商務洽談？

□ 是 □ 否

2. 希望洽談的國際合作主題？（可複選）

□ 澳洲 □ 加拿大 □ 以色列

3. 希望洽談的項目？ （可 複選）

□ 生 技製藥（蛋白質抗體、檢驗試劑、疫苗、植物藥、基因治療）

□ 醫療器材（醫療電子、影像醫學、生物晶片、遠距醫療、生物材料）

□ 能源環保（生質能源、生技環保）

□ 生技服務（臨床試驗、委託製造、CRO、CMO）

□ 食品與農業（保健食品、水產養殖、園藝花 卉）

□ 學 術研究機構之技術移轉

□ 進 出口、投資與國際貿易

□ 其 他 ______________________________ __________

歡迎來到Bewise Inc.的世界，首先恭喜您來到這接受新的資訊讓產業更有競爭力， 我們是提供專業刀具製造商，應對客戶高品質的刀具需求，我們可以協助客戶滿足您對產業的不同要求，我們有能力達到非常卓越的客戶需求品質，這是現有相關技 術無法比擬的，我們成功的滿足了各行各業的要求，包括：精密HSS DIN切削刀具、協助客戶設計刀具流程、DIN or JIS 鎢鋼切削刀具設計、NAS986 NAS965 NAS897 NAS937orNAS907 航太切削刀具,NAS航太刀具設計、超高硬度的切削刀具、醫療配件刀具設計、複合式再研磨機、PCD地板專用企口鑽石組合刀 具、粉末造粒成型機、主機版專用頂級電桿、PCD V-Cut刀、捨棄式圓鋸片組、粉末成型機、航空機械鉸刀、主機版專用頂級電感、’汽車業刀具設計、電子產業鑽石刀具、木工產業鑽石刀具、銑刀與切斷複合再研磨機、銑刀與鑽頭複合再研磨機、銑刀與螺絲攻複合再研磨機等等。我們的產品涵蓋了從民生 刀具到工業級的刀具設計；從微細刀具到大型刀具；從小型生產到大型量產；全自動整合；我們的技術可提供您連續生產的效能，我們整體的服務及卓越的技術，恭 迎您親自體驗！！

BW Bewise Inc. Willy Chen willy@tool-tool.com bw@tool-tool.com www.tool-tool.com skype:willy_chen_bw mobile:0937-618-190 Head &Administration Office No.13,Shiang Shang 2nd St., West Chiu Taichung,Taiwan 40356 http://www.tool-tool.com / FAX:+886 4 2471 4839 N.Branch 5F,No.460,Fu Shin North Rd.,Taipei,Taiwan S.Branch No.24,Sec.1,Chia Pu East Rd.,Taipao City,Chiayi Hsien,Taiwan

Welcome to BW tool world! We are an experienced tool maker specialized in cutting tools. We focus on what you need and endeavor to research the best cutter to satisfy users’ demand. Our customers involve wide range of industries, like mold & die, aerospace, electronic, machinery, etc. We are professional expert in cutting field. We would like to solve every problem from you. Please feel free to contact us, its our pleasure to serve for you. BW product including: cutting tool、aerospace tool .HSS  DIN Cutting tool、Carbide end mills、Carbide cutting tool、NAS Cutting tool、NAS986 NAS965 NAS897 NAS937orNAS907 Cutting Tools,Carbide end mill、disc milling cutter,Aerospace cutting tool、hss drill’Фрезеры’Carbide drill、High speed steel、Compound Sharpener’Milling cutter、INDUCTORS FOR PCD’CVDD(Chemical Vapor Deposition Diamond )’PCBN (Polycrystalline Cubic Boron Nitride) ’Core drill、Tapered end mills、CVD Diamond Tools Inserts’PCD Edge-Beveling Cutter(Golden Finger’PCD V-Cutter’PCD Wood tools’PCD Cutting tools’PCD Circular Saw Blade’PVDD End Mills’diamond tool. INDUCTORS FOR PCD . POWDER FORMING MACHINE ‘Single Crystal Diamond ‘Metric end mills、Miniature end mills、Специальные режущие инструменты ‘Пустотелое сверло ‘Pilot reamer、Fraises’Fresas con mango’ PCD (Polycrystalline diamond) ‘Frese’POWDER FORMING MACHINE’Electronics cutter、Step drill、Metal cutting saw、Double margin drill、Gun barrel、Angle milling cutter、Carbide burrs、Carbide tipped cutter、Chamfering tool、IC card engraving cutter、Side cutter、Staple Cutter’PCD diamond cutter specialized in grooving floors’V-Cut PCD Circular Diamond Tipped Saw Blade with Indexable Insert’ PCD Diamond Tool’ Saw Blade with Indexable Insert’NAS tool、DIN or JIS tool、Special tool、Metal slitting saws、Shell end mills、Side and face milling cutters、Side chip clearance saws、Long end mills’end mill grinder’drill grinder’sharpener、Stub roughing end mills、Dovetail milling cutters、Carbide slot drills、Carbide torus cutters、Angel carbide end mills、Carbide torus cutters、Carbide ball-nosed slot drills、Mould cutter、Tool manufacturer.

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よ うこそＢｅｗｉｓｅ　Ｉｎｃ.の 世界へお越し下さいませ、先ず御目出度たいのは新たな

情報を受け取って頂き、もっと各産業に競争力プラス展開。

弊 社は専門なエンド・ミルの製造メーカーで、客先に色んな分野のニーズ、

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（１）生活産業～ハイテク工業までのエンド・ミル設計

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Bewise Inc. talaşlı imalat sanayinde en fazla kullanılan ve üç eksende (x,y,z) talaş kaldırabilen freze takımlarından olan Parmak Freze imalatçısıdır. Çok geniş ürün yelpazesine sahip olan firmanın başlıca ürünlerini Karbür Parmak Frezeler, Kalıpçı Frezeleri, Kaba Talaş Frezeleri, Konik Alın Frezeler, Köşe Radyüs Frezeler, İki Ağızlı Kısa ve Uzun Küresel Frezeler, İç Bükey Frezeler vb. şeklinde sıralayabiliriz.

BW специализируется в научных исследованиях и разработках, и снабжаем самым высокотехнологичным карбидовым материалом для поставки режущих / фрезеровочных инструментов для почвы, воздушного пространства и электронной индустрии. В нашу основную продукцию входит твердый карбид / быстрорежущая сталь, а также двигатели, микроэлектрические дрели, IC картонорезальные машины, фрезы для гравирования, режущие пилы, фрезеры-расширители, фрезеры-расширители с резцом, дрели, резаки форм для шлицевого вала / звездочки роликовой цепи, и специальные нано инструменты. Пожалуйста, посетите сайт  www.tool-tool.com  для получения большей информации.

BW is specialized in R&D and sourcing the most advanced carbide material with high-tech coating to supply cutting / milling tool for mould & die, aero space and electronic industry. Our main products include solid carbide / HSS end mills, micro electronic drill, IC card cutter, engraving cutter, shell end mills, cutting saw, reamer, thread reamer, leading drill, involute gear cutter for spur wheel, rack and worm milling cutter, thread milling cutter, form cutters for spline shaft/roller chain sprocket, and special tool, with nano grade. Please visit our web  www.tool-tool.com  for more info.

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磨削是 外圆表面精加工的主要方法之一。它既可加工淬硬后的表面，又可加工未经淬火的表面。

　 　根据磨削时工件定位方式的不同，外圆磨削可分为：中心磨削和无心磨削两大类。

（一）中心磨削

　 　中心磨削即普通的外圆磨削，被磨削的工件由中心孔定位，在外圆磨床或万能外圆磨床上加工。磨削后工件尺寸精度可达 IT6~IT8 ，表面粗糙度Ra0.8~0.1 μ m 。按进给方式不同分为纵向进给磨削法和横向进给磨削法。

　　1 ．纵向进给磨削法（纵向磨法）

　　如图 6-2 所示，砂轮高速旋转，工件装在前后顶尖上，工件旋转并和工作台一起纵向往复运动。

2 ．横向进给磨削法（切入磨法）

　　如图 6-3 所示，此种磨削法没有纵向进给运动。当工件旋转时，砂轮以慢速作连续的横向进给运动。其生产率高，适用于大批量生产，也能进行成形磨削。但横向磨削力较 大，磨削温度高，要求机床、工件有足够的刚度，故适合磨削短而粗，刚性好的工件；加工精度低于纵向磨法。

（二）无心磨削

　　无心磨削是一 种高生产率的精加工方法，以被磨削的外圆本身作为定位基准。目前无心磨削的方式主要有：贯穿法和切入法。

　　如图 6-4 所示为外圆贯穿磨法的原理。

　　工件处于磨轮和导轮之间，下面用支承板支承。磨轮轴线水平放置，导轮轴线倾斜一个不大的 λ 角。这样导轮的圆周速

度 υ 导 可以分解为带动工件旋转的 υ 工 和使工件轴向进给的分量 υ 纵 。

　　如图 6-5 为切入磨削法磨削的原理。导轮 3 带动工件 2 旋转并压向磨轮 1 。加工时，工件和导轮及支承板一起向砂轮作横向进给。磨削结束后，导轮后退，取下工件。导轮的轴线与砂轮的轴线平行或相交成很小的角度（ 0.5~1 o ），此角度大小能使工件与挡铁 4 （限制工件轴向位置）很好地贴住即可。

　　无心磨削时，必须满足下列条件：

　　1 ．由于导轮倾斜了一个 λ角度，为了保证切削平稳，导轮与工件必须保持线接触，为此导轮表面应修整成双曲线回转体形状。

　　2 ．导轮材料的摩擦系数应大于砂轮材料的磨擦系数；砂轮与导轮同向旋转，且砂轮的速度应大于导轮的速度；支承板的倾斜方向应有助于工件紧贴在导轮上。

　 　3 ．为了保证工件的圆度要求，工件中心应高出砂轮和导轮中心连线。高出数值 H 与工件直径有关。当工件直径 d 工 =8 ～ 30mm 时， H ≈ d 工 /3 ；当 d 工 =30 ～ 70mm 时， H ≈ d 工 /4 。

　　4 、导轮倾斜一个 λ 角度。如图 6-4 ，当导轮以速度 v 导 旋转时，可分解为：

　　v 工 =v 导 · cos λ ; v 纵 =v 导 · sin λ

　 　粗磨时， λ 取 3 ° ～ 6 ° ；精磨时， λ 取 1 ° ～ 3 ° 。

　　无心磨削时，工件尺寸精度可达 IT6-IT7 ，表面粗糙度 Ra0.8-0.2um.

（三）外圆磨削的质量分析

　 　在磨削过程中，由于有多种因素的影响，零件表面容易产生各种缺陷。常见的缺陷及解决措施分析如下：

　　1 ．多角形 在零件表面沿母线方向存在一条条等距的直线痕迹，其深度小于 0.5 μ m ，如图6-6 所示。

产生原因主要是由于砂轮与工件沿径向 产生周期性振动所致。如砂轮或电动机不平衡；轴承刚性差或间隙 太大 ；工件中心孔与顶尖接触不良；砂轮磨损不均匀等。消除振动的措施，如仔细地平衡砂轮和电动机；改善中心孔和顶尖的接触情况；及时修整砂轮；调整轴承间隙 等。

　　2 ．螺旋形 磨削后的工件表面呈现一条很深的螺旋痕迹，痕迹的间距等于工件每转的纵向进给量。如图 6-7 所示。

　　产生原因主要是砂轮微刃的等高 性破坏或砂轮与工件局部接触。如砂轮母线与工件母线不平行；头架、尾座刚性不等；砂轮主轴刚性差。消除的措施，修正砂轮，保持微刃等高性；调整轴承间隙； 保持主轴的位置精度；砂轮两边修磨成能成台肩形或倒圆角，使砂轮两端不参加切削；工件台润滑油要合适，同时应有卸载装置；使导轨润滑为低压供油。

　　3 ．拉毛（划伤或划痕） 常见的工件表面拉毛现象如图 6-8 所示。

　 　产生原因主要是磨粒自锐性过强；切削液不清洁；砂轮罩上磨屑落在砂轮与工件之间等。消除拉毛的措施，选择硬度稍高一些的砂轮；砂轮修整后用切削液和毛刷 清洗；对切削液进行过滤；清理砂轮罩上的磨屑等。

　　4 ．烧伤 可分为螺旋形烧伤和点烧伤，如图 6-9 所示。

　　 烧伤的原因主要是由于磨削高温的作用，使工件表层金相组织发生变化，因而使工件表面硬度发生明显变化。消除烧伤的措施，降低砂轮硬度；减小磨削深度；适当 提高工件转速；减少砂轮与工件接触面积；及时修正砂轮；进行充分冷却等。

　三、外圆表面的精密加工

　 　随着科学技术的发展，对工件和加工精度和表面质量要求也越来越高。因此在外圆表面精加工后，往往还要进行精密加工。外圆表面的精密加工方法常用的有高精 度磨削、超精度加工、研磨和滚压加工等。

• 高精度磨削

　　　　使轴的表面粗糙度值在 Ra0.16 μ m 以下的磨削工艺称为高精度磨削，它包括精度磨削（ Ra0.6-0.06 μ m ）、超精密磨削（ Ra0.04-0.02 μ m ）和镜面磨削（ Ra ﹤ 0.01 μ m）。高精度磨削的实质在于砂轮磨粒的作用。经过精细修整后的砂轮的磨粒形成了同时能参加磨削的许多微刃。如图 6 -10a,b，这些微刃等高程度好，参加磨削的切削刃数大大增加，能从工件上切下微细的切屑，形成粗糙度值较小的表面。随着磨削过程的继续，锐利的微刃逐 渐钝化，如图 6 -10c。钝化的磨粒又可起抛光作用，使粗糙度进一步降低。

（二）超精加工

　　用细粒度磨 具的油石对工件施加很小的压力，油石作往复振动和慢速沿工件轴向运动，以实现微量磨削的一种光整加工方法。

　　如图 6-11 所示为其加工原理图。加工中有三种运动：工件低速回转运动 1 ；磨头轴向进给运动 2 ；磨头高速往复振动 3 。如果暂不考虑磨头轴向进给运动，磨粒在工件表面上走过的轨迹是正弦曲线，如图 6-11b 所示。

　　超精加工大致有四个阶段：

　 　1 ．强烈切削阶段 开始时，由于工件表面粗糙，少数凸峰与油石接触，单位面积压力很大，破坏了油膜，故切削作用强烈。

　　2 ．正常切削阶段 当少数凸峰磨平后，接触面积增加，单位面积压力降低，致使切削作用减弱，进入正常切削阶段。

　　3 ．微弱切削阶段 随着接触面积进一步增大，单位面积压力更小，切削作用微弱，且细小的切屑形成氧化物而嵌入油石的空隙中，因而油石产生光滑表面，具有摩擦抛光作用。

　 　4 ．自动停止切削阶段 工件磨平，单位面积上的压力很小，工件与油石之间形成液体摩擦油膜，不再接触，切削作用停止。

　　经超精加工 后的工件表面粗糙度值 Ra0.08-0.01 μ m. 。然而由于加工余量较小（小于 0.01mm ），因而只能去除工件表面的凸峰，对加工精度的提高不显著。

（三）研磨

　　用研磨工 具和研磨剂，从工件表面上研去一层极薄的表层的精密加工方法称为研磨。

　　研磨用的研具采用比工件材料软的材料（如铸铁、铜、巴氏合金及 硬木等）制成。研磨时，部分磨粒悬浮在工件和研具之间，部分研粒嵌入研具表面，利用工件与研具的相对运动，磨粒应切掉一层很薄的金属，主要切除上工序留下 来的粗糙度凸峰。一般研磨的余量为 0.01 -0.02mm 。研磨除可获得高的尺寸精度和小的表面粗糙度值外，也可提高工件表面形状精度，但不能改善相互位置精度。

　　当两个工件要求良好配合时， 利用工件的相互研磨（对研）是一种有效的方法。如内燃机中的气阀与阀座，油泵油咀中的偶件等。

（四）滚压加工

　　滚压加工是用滚压工具对金属材质的工件施加压力，使其产生塑性变形，从而降低工件表面粗糙度，强化表面性能的加工方法。它是一种无切 屑加工。

　　图 6-12 为滚压加工示意图。滚压加工有如下特点：

　　1 ．滚压前工件加工表面粗糙度值不大于 Ra5 μ m ，表面要求清洁，直径余量为 0.02 -0.03mm 。

　　2 ．滚压后的形状精度和位置精度主要取决于前道工序。

　 　3 ．滚压的工件材料一般是塑性材料，并且材料组织要均匀。铸铁件一般不适合滚压加工。

　　4 ．滚压加工生产率高。

　 　四、外圆表面加工方案的选择

　　上面介绍了外圆表面常用的几种加工方法及其特点。零件上一些精度要求较高的面，仅用 一种加工方法往往是达不到其规定的技术要求的。这些表面必须顺序地进行粗加工、半精加工和精加工等加工方法以逐步提高其表面精度。不同加工方法有序的组合 即为加工方案。表 3-14 即为外圆柱面的加工方案。

表3-14  外圆柱面加工方法

序 号

加工方法

经济精度
( 公差等级表示 )

经济粗糙度值
Ra ／ um

适 用范围

1

粗车  Y0 b- ]% l" A: j" E

IT18~13

12.5~50

适用于淬火钢以外的各种金属

2

粗车 - 半精车9 a. N; c' N8 G0 Q0 S

IT11~10

3.2~6.3

3

粗车 - 半精车 - 精车

IT7~8

0.8~1.6

4

粗车 - 半精车 - 精车 -滚压（或抛光）P! f) I# Y+ j5 f* L) ?

IT7~8

0.25~0.2

5

粗车 - 半精车 -磨削

IT7~8

0.4~0.8

主要用于淬火钢，也可用于未淬火钢，但不宜加工有色金属

6

粗车 - 半精车 -粗磨 -精磨: d* n" v c% k4 r6 \) E

IT6~7

0.1~0.4

7

粗车 - 半精车 -粗磨 -精磨 -超精加工（或轮式超精磨）

IT5

0.012~0.1

( 或 R Z 0.1)

8

粗车 - 半精车 -精车 -精细车（金刚车）" M4 t; Y' M# i- b

IT6~7

0.025~0.4

主要用于要求较高的有色金属加工" h- E/ r) t4 T% |) e  |

9

粗车 - 半精车 - 粗磨 -精磨 -超精磨（或镜面磨）

IT5 以上

0.006~0.025

( 或 R Z 0.05)

极高精度的外圆加工, s$ Q5 V, h) t1 d

10

粗车 - 半精车 -粗磨 -精磨 -研磨

IT5 以上

0.006~0.1

( 或 R Z 0.05)

　　确定某 个表面的加工方案时，先由加工表面的技术要求（加工精度、表面粗糙度等）确定最终加工方法，然后根据此种加工方法的特点确定前道工序的加工方法，如此类 推。但由于获得同一精度及表面粗糙度的加工方法可有若干种，实际选择时还应结合零件的结构、形状、尺寸大小及材料和热处理的要求全面考虑。

　 　表 3-14 中序号 3 （粗车—半精车—精车）与序号 5 （粗车—半精车—磨）的两种加工方案能达到同样的精度等级。但当加工表面需淬硬时，最终加工方法只能采用磨削。如加工表面未经淬硬，则两种加工方案均可采 用。若零件材料为有色金属，一般不宜采用磨削。

　　再如表 3-14 中序号 7 （粗车—半精车—粗磨—精磨—超精加工）与序号 10 （粗车—半精车—粗磨—精磨—研磨）两种加工方案也能达到同样的加工精度。当表面配合精度要求比较高时，终加工方法采用研磨较合适；当只需要求较小的表面 粗糙度值，则采用超精加工较合适。但不管采用研磨还超精加工，其对加工表面的形状精度和位置精度改善均不显著，所以前道工序应采用精磨，使加工表面的位置 精度和几何形状精度已达到技术要求。

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弊 社は専門なエンド・ミルの製造メーカーで、客先に色んな分野のニーズ、

豊富な パリエーションを満足させ、特にハイテク品質要求にサポート致します。

弊社は各領域に供給できる内容は：

（１）精密ＨＳＳエンド・ミルのＲ＆Ｄ

（２）Carbide Cutting tools設計

（３）鎢鋼エンド・ミル設計

（４）航空エンド・ミル設計

（５）超高硬度エンド・ミル

（６）ダイヤモンド・エンド・ミ ル

（７）医療用品エン ド・ミル設計

（８）自動車部品＆材料加工向けエンド・ミル設計

弊社の製品の供給調達機能は：

（１）生活産業～ハイテク工業までのエンド・ミル設計

（２）ミクロ・エ ンド・ミル～大型エンド・ミル供給

（３）小Ｌｏｔ生産～大量発注対応供給

（４）オートメーション整備調達

（５）スポット対応～流れ生産対応

弊社の 全般供給体制及び技術自慢の総合専門製造メーカーに貴方のご体験を御待ちしております。

Bewise Inc. talaşlı imalat sanayinde en fazla kullanılan ve üç eksende (x,y,z) talaş kaldırabilen freze takımlarından olan Parmak Freze imalatçısıdır. Çok geniş ürün yelpazesine sahip olan firmanın başlıca ürünlerini Karbür Parmak Frezeler, Kalıpçı Frezeleri, Kaba Talaş Frezeleri, Konik Alın Frezeler, Köşe Radyüs Frezeler, İki Ağızlı Kısa ve Uzun Küresel Frezeler, İç Bükey Frezeler vb. şeklinde sıralayabiliriz.

BW специализируется в научных исследованиях и разработках, и снабжаем самым высокотехнологичным карбидовым материалом для поставки режущих / фрезеровочных инструментов для почвы, воздушного пространства и электронной индустрии. В нашу основную продукцию входит твердый карбид / быстрорежущая сталь, а также двигатели, микроэлектрические дрели, IC картонорезальные машины, фрезы для гравирования, режущие пилы, фрезеры-расширители, фрезеры-расширители с резцом, дрели, резаки форм для шлицевого вала / звездочки роликовой цепи, и специальные нано инструменты. Пожалуйста, посетите сайт  www.tool-tool.com  для получения большей информации.

BW is specialized in R&D and sourcing the most advanced carbide material with high-tech coating to supply cutting / milling tool for mould & die, aero space and electronic industry. Our main products include solid carbide / HSS end mills, micro electronic drill, IC card cutter, engraving cutter, shell end mills, cutting saw, reamer, thread reamer, leading drill, involute gear cutter for spur wheel, rack and worm milling cutter, thread milling cutter, form cutters for spline shaft/roller chain sprocket, and special tool, with nano grade. Please visit our web  www.tool-tool.com  for more info.

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歡迎來到Bewise Inc.

一近2000年来机械制造精度，随着产品性能的不断提高而 发展。

1770年制造第一台蒸气机汽缸用的镗床，所能达到的制造精度仅为1mm，以后陆续出现了汽油发动机，柴油发动机，高速齿轮，轴 承，第二次大战后，喷汽发动机、导弹、卫星相继发展，零件制造精度迅速提高，如圆度仪上的标准球，其加工精度为 0.01µm机床，加工表面粗糙度也不断降低，如生产型高精度外圆磨床相继出现，加工精度，可达0.1µm，工件表面粗糙度达Ra0.012µm，金属材 料的发展与产品发展也密切相关，最初使用材料主要是低碳钢和铸铁，然而近代制造的燃汽轮机，就必须有耐热，耐磨，腐蚀全新材料，于是出现了耐热，耐磨，耐 腐蚀及合金钢复合材料，陶瓷，在发展航天飞机，人造卫星时，又出现了钛和钛合金材料、其它高强度钢等材料。极限抗拉强度几乎提高了十几倍。

所 以适应新材料各类零件的磨削加工。磨床和砂轮的品种，性能也有了进一步的发展。在基本型式的基础上出了10个系列，精密高精度型，半自动型，斜砂轮型，数 控型，宽砂轮型，多片砂轮型，高速型，多砂轮架型，强力磨削型等。

二现代机械加工发展及各种新型材料的出现

随着现代机械 加工不断发展及各种新型材料的不断出现，对其加工精度表面粗度要求越来越高，其相应的各种磨削方法不断出现来满足现代工业的不断发展

这些 年来，磨削技术正朝着这个方向发展，研制和使用新型的，超硬的磨料磨具开发和推广，超精密磨削，高效的磨削工艺和研制，应用在高精度、高刚度的磨床和磨削 加工中。

新型和超硬磨料磨具有：

1.陶瓷刚玉磨料

陶瓷刚玉磨料经过化学陶瓷化处理，SG经过晶体瓷胶仪 后破碎成颗粒，最后烧结成磨料，陶瓷刚玉砂轮韧性比普通刚玉砂轮好，其自锐性锋利性形状保持及寿命高2—2.5倍，它目前制造成本高，它通常多与白刚玉式 棕砂轮混合体，在发达国家这种混合砂轮普遍使用。

2.人造金刚石

人造金刚石砂轮，由磨料层、过渡层和基体三部份组成，人 造金刚石砂轮用于磨削超高硬度的脆性材料，硬度合金，花岗岩，宝石，光学玻璃，和陶瓷等。

3.立方氮化硼砂轮

立方氮化硼 砂轮的立方氮化硼颗粒粘在普通砂轮表面只有很薄一层，其磨粒韧性、硬度、耐用度是刚玉类砂轮的100倍，适用于高速或超高速及难加工材料，高速纲，耐热钢 等。它不能用普通切削液，需特殊的切削液。

三高精磨，小粗糙磨和高速磨削

高精磨小粗糙磨及精密磨 削，R0.05-0.1µm

超精密磨削R0.012—0.025µM

镜面磨削Ra0.012µm以下，它对磨床精度运动 平稳性，环境条件，砂轮选择运用和修整，切削液选择及浇注处理要求较高

高速磨削

1.强力磨削

强力度磨削 一般指以大的磨削深度，进行磨削加工如缓进行磨削，磨削深度可达1—30mm为普通磨削100—1000倍，工件进给缓慢5—300mm/分钟，一次或数 次行程中将工件加工至尺寸，工作效率高能获得较高的加工精度，适合于韧材料（如镍基合金和淬火硬材料）并特别适合于，成型面和沟槽，难加工材料的磨削加 工，并可以从铸、锻毛坯，直接磨削加工出符合要求的零件。

2.高速磨削

大于45m/s以上磨削加工，高速磨削可获得明显 的技术和经济效益，50-60m/s，生产效率，可提高30-100%，砂轮耐用度，提高0.7-1，工件表面粗糙度降低50%，当前高速磨削线速度达 250m/s，并成功进行了500m/s，超高速削试验。

3.砂带磨削

砂带磨削是以高速运动的，砂带作为磨具并辅之接触 轮，张紧轮，驱动轮等旧式的磨头组件对工件进行加工的一种磨削方法。

砂带由基体，结合剂和磨粒组成，常用牛皮纸布，尼龙纤维和纸布组合 体，砂带上仅有一层经过精选的粒度均匀的磨粒，通过静电植砂，确定磨粒之间的位置，结合剂常用树脂，切削刃具有良好的等高性，材料切除率高，磨砂表面质量 好。

砂带磨削发展非常快，工业发达国家砂带磨削已是磨削加工量的一半左右，与砂轮磨削比，砂带磨削具有以下特点。

磨削效 率高

切除率高，功率利用率高达700mm3/s，比常规车，铣生产率高，是普通切削10倍，普通磨削5倍。

加工质量好

加 工质量好，尽寸精度3µm,表面粗糙度1µm，砂带磨削已跨入了精磨，系超精密磨削加行列，尺寸精度可达0.1µm，Ra值可达0.01µm，即到镜面效 果。

磨削热、小工件冷硬度与残余应力为砂轮磨削的十分之一，即使干磨也不易烧伤工件而且无微裂纹或金相组织的改变具有冷态磨削的美称。

工 艺灵活性大适应强，如平面，内外圆和异形曲面等加工。

材料，加工尺寸适应范围广，可加工金属，还可以加工皮革，木材，橡胶，塑料，对不锈 钢，钛合金，镍合金，难加工材料更显示出其独特的优势。当前砂轮磨削最大宽度为1米，而宽达4.9m砂带磨床已投入使用。

综合成本低，结 构简单，投资少操作简单，生产辅助时间少，对工人技术要求不高，工作安全可靠。

它有占地空间大，噪声大，不能加工小直径深孔，盲孔，柱坑 孔，阶梯外园和齿轮等砂带消耗量大。

四超精度，高刚度磨床和磨削加工中心

超精度高刚度磨床

精密加工心须 由高精度高刚度的机床保证，精密磨床应采用油轴承，空气轴承，磁轴承，静动压轴承，及静动压导轨，直线导轨，静动压丝杠，进给机构高建化高精密化机床结 构，采用稳定性好，抗拉性好，等花岗岩，人造花岗岩，陶瓷，微晶玻璃代替铁系材料，增加了机床的刚度等。

磨削加工中心

磨 削加工中心具备自动交换，自动选择及自动修正磨削工具的机能，一次装卡即能完成磨削加工，实现了磨削加工的复合化与集约化，甚至可实现无人化连续自动生 产，节约成本，节约工装费用，对机床高的刚度，热变形等，进一步提高加工精度，磨削加工，中心是当今磨削技术进步的主要标志，也是磨削加工技术的发展方 向。

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合作编辑者：

的世界，首先恭喜您來到這接受新的資訊讓產業更有競爭力，我們是 提供專業刀具製造商，應對客戶高品質的刀具需求，我們可以協助客戶滿足您對產業的不同要求，我們有能力達到非常卓越的客戶需求品質，這是現有相關技術無法 比擬的，我們成功的滿足了各行各業的要求，包括：精密HSS DIN切削刀具、協助客戶設計刀具流程、DIN or JIS 鎢鋼切削刀具設計、NAS986 NAS965 NAS897 NAS937orNAS907 航太切削刀具,NAS航太刀具設計、超高硬度的切削刀具、醫療配件刀具設計、複合式再研磨機、PCD地板專用企口鑽石組合刀 具、粉末造粒成型機、主機版專用頂級電桿、PCD V-Cut刀、捨棄式圓鋸片組、粉末成型機、航空機械鉸刀、主機版專用頂級電感、’汽車業刀具設計、電子產業鑽石刀具、木工產業鑽石刀具、銑刀與切斷複合再研磨機、銑刀與鑽頭複合再研磨機、銑刀與螺絲攻複合再研磨機等等。我們的產品涵蓋了從民生 刀具到工業級的刀具設計；從微細刀具到大型刀具；從小型生產到大型量產；全自動整合；我們的技術可提供您連續生產的效能，我們整體的服務及卓越的技術，恭 迎您親自體驗！！

BW Bewise Inc. Willy Chen willy@tool-tool.com bw@tool-tool.com www.tool-tool.com skype:willy_chen_bw mobile:0937-618-190 Head &Administration Office No.13,Shiang Shang 2nd St., West Chiu Taichung,Taiwan 40356 http://www.tool-tool.com / FAX:+886 4 2471 4839 N.Branch 5F,No.460,Fu Shin North Rd.,Taipei,Taiwan S.Branch No.24,Sec.1,Chia Pu East Rd.,Taipao City,Chiayi Hsien,Taiwan

Welcome to BW tool world! We are an experienced tool maker specialized in cutting tools. We focus on what you need and endeavor to research the best cutter to satisfy users’ demand. Our customers involve wide range of industries, like mold & die, aerospace, electronic, machinery, etc. We are professional expert in cutting field. We would like to solve every problem from you. Please feel free to contact us, its our pleasure to serve for you. BW product including: cutting tool、aerospace tool .HSS  DIN Cutting tool、Carbide end mills、Carbide cutting tool、NAS Cutting tool、NAS986 NAS965 NAS897 NAS937orNAS907 Cutting Tools,Carbide end mill、disc milling cutter,Aerospace cutting tool、hss drill’Фрезеры’Carbide drill、High speed steel、Compound Sharpener’Milling cutter、INDUCTORS FOR PCD’CVDD(Chemical Vapor Deposition Diamond )’PCBN (Polycrystalline Cubic Boron Nitride) ’Core drill、Tapered end mills、CVD Diamond Tools Inserts’PCD Edge-Beveling Cutter(Golden Finger’PCD V-Cutter’PCD Wood tools’PCD Cutting tools’PCD Circular Saw Blade’PVDD End Mills’diamond tool. INDUCTORS FOR PCD . POWDER FORMING MACHINE ‘Single Crystal Diamond ‘Metric end mills、Miniature end mills、Специальные режущие инструменты ‘Пустотелое сверло ‘Pilot reamer、Fraises’Fresas con mango’ PCD (Polycrystalline diamond) ‘Frese’POWDER FORMING MACHINE’Electronics cutter、Step drill、Metal cutting saw、Double margin drill、Gun barrel、Angle milling cutter、Carbide burrs、Carbide tipped cutter、Chamfering tool、IC card engraving cutter、Side cutter、Staple Cutter’PCD diamond cutter specialized in grooving floors’V-Cut PCD Circular Diamond Tipped Saw Blade with Indexable Insert’ PCD Diamond Tool’ Saw Blade with Indexable Insert’NAS tool、DIN or JIS tool、Special tool、Metal slitting saws、Shell end mills、Side and face milling cutters、Side chip clearance saws、Long end mills’end mill grinder’drill grinder’sharpener、Stub roughing end mills、Dovetail milling cutters、Carbide slot drills、Carbide torus cutters、Angel carbide end mills、Carbide torus cutters、Carbide ball-nosed slot drills、Mould cutter、Tool manufacturer.

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用砂轮或其他磨具加工工件，称为磨削。本节主要讨论用砂轮在磨床上加工工 件的特点及其应用，磨床的种类很多，较常见的有外圆磨床、内圆磨床和平面磨床等。作为切削工具的砂轮，是由磨料加结合剂用烧结的方法而制成的多孔物体。由 于磨料、结合剂及制造工艺等的不同，砂轮特性可能差别很大，对磨削的加工质量、生产效率和经济性有着重要影响。砂轮的特性包括磨料、粒度、硬度、结合剂、 组织以及形状和尺寸等。

一.磨削过程
磨削可以加工外圆面、内孔、平面、成形面、螺纹、齿轮等

1.外圆磨削
1、在外圆磨床上进行
　磨法：纵磨法 横磨法 综合磨 深磨法
2、 无心外圆磨
　圆面必须连续，不能有较长键槽等孔的磨削

2.平面磨削
周磨质量较高，但较慢
端 磨较快，但质量不高
特点:主运动是砂轮的旋转运动；
磨削过程:实际上是磨粒对工件表面的切削、刻削和滑擦三种作用的综合效应；
砂 轮的“自锐性” ：磨削中，磨粒本身也会由尖锐逐渐磨钝，使切削能力变差，切削力变大，当切削力超过粘结剂强度时，磨钝的磨粒会脱落，露出一层新的磨粒，这就是砂轮的“自 锐性”。

磨内孔

磨削往往作为最终加工工序。

砂轮的修整
　由于砂轮的“自锐性”以及切屑和碎磨粒会阻塞砂轮，在磨削一 定时间后，需用金刚石车刀等对砂轮进行修整。

二.磨削的工艺特点
磨床的特点：
a.使用磨料、磨具（如砂轮、 砂带、油石、研磨料等）为工具，进行切削加工。
b. 用来加工硬度较高的材料。
c.加工精度高、光洁度高。
d.一般加工余量较 小。
工业发达国家，磨床比例高（约30％左右），磨床用于粗、精加工，发展了新型强力磨和高速磨。
三.磨削的应用和发展
(一)外 圆磨床
　磨床中所占比例较大的一种，包括万能外圆磨床、外圆磨床、无心外圆磨床。
1.万能外圆磨床
　万能性好，常用于加工以下几 种典型表面。
<1>磨外圆
加工所需的运动
砂轮主运动 n
工件的圆周进给运动 f1
工件的纵向进给运 动 f2
砂轮的横向切入运动 c
<2> 磨长圆锥面
外圆磨床工作台分两层，上工作台相对下工作台调整至一定的角度位 置（不超过±7°)机床运动与（1）相同，但工件回转中心线与工作台纵向进给方向不平行，故磨削出来的是圆锥面。
<3>磨短圆锥面
圆 锥面的宽度小于砂轮宽度。砂轮架在水平面内转角度，工件不作往复运动。
<4>磨内锥孔（包括圆柱孔）
工件卡盘装在头架主轴 上，头架可在水平面内转角度，此时大砂轮不转，内圆磨具支架翻下，小砂轮磨削。
由上可知：万能外圆磨床万能性高，但是机床的层次多，刚性差，加工 精度低。
2.普通外圆磨床
与万能外圆磨床的区别～头架、砂轮架、头架主轴都固定不可转动，并且没有内圆磨具。主要加工外圆柱表面和锥度不 大的圆锥表面。
特点：结构简单，刚性好，加工精度高，但万能性较差。
3.无心外圆磨
工件很短（如销钉）无法用顶针顶起，是以工件 的外圆面作定位面的外圆磨床。
无心磨的两种方法：
1.贯穿磨法～工件中心高出e=(15~25%)D工件，导轮用橡胶和树脂作磨粒粘结 剂，摩擦系数大，工件随导轮转，速度相同，且磨粒粒度细不产生磨削。
砂轮转速快，与工件有相对运动，产生磨削。导轮中心线倾斜α角，导轮与工件接 触处的线速度f分解出f2，带动工件贯穿磨削区。
导轮表面为回转双曲面，保证导轮、工件为直线接触，适宜加工无纵向槽的圆柱表面。
2.切 入磨法
工件无轴向进给运动，由砂轮横向切入。
导轮轴相对于砂轮轴倾斜30分，使工件轴向定位。
适宜加工无纵向槽的成型回转表面。
(二)内圆磨床 包括无心、普通和行星式三种内圆磨。
1.普通内圆磨床
  常带有自动测量装置
2. 无心内圆磨床
  用外圆定心磨内圆，内外圆同心度高，滚动轴承制造厂用得多，生产率高。
3.行星式内圆磨床
  用于磨削大型箱体零件上的内孔。也可磨削大件上圆形凸台的外圆。
(三)平面磨床 包括周边磨和端面磨两种
1.周边磨～用盘形砂轮的圆柱面 磨削，加工精度高，生产率低。
2.端面磨～用碗形砂轮或砂瓦的端面磨削，加工精度低，生产率高。
  除以上介绍的磨床外，还有工具磨床、专门化磨床、研磨机、珩磨机等。

歡 迎來到Bewise Inc.的世界，首先恭喜您來到這接受新的資訊讓產業更有競爭力，我們是提供專業刀具製 造商，應對客戶高品質的刀具需求，我們可以協助客戶滿足您對產業的不同要求，我們有能力達到非常卓越的客戶需求品質，這是現有相關技術無法比擬的，我們成 功的滿足了各行各業的要求，包括：精密HSS DIN切削刀具、協 助客戶設計刀具流程、DIN or JIS 鎢鋼切削刀具設計、NAS986 NAS965 NAS897 NAS937orNAS907 航太切削刀具,NAS航太刀具設計、超高硬度的切削刀具、醫療配件刀具設計、複合式再研磨機、PCD地板專用企口鑽石組合刀 具、粉末造粒成型機、主機版專用頂級電桿、PCD V-Cut刀、捨棄式圓鋸片組、粉末成型機、航空機械鉸刀、主機版專用頂級電感、’汽車業刀具設計、電子產業鑽石刀具、木工產業鑽石刀具、銑刀與切斷複合再研磨機、銑刀與鑽頭複合再研磨機、銑刀與螺絲攻複合再研磨機等等。我們的產品涵蓋了從民生 刀具到工業級的刀具設計；從微細刀具到大型刀具；從小型生產到大型量產；全自動整合；我們的技術可提供您連續生產的效能，我們整體的服務及卓越的技術，恭 迎您親自體驗！！

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本文摘自：美國 American Machinist 雜志 作者：Charles Bates

        內圓磨削与外圓和表面磨削是完全不同的。由于孔內加工的砂輪的外形，加工車間必須特別注意砂輪和工件的接触面積，更要注意砂輪与工件之間的關系——砂輪速 度，工件速度，砂輪軸的剛性和其他操作因素。
        大多數的車間都以為對一個特定的工件來說，選擇正确的內圓磨削砂輪只与要磨削的材料有關。然而在很多情況下，這是錯誤的，Saint-Gobain Abrasives（www.saint-gobain.com）的一位應用工程師Bill Bednarski說。

        試想一家車間使用32A氧化鋁砂輪（一种非常鋒利的單晶体磨粒）來磨削硬質工具鋼，然后用同樣規格的砂輪來進行內部磨削操作。就會看到震顫和磨削過熱的現 象。另外為了保証砂輪正常的工作，操作員在加工一個零件時就必須對砂輪做好几次修整。另一方面，如果車間使用25A砂輪（更加易碎的磨粒等級J級，軟兩 級）來進行內圓磨削就會消除震顫和磨削過熱，砂輪修整次數也減少到一個零件一次。
        但Bednarski說在為內圓磨削選擇磨粒和等級時，除了要磨削材料及其硬度外，還有其他几項因素是車間必須考慮的，磨削去除量，磨削精度和表面光洁 度，接触面積，砂輪尺寸，工件速度，砂輪速度和操作因素以及磨削系統的剛性。
        工件的材料
        工件材料的硬度等級和應力裂紋主要影響了磨粒的選擇，尺寸和砂輪的等級。硬質材料會抵抗磨粒的滲入而使砂輪很快變鈍。因此，更加堅硬的工件材料，更多的操 作者會選擇更軟等級的易碎磨粒砂輪。軟等級砂輪的磨料磨粒邊鈍后會掉下來，暴露出新的磨削顆粒。
        下面是几种給定材料的磨料選擇
        ◆ 氧化鋁或CBN磨料砂輪用于高抗拉強度材料，例如碳鋼，合金鋼和高速鋼。
        ◆ 碳化硅或金剛石磨料砂輪用于低抗拉強度的材料，例如鑄鐵，軟青銅和鋁，以及硬質合金。
        ◆ 金剛石砂輪用于非金屬材料，例如高密度陶瓷，碳化硼，碳化鈣和硼硅酸玻璃。
        按照斷裂特性可以分為三种碳化鋁磨料：
        ◆ 深色、耐用氧化鋁（57A）和單晶体氧化鋁（32A）用于鋼制零件的一般內部磨削。
        ◆ 白色、易碎氧化鋁（38A）非常适合特硬鋼的干磨削或輕磨削，因為它的冷卻和自修整作用。（當磨削壓力增大后易碎磨料會斷裂，暴露出鋒利的切邊）
        ◆ 粉色氧化鋁（25A）磨削特性与38A很相似并且顯示出很好的外形保持特性。
        另外，53A是黑色氧化鋁和白色氧化鋁的混合，其特性界于57A 和38A之間。
        磨削量，磨削精度和表面光洁度
        按常規，粗糙的磨粒用于高磨削率，因為這樣的砂輪通常允許大的磨削量。但是，如果工件材料是硬制鋼或一些其他很難滲入的合金，則應該使用略微精細的磨料， 由于与工件有更多的磨削點，砂輪會更加快速的進行磨削。
        為保持尺寸精度，非磨削砂輪是很重要的。非磨削砂輪有相當小的壓力，并且在精密加工時是非常重要的影響因素。例如，一個內圓需要0.005英寸到 0.008英寸的圓角半徑，砂輪磨料尺寸應當為100到150。在光洁度操作中，通常是更好的光洁度需要更加精細的磨料尺寸和冷卻磨削砂輪。冷卻磨削可以 使磨削熱產生的變形減小到最少，并且可以快速和一致的生產精密零件。
        接触面積
        与外圓磨削相比，內圓磨削具有更加大的接触面積。尤其在小孔磨削時，因此需要使用比孔略小的砂輪。与工件的接触面大必須使用相對軟等級的砂輪，并具有開式 結构以提供充足的磨屑清理空間。
        關于砂輪的尺寸，過大的砂輪會有低壓力和變鈍的問題。過大尺寸的砂輪還會阻止冷卻液，導致磨削區域非常低的磨屑去除。相反，一個砂輪如果太小就不能有效率 的工作，因為沒有足夠大的磨削面積，并且由于工作在過大壓力下會過度磨損。通常，當砂輪的尺寸磨損至原有尺寸的70%時就需要更換他們了。
        工件和砂輪的轉速以及操作因素
        工件相對砂輪旋轉越快，更大的力會加在砂輪上，兩者中軟的一者會起作用。相反，當砂輪尺寸增加時，施加在砂輪的力會減小，相對硬的砂輪的起作用。對 Bednarski來說，典型的砂輪速度大約在 8,500 sfpm,但可分布于4,500 到 12,500 sfpm。
        砂輪轉速因素
        ◆ 如果可以的話，保持正确的圓周速度并使用不變的表面速度。
        ◆ sfpm = 砂輪 rpm ×砂輪×0.2618
        ◆ 小的砂輪轉速會起到“軟作用”，而快的砂輪速度會起到“硬作用”
        工件速度的經驗法則
        ◆ 工件速度与砂輪速度的比率應當在25:1和65:1之間。
        ◆ 對于材料硬度為Rc50或者更小：sfpmwheel = sfpmwork ÷ 30。
        ◆ 對于材料硬度為Rc51或者更大：sfpmwheel = sfpmwork ÷ 55。
        操作因素
        ◆ 對硬度為Rc50或更軟的材料來說，橫進給率起點為：粗切率使用0.00015 英寸到0.00010英寸的每工件砂輪旋轉的去除率。光洁切除率采用0.00005 英寸到0.00003英寸。
        ◆ 對硬度為Rc51或更高的材料來說，橫進給率起點為：粗切率使用0.00010 英寸到0.00005英寸的每工件砂輪旋轉的去除率。光洁切除率采用0.00005 英寸到0.00003英寸。
        ◆ 震蕩率通常為75ipm到125ipm。起點，使用0.2×砂輪寬度× rpmwork
        磨削系統剛性
        成功的磨削系統需要剛性，選擇合适的砂輪軸或主軸是非常必要的。要确定正确的砂輪軸，加工車間必須考慮砂輪磨損。在允許砂輪磨削工件和被修整的前提下選擇 最短的。
        關于砂輪軸的長度与砂輪軸直徑的比率，使用盡可能最短的砂輪軸長度和最大的砂輪軸直徑。
        ◆ 比率小于3:1會產生可靠的性能和最短的加工時間。
        ◆ 比率界于3:1 到 6:1通常作為邊界選擇。
        ◆ 比率大于6:1會導致諸如饒度、錐度、震顫和長的加工時間。
        There are several other factors, besides the material to be ground and its hardness, that shops must consider when choosing the grain and grade for a grinding wheel for "inside" work. These factors include the amount of stock that is to be removed, grinding accuracy and surface finish, area of contact, wheel size, workpiece speed, wheel speed and operating factors and grinding system rigidity.

        The workpiece material degree of hardness and its susceptibility to cracking principally influences the choice of an abrasive grain, grain size, and the wheel grade. Hard materials resist the penetration of abrasive grains and cause them to dull quickly. Therefore, the harder the workpiece material, the more operators should use wheels with friable grains in softer grades. These softer grades permit abrasive grains to break away as they dull, exposing new, sharp cutting grains to the workpiece.

        As a rule, coarser grain sizes make for higher stock-removal rates because these wheels ordinarily permit heavier cuts. However, if the workpiece material is hardened steel or some other difficult-to-penetrate alloy, then a slightly finer, rather than coarser, grain wheel may cut faster because of the greater number of cutting points it presents to the workpiece.
        The contact area is much larger for internal or I.D. grinding compared with cylindrical or surface grinding. It is especially large in some small bore grinding, where it is necessary to use wheels just slightly smaller in diameter than the hole itself. A large area of contact with the workpiece necessitates using relatively soft-grade wheels with open structures to provide sufficient chip clearance.

表格：根据孔的尺寸推荐內圓磨床的砂輪尺寸
孔的直徑 (英寸)砂輪直徑(孔的尺寸的百分比計算% )

歡迎來到Bewise Inc.的世 界，首先恭喜您來到這接受新的資訊讓產業更有競爭力，我們是提供專業刀具製造商，應對客戶高品質的刀具需求，我們可以協助客戶滿足您對產業 的不同要求，我們有能力達到非常卓越的客戶需求品質，這是現有相關技術無法比擬的，我們成功的滿足了各行各業的要求，包括：精密HSS DIN切削刀具、協助客戶設計刀具流程、DIN or JIS 鎢鋼切削刀具設計、NAS986 NAS965 NAS897 NAS937orNAS907 航太切削刀具,NAS航太刀具設計、超高硬度的切削刀具、醫療配件刀具設計、複合式再研磨機、PCD地板專用企口鑽石組合刀 具、粉末造粒成型機、主機版專用頂級電桿、PCD V-Cut刀、捨棄式圓鋸片組、粉末成型機、航空機械鉸刀、主機版專用頂級電感、’汽車業刀具設計、電子產業鑽石刀具、木工產業鑽石刀具、銑刀與切斷複合再研磨機、銑刀與鑽頭複合再研磨機、銑刀與螺絲攻複合再研磨機等等。我們的產品涵蓋了從民生 刀具到工業級的刀具設計；從微細刀具到大型刀具；從小型生產到大型量產；全自動整合；我們的技術可提供您連續生產的效能，我們整體的服務及卓越的技術，恭 迎您親自體驗！！

BW Bewise Inc. Willy Chen willy@tool-tool.com bw@tool-tool.com www.tool-tool.com skype:willy_chen_bw mobile:0937-618-190 Head &Administration Office No.13,Shiang Shang 2nd St., West Chiu Taichung,Taiwan 40356 http://www.tool-tool.com / FAX:+886 4 2471 4839 N.Branch 5F,No.460,Fu Shin North Rd.,Taipei,Taiwan S.Branch No.24,Sec.1,Chia Pu East Rd.,Taipao City,Chiayi Hsien,Taiwan

Welcome to BW tool world! We are an experienced tool maker specialized in cutting tools. We focus on what you need and endeavor to research the best cutter to satisfy users’ demand. Our customers involve wide range of industries, like mold & die, aerospace, electronic, machinery, etc. We are professional expert in cutting field. We would like to solve every problem from you. Please feel free to contact us, its our pleasure to serve for you. BW product including: cutting tool、aerospace tool .HSS  DIN Cutting tool、Carbide end mills、Carbide cutting tool、NAS Cutting tool、NAS986 NAS965 NAS897 NAS937orNAS907 Cutting Tools,Carbide end mill、disc milling cutter,Aerospace cutting tool、hss drill’Фрезеры’Carbide drill、High speed steel、Compound Sharpener’Milling cutter、INDUCTORS FOR PCD’CVDD(Chemical Vapor Deposition Diamond )’PCBN (Polycrystalline Cubic Boron Nitride) ’Core drill、Tapered end mills、CVD Diamond Tools Inserts’PCD Edge-Beveling Cutter(Golden Finger’PCD V-Cutter’PCD Wood tools’PCD Cutting tools’PCD Circular Saw Blade’PVDD End Mills’diamond tool. INDUCTORS FOR PCD . POWDER FORMING MACHINE ‘Single Crystal Diamond ‘Metric end mills、Miniature end mills、Специальные режущие инструменты ‘Пустотелое сверло ‘Pilot reamer、Fraises’Fresas con mango’ PCD (Polycrystalline diamond) ‘Frese’POWDER FORMING MACHINE’Electronics cutter、Step drill、Metal cutting saw、Double margin drill、Gun barrel、Angle milling cutter、Carbide burrs、Carbide tipped cutter、Chamfering tool、IC card engraving cutter、Side cutter、Staple Cutter’PCD diamond cutter specialized in grooving floors’V-Cut PCD Circular Diamond Tipped Saw Blade with Indexable Insert’ PCD Diamond Tool’ Saw Blade with Indexable Insert’NAS tool、DIN or JIS tool、Special tool、Metal slitting saws、Shell end mills、Side and face milling cutters、Side chip clearance saws、Long end mills’end mill grinder’drill grinder’sharpener、Stub roughing end mills、Dovetail milling cutters、Carbide slot drills、Carbide torus cutters、Angel carbide end mills、Carbide torus cutters、Carbide ball-nosed slot drills、Mould cutter、Tool manufacturer.

Bewise Inc. www.tool-tool.com

よ うこそＢｅｗｉｓｅ　Ｉｎｃ.の 世界へお越し下さいませ、先ず御目出度たいのは新たな

情報を受け取って頂き、もっと各産業に競争力プラス展開。

弊 社は専門なエンド・ミルの製造メーカーで、客先に色んな分野のニーズ、

豊富な パリエーションを満足させ、特にハイテク品質要求にサポート致します。

弊社は各領域に供給できる内容は：

（１）精密ＨＳＳエンド・ミルのＲ＆Ｄ

（２）Carbide Cutting tools設計

（３）鎢鋼エンド・ミル設計

（４）航空エンド・ミル設計

（５）超高硬度エンド・ミル

（６）ダイヤモンド・エンド・ミ ル

（７）医療用品エン ド・ミル設計

（８）自動車部品＆材料加工向けエンド・ミル設計

弊社の製品の供給調達機能は：

（１）生活産業～ハイテク工業までのエンド・ミル設計

（２）ミクロ・エ ンド・ミル～大型エンド・ミル供給

（３）小Ｌｏｔ生産～大量発注対応供給

（４）オートメーション整備調達

（５）スポット対応～流れ生産対応

弊社の 全般供給体制及び技術自慢の総合専門製造メーカーに貴方のご体験を御待ちしております。

Bewise Inc. talaşlı imalat sanayinde en fazla kullanılan ve üç eksende (x,y,z) talaş kaldırabilen freze takımlarından olan Parmak Freze imalatçısıdır. Çok geniş ürün yelpazesine sahip olan firmanın başlıca ürünlerini Karbür Parmak Frezeler, Kalıpçı Frezeleri, Kaba Talaş Frezeleri, Konik Alın Frezeler, Köşe Radyüs Frezeler, İki Ağızlı Kısa ve Uzun Küresel Frezeler, İç Bükey Frezeler vb. şeklinde sıralayabiliriz.

BW специализируется в научных исследованиях и разработках, и снабжаем самым высокотехнологичным карбидовым материалом для поставки режущих / фрезеровочных инструментов для почвы, воздушного пространства и электронной индустрии. В нашу основную продукцию входит твердый карбид / быстрорежущая сталь, а также двигатели, микроэлектрические дрели, IC картонорезальные машины, фрезы для гравирования, режущие пилы, фрезеры-расширители, фрезеры-расширители с резцом, дрели, резаки форм для шлицевого вала / звездочки роликовой цепи, и специальные нано инструменты. Пожалуйста, посетите сайт  www.tool-tool.com  для получения большей информации.

BW is specialized in R&D and sourcing the most advanced carbide material with high-tech coating to supply cutting / milling tool for mould & die, aero space and electronic industry. Our main products include solid carbide / HSS end mills, micro electronic drill, IC card cutter, engraving cutter, shell end mills, cutting saw, reamer, thread reamer, leading drill, involute gear cutter for spur wheel, rack and worm milling cutter, thread milling cutter, form cutters for spline shaft/roller chain sprocket, and special tool, with nano grade. Please visit our web  www.tool-tool.com  for more info.

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本文摘自：美國 American Machinist 雜志 作者：Charles Bates

        內圓磨削与外圓和表面磨削是完全不同的。由于孔內加工的砂輪的外形，加工車間必須特別注意砂輪和工件的接触面積，更要注意砂輪与工件之間的關系——砂輪速 度，工件速度，砂輪軸的剛性和其他操作因素。
        大多數的車間都以為對一個特定的工件來說，選擇正确的內圓磨削砂輪只与要磨削的材料有關。然而在很多情況下，這是錯誤的，Saint-Gobain Abrasives（www.saint-gobain.com）的一位應用工程師Bill Bednarski說。

        試想一家車間使用32A氧化鋁砂輪（一种非常鋒利的單晶体磨粒）來磨削硬質工具鋼，然后用同樣規格的砂輪來進行內部磨削操作。就會看到震顫和磨削過熱的現 象。另外為了保証砂輪正常的工作，操作員在加工一個零件時就必須對砂輪做好几次修整。另一方面，如果車間使用25A砂輪（更加易碎的磨粒等級J級，軟兩 級）來進行內圓磨削就會消除震顫和磨削過熱，砂輪修整次數也減少到一個零件一次。
        但Bednarski說在為內圓磨削選擇磨粒和等級時，除了要磨削材料及其硬度外，還有其他几項因素是車間必須考慮的，磨削去除量，磨削精度和表面光洁 度，接触面積，砂輪尺寸，工件速度，砂輪速度和操作因素以及磨削系統的剛性。
        工件的材料
        工件材料的硬度等級和應力裂紋主要影響了磨粒的選擇，尺寸和砂輪的等級。硬質材料會抵抗磨粒的滲入而使砂輪很快變鈍。因此，更加堅硬的工件材料，更多的操 作者會選擇更軟等級的易碎磨粒砂輪。軟等級砂輪的磨料磨粒邊鈍后會掉下來，暴露出新的磨削顆粒。
        下面是几种給定材料的磨料選擇
        ◆ 氧化鋁或CBN磨料砂輪用于高抗拉強度材料，例如碳鋼，合金鋼和高速鋼。
        ◆ 碳化硅或金剛石磨料砂輪用于低抗拉強度的材料，例如鑄鐵，軟青銅和鋁，以及硬質合金。
        ◆ 金剛石砂輪用于非金屬材料，例如高密度陶瓷，碳化硼，碳化鈣和硼硅酸玻璃。
        按照斷裂特性可以分為三种碳化鋁磨料：
        ◆ 深色、耐用氧化鋁（57A）和單晶体氧化鋁（32A）用于鋼制零件的一般內部磨削。
        ◆ 白色、易碎氧化鋁（38A）非常适合特硬鋼的干磨削或輕磨削，因為它的冷卻和自修整作用。（當磨削壓力增大后易碎磨料會斷裂，暴露出鋒利的切邊）
        ◆ 粉色氧化鋁（25A）磨削特性与38A很相似并且顯示出很好的外形保持特性。
        另外，53A是黑色氧化鋁和白色氧化鋁的混合，其特性界于57A 和38A之間。
        磨削量，磨削精度和表面光洁度
        按常規，粗糙的磨粒用于高磨削率，因為這樣的砂輪通常允許大的磨削量。但是，如果工件材料是硬制鋼或一些其他很難滲入的合金，則應該使用略微精細的磨料， 由于与工件有更多的磨削點，砂輪會更加快速的進行磨削。
        為保持尺寸精度，非磨削砂輪是很重要的。非磨削砂輪有相當小的壓力，并且在精密加工時是非常重要的影響因素。例如，一個內圓需要0.005英寸到 0.008英寸的圓角半徑，砂輪磨料尺寸應當為100到150。在光洁度操作中，通常是更好的光洁度需要更加精細的磨料尺寸和冷卻磨削砂輪。冷卻磨削可以 使磨削熱產生的變形減小到最少，并且可以快速和一致的生產精密零件。
        接触面積
        与外圓磨削相比，內圓磨削具有更加大的接触面積。尤其在小孔磨削時，因此需要使用比孔略小的砂輪。与工件的接触面大必須使用相對軟等級的砂輪，并具有開式 結构以提供充足的磨屑清理空間。
        關于砂輪的尺寸，過大的砂輪會有低壓力和變鈍的問題。過大尺寸的砂輪還會阻止冷卻液，導致磨削區域非常低的磨屑去除。相反，一個砂輪如果太小就不能有效率 的工作，因為沒有足夠大的磨削面積，并且由于工作在過大壓力下會過度磨損。通常，當砂輪的尺寸磨損至原有尺寸的70%時就需要更換他們了。
        工件和砂輪的轉速以及操作因素
        工件相對砂輪旋轉越快，更大的力會加在砂輪上，兩者中軟的一者會起作用。相反，當砂輪尺寸增加時，施加在砂輪的力會減小，相對硬的砂輪的起作用。對 Bednarski來說，典型的砂輪速度大約在 8,500 sfpm,但可分布于4,500 到 12,500 sfpm。
        砂輪轉速因素
        ◆ 如果可以的話，保持正确的圓周速度并使用不變的表面速度。
        ◆ sfpm = 砂輪 rpm ×砂輪×0.2618
        ◆ 小的砂輪轉速會起到“軟作用”，而快的砂輪速度會起到“硬作用”
        工件速度的經驗法則
        ◆ 工件速度与砂輪速度的比率應當在25:1和65:1之間。
        ◆ 對于材料硬度為Rc50或者更小：sfpmwheel = sfpmwork ÷ 30。
        ◆ 對于材料硬度為Rc51或者更大：sfpmwheel = sfpmwork ÷ 55。
        操作因素
        ◆ 對硬度為Rc50或更軟的材料來說，橫進給率起點為：粗切率使用0.00015 英寸到0.00010英寸的每工件砂輪旋轉的去除率。光洁切除率采用0.00005 英寸到0.00003英寸。
        ◆ 對硬度為Rc51或更高的材料來說，橫進給率起點為：粗切率使用0.00010 英寸到0.00005英寸的每工件砂輪旋轉的去除率。光洁切除率采用0.00005 英寸到0.00003英寸。
        ◆ 震蕩率通常為75ipm到125ipm。起點，使用0.2×砂輪寬度× rpmwork
        磨削系統剛性
        成功的磨削系統需要剛性，選擇合适的砂輪軸或主軸是非常必要的。要确定正确的砂輪軸，加工車間必須考慮砂輪磨損。在允許砂輪磨削工件和被修整的前提下選擇 最短的。
        關于砂輪軸的長度与砂輪軸直徑的比率，使用盡可能最短的砂輪軸長度和最大的砂輪軸直徑。
        ◆ 比率小于3:1會產生可靠的性能和最短的加工時間。
        ◆ 比率界于3:1 到 6:1通常作為邊界選擇。
        ◆ 比率大于6:1會導致諸如饒度、錐度、震顫和長的加工時間。
        There are several other factors, besides the material to be ground and its hardness, that shops must consider when choosing the grain and grade for a grinding wheel for "inside" work. These factors include the amount of stock that is to be removed, grinding accuracy and surface finish, area of contact, wheel size, workpiece speed, wheel speed and operating factors and grinding system rigidity.

        The workpiece material degree of hardness and its susceptibility to cracking principally influences the choice of an abrasive grain, grain size, and the wheel grade. Hard materials resist the penetration of abrasive grains and cause them to dull quickly. Therefore, the harder the workpiece material, the more operators should use wheels with friable grains in softer grades. These softer grades permit abrasive grains to break away as they dull, exposing new, sharp cutting grains to the workpiece.

        As a rule, coarser grain sizes make for higher stock-removal rates because these wheels ordinarily permit heavier cuts. However, if the workpiece material is hardened steel or some other difficult-to-penetrate alloy, then a slightly finer, rather than coarser, grain wheel may cut faster because of the greater number of cutting points it presents to the workpiece.
        The contact area is much larger for internal or I.D. grinding compared with cylindrical or surface grinding. It is especially large in some small bore grinding, where it is necessary to use wheels just slightly smaller in diameter than the hole itself. A large area of contact with the workpiece necessitates using relatively soft-grade wheels with open structures to provide sufficient chip clearance.

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弊社は各領域に供給できる内容は：

（１）精密ＨＳＳエンド・ミルのＲ＆Ｄ

（２）Carbide Cutting tools設計

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（４）航空エンド・ミル設計

（５）超高硬度エンド・ミル

（６）ダイヤモンド・エンド・ミ ル

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弊社の製品の供給調達機能は：

（１）生活産業～ハイテク工業までのエンド・ミル設計

（２）ミクロ・エ ンド・ミル～大型エンド・ミル供給

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磨削(Grinding)是一種利用磨輪(Grinding Wheel)作高速旋轉及微小深度（微小量），磨削工件表面或內孔，以獲得精密形狀及表面粗度的加工技術。

磨削加工的特色：

(1) 每一顆微細磨粒，其作用相當於一把細微刀刃，磨削加工，如同無數細微刀刃同時切削。

(2) 可磨削硬脆材料，如硬化鋼、玻璃、碳化物及陶瓷等。

(3) 磨削去除率小(Low Material Removal Rate)

(4) 磨削速率(Cutting Speed)大，進給率(Feed Rate)及磨削深度(Depth of cut)均小，因此比馬力(Specific Horse Power)相當大

HPs (Specific Horse Power)=HP(Horse Power)/MRR(Material Removal Rate)

10-2 深進緩給磨削(Creep Feed Grinding)

所謂深進緩給磨削(Creep Feed Grinding)簡稱(C.F.G)，與一般的平面磨削不一樣，磨削深度(Depth of cut)增加數倍至數十倍，而進給率(Feed Rate)以相同的倍數減慢，可以增加磨削速率及增進工作表面粗度的磨削技術。CFG機制示意圖，如圖（一）所示。

圖一 CFG機制示意圖

CFG磨床之特色：

(1) 磨削深度（即磨削量）大，具備減震裝置(Damping Device)，以維持靜，動平衡。

(2) 軟質磨輪增進工件表面粗度。

(3) 為保持磨輪表面，不被磨屑阻塞，經常保持在銳利狀態，因此在其上方按裝表面含有鑽石磨粒之整修砂輪(Dressing Wheel)，在製程中，不斷整修磨輪，使其保持真圓度及銳利狀態，以維持工件品質之穩定性。

(4) 為維持一定的切削速率(Cutting Speed)及磨削深度，磨輪轉速不但可以無段變速，並且能夠自動下降以獲得理想且一致的工件品質。

10-3 電解磨削(Electrolytic Grinding)

電解研削(ECG)是由電解加工，亦可稱為電化學加工(Electro Chemical Machining簡稱ECM)，亦就是反電鍍(Deplating)加工與機械磨削(Mechanical Grinding)所組合之複合加工。電解磨削是1952年美國G.F Keeleric 研發成功。

電解加工原理

電解 加工在原理上是將電鑄的陽極金屬溶解現象應用於金屬加工，將預先成形為所定形狀的電極隔著微小間隙(0.2~0.3mm)與被加工物表面相向，並壓送電解 液(electrolyte)，流速5~20m/s，以電極(electrode)為陰極，被加工物為陽極，施加一定的直流電壓(5~20V)，則經電解 液而通電流，被加工物從接近電極的部份開始電解，同時使電極以一定速度(0.5~3.0mm/min)向被加工物送入，達預先設定的加工深度時，即得所希 望的加工形狀。

電解加工的特色

(1) 可同時加工廣大面積之工件。

(2) 不拘被加工物的機械性質，都可加工。

(3) 不發生熱變形、加工應變、加工變質層。

(4) 單一工程即可雕出複雜形狀工件。

(5) 電極不消耗。

(6) 加工面粗糙度良好。

(7) 加工速度比放電加工(EDM)快5~10倍。

電解加工的應用

(1) 鍛造模、玻璃模、橡膠模等的雕形加工。

(2) 溝加工、斜面、輪廓加工、深孔加工等傳統加工法的效率差者。

(3) 難切削材料的加工。

(4) 去除毛邊，傷痕等不可能用機械加工的加工。

電解研削機構示意圖如圖（二）所示

圖 （二) 電解磨削機構示意圖

電解磨削原理示意圖如圖（三）所示

（圖 三） 電解磨削原理示意圖

電解磨削係利用金屬結合劑及微細鑽石磨料所組成的導電性砂輪同時進行電解加工與機械研削的方式，砂輪的導電部份 為陰極，被加工物為陽極，接直流電源，在兩者的間隙通電解液，在被加工物與砂輪的導電性結合材料之間進行電解加工，不易電解的物質或被加工而生成的不動態 皮膜（即金屬氧化膜），用磨料以機械研削除去，加工量的比率是電解加工量90﹪、機械研削量10﹪。磨料突出量為0.05mm以下，這可防止兩極的短電 路，並保持電解液通路必要的間隙。

當進行粗、中等加工後，停供電解電流，只以機械研削細加工而提高加工精度的方式—此方式是利用電解研削 的高效率，除去加工量後，停止電解加工，不更換砂輪，以同一砂輪繼續細磨。而得到期望的表面精度。電解液可提高電解研削速率，磨料微粒為不導電的材料， 如：鑽石、三氧化二鋁（Al₂O₃）及晶方氮化硼（CBN）。

10-4 電解拋光（Electrolytic Polishing）

所謂電解拋光，即是將工件放置陽極，於電解液中通電，在適當操作參數下，使工 件發生電解反應（亦稱反電鍍），工件表面而因電場集中效應而產生溶解作用，因而可達成工件表面平坦與光澤化之加工技術。電解拋光機制示意圖如圖（四）所 示：

圖（四）電解拋光機制示意圖

電解拋光技術於1931年，由D.A.Jacquet發明採行。 「電解拋光」技術可廣泛運用在半導體製程設備、化工、航太以及其他高精密等表面處理加工。

電解拋光應用範圍：

(1) 可處理銅、黃銅、鉛、鎳、鈷、鋅、鍚、鋁、不銹鋼、鐵、鎢等材料。

(2) 電解拋光技術廣泛應用於半導體/LCD等級閥件、管配件、接頭、IGS之表面處理。

(3) 電解拋光可達鏡面級光澤，拋光後產品表面可達Ra=0.2~0.5μm。

(4) 不銹鋼電解拋光表面可生成鈍化層，有效提昇抗腐蝕能力。

電解拋光成品如相片（一）所示：

相 片（一）電解拋光成品

工研院機研所，兩年來，在沒有技術引進情況下，自行設計、開發夾治具、電解液和設立實驗室，摸索出世界最新穎的表面 處理「電解拋光」關鍵技術。機械所目前已建立電解拋光實驗室，擁有內外孔電解拋光設備，除開發閥件內孔電解拋光技術外，更將觸角延伸至管件內孔電解拋光高 級技術發展，期能建立我國紮實的電解拋光加工能力。

近年，國內半導體製造業蓬勃發展，但半導體製程設備工業卻遠遠落後，詳究其原因，主要 在於國內缺半導體製程設備所需的精密表面加工技術。電解拋光應用於半導體製程設備中的控制閥內流道、廠務配管流道、反應腔壁表面之處，凡與製程氣體接觸之 處理都需要電解拋光加工處理，應用範圍多且廣。將電解拋光應用於半導體製程設備的目的有三，一為可生成抗蝕鈍化層，二為可產生高度潔淨表面，三為可鏡面拋 光降低粗糙度。為建立電解拋光操作參數，機械所是從電流密度、電壓、通電時間、溫度、流速、電解液配方、比例、添加劑等，來了解其對鈍化抗蝕性的影響，並 委託清華大學進行電解拋光試片抗蝕性研究，已實驗完成且有不錯的成果。機械所在電解拋光高度潔淨表面研究方面，則從製程和步驟著手，包括前處理溶液清洗、 鹼洗除油、酸洗除銹、電解液潔淨和控制、後處理化學清洗，以及在無塵室進行超化學液配方、溫度、操作時間、角度等研究。

電解拋光效益（創 造產值）：

(1) 為一具備機械、電控、熱流、材料化工高度整合性技術。

(2) 1999年時國內半導體業者需求與EP有關之閥件、管配件等零組件消耗品總金額為67.5億，其中EP技術產生價值約佔22%，總值約為15億。

10-5 化學機械拋光（Chemical Mechamical Polishing，簡稱CMP）

CMP機器之構造圖及製程示意圖如圖（五） 及圖（六）所示：

圖（五）CMP機器構造簡圖

圖 （六）CMP製程示意圖

CMP是將工件壓在旋轉之彈性襯墊（研磨墊）上，利用相對運動加工之拋光技術。將具有腐蝕性之加工液供給到工件 上，當工件進行腐蝕加工（化學性）時，同時供給超微磨粒（直徑100奈米以下）拋光（機械性）材料，對工件之凸部進行選擇性的拋光操作，故稱機（械）化學 拋光或化學機械拋光。

在LSI往微細、高積體化發展之同時，形成於矽表面之裝置構造也有多層化，其表面凹凸變大之傾向。為了實現多層化裝 置之配線的高信賴性、高成功率，在裝置製造之過程中，每一層表面之凹凸必須很平坦化（Planarization）。

平坦化過程之概念 圖，如圖（七）所示：

在矽晶片上所形成內部配線之突出氧化膜部分，利用包含超磨粒拋光材之拋光襯墊進行拋光加工後，便會逐漸平坦。

圖 （七）平坦化過程之概念圖

化學機械研磨（CMP）技術因其擁有全面平坦化（Global Planarization）的優勢，因此在近年來成為各大IC相關產業競相研發之技術。

傳統的平坦化技術以Spin On Glass（SOG）和Resist Etchback（REB）技術為主但在0.25μm以下IC製程SOG及REB技術並無法達到全面平坦化（Global Planarization）的目標，因此極需尋找新平坦化技術，化學機械研磨技術經由IBM及Intel等公司積極研發，在近年來已成為全面平坦化的新 興技術。它不僅可以達成全面平坦化的目標，同時可增加元件設計的多樣性，如可將銅及鎢納入新元件設計中且可減少缺陷。圖（八）乃各IC平坦化技術之比較， 由此圖可看出CMP在全面平坦化技術的優勢。

圖 （八）平坦化技術

圖（四）說明積體電路不同製程的平坦化能力。以積體電路產品16M（百萬）DRAM的晶方邊長在拾厘米以上，因此理想的 平坦化距離也需要拾厘米以上長度，在製程上最早應用的硼磷玻璃回填（BPSG Reflow）平坦化技術，除了高溫限制在金屬化前的使用外，平坦化距離僅能適合數微米長。旋塗玻璃(Spin on Glass)是二層金屬連線製程最常使用的平坦化技術，其平坦化距離僅及10微米長。以沈積／蝕刻交替及電子迴旋電漿（ECR）沈積薄膜非常適合深次微米 製程中的填隙，如搭配化學機械研磨（Chemical Mechanical Polishing）則可完全應用在多層連線的製造，以阻劑填平後蝕刻（Resist Etch Back）的平坦化技術，因沒有塗佈玻璃材質的吸水性及有機物揮發等問題，故為美、日的主要積體電路製造商在高可靠度產品應用的平坦化技術。由於阻劑填平 的平坦化間距僅及百微米範圍，及綜合圖(八)的比較，化學機械研磨就成為全面平坦化的最佳選擇。

0.25μm以下製程不可或缺之平坦化設 備，化學機械研磨機在中科院主導及相關業者之協又合作F商品化研磨機已進入市場。以 二氧化矽為主要成分的絕緣介質在CMP所使用的研磨劑目前Cabot公司所製造之研磨液系列產品為多數廠商所接受。Cabot公司能佔有研磨液，大部份市 場乃因其能自行製造之高純度且穩定性佳Sio₂粉末。同時Cabot公司擁有研磨液所需發展之技術即研磨粉末製造技術，研磨粉末分 散技術及研磨液配方投術。

研磨液乃是用來研磨二氧化矽介電層，BPSG介電層、淺溝隔絕層（Shallow Trench Isolation）及Polysillicon薄膜層之研磨液。研磨液一般包含下列組成SiO₂研磨粉末（平均粒徑根據不同配方 約在100nm左右），固含量約10~30%，PH值約在9.0~11.0（由KOH或NH₄OH調整），以及去離子水約70%。

以介電薄膜研磨所使用之SiO₂研磨液為例，在PH值固定時，當研磨液的SiO₂研磨粉末 之含量或粒徑大小增加時，其研磨速率亦相對增加，如圖（九）所示，然而若其增加比例過高，亦會刮傷薄膜表面。當PH值增加時，研磨速率亦會隨之增加，然而 額外之化學反應亦會提高，因而降低研磨薄膜之平坦度。

圖 （九）介電膜研磨速率與SiO₂研磨劑組成之關係

而CMP技術所使用之研磨墊－PU Pad，大體來說有兩種功能，一是研磨墊之孔隙度可協助研磨液於研磨過程輸送到不同區域，另一種功能乃是協助將晶片表面之研磨產物移去。研磨墊之機械性質 會影響到薄膜表面之平坦度及均勻度，因此控制其結構及機械性質是十分重要的。

研磨墊則是研磨劑外的另一個重要消耗材，由於積體電路製程的 目的是平坦化，異於傳統光學玻璃與矽晶圓的拋光作用。圖（四）平坦化過程的示意圖，平坦化的作用即要將晶圓表面輪廓凸出部份削平，達到全面平坦化。理想的 研磨墊是觸及凸出面而不觸及凹面，達到迅速平坦化的效果。就研磨墊的應用言，其材料的化性需求較為單純，一般僅具備耐酸鹼，持久穩定即可。但在物性條件則 相當複雜。Rodel 的研磨墊Suba系列產品為美國Sematech等所評定，適合CMP製程應用。此Suba系列的材質為Polyurethane Impregnated Polyster Felts。上述的PU材料，具多孔性及一定的硬度。如圖（四）所示，研磨墊的壓縮性差異，形成不同的垂直與水平變形，軟性的研磨墊，因變形而容易觸及凹 面，形成平坦度較差的現象。Rodel另一系列的IC(品名)產品，具較低壓縮性，較高硬度的研磨墊，可以有效提昇平坦度的效果，但其均勻度的控制則變差 了。使用IC 1000/Suba IV的組合墊則兼顧了平坦度與均勻度的效果，也就成為今日對氧化矽薄膜在CMP製程的主要研磨墊。穩定的製程除了選擇適當的研磨墊外，適當的保養則是必要 的過程。在研磨過程中，研磨墊表面材質也會耗損，變形。另外表面堆積的反應物也需妥當的排除。因此在使用中，如無適當的處理，研磨墊表面將呈現快速老化， 造成蝕刻率衰退等現象。為了解決研磨墊的老化問題，現代的CMP機台都具備『研磨墊整理器』，具備與研磨過程同步整理或定時整理的功能。

化 學機械研磨製程控制

RR=Kp．P．V

其中RR為蝕刻率，P為晶圓上的施加壓力，而V為相對線性速率。Kp則稱為 Preston常數，此簡單的Preston方程式說明蝕刻率與壓力、線性速度成正比關係外，其他物性、化性及機械參數及特性都隱藏在Preston常數 內。在良好的機台參數控制下，一般氧化層膜的製程控制範圍都可適用Preston方程式。典型的例子如圖十所示。由圖上可以看出氧化矽膜的蝕刻率與施加壓 力呈正比的線性關係，另外在不同設定的轉速下亦都呈現正比的線性關係，其斜率則隨著轉速而增加。圖（十一）即在固定的施壓下，蝕刻率與平台轉速的關係。一 般實驗結果可以得到線性但非正比關係。

圖 （十）熱氧化矽薄膜的CMP蝕刻率與壓力關係圖

圖 （十一）熱氧化矽的CMP蝕刻率與磨盤轉速的關係圖

10-6 製程中電解削銳(Electrolytic In-Process Dressing，簡稱ELID研磨)

電子零件等功能材料之進步是有目共睹的，但對於各種素材零件之加工精度要求則是愈來愈嚴格。其加工 技巧之磨料加工技術的研磨、拋光方面，對於高效率、高精度、高品位、超精密、自動化等之期望也很高，滿足其要求的加工技術之一為ELID研磨法。

ELID 研磨法為金屬結合砂輪的削銳方法之一，利用電氣化學作用所產生之電解溶出現象，在研磨加工中也可以連續地進行削銳，以保持穩定的銳利度。

圖 （十二）所示為平面磨床使用ELID研磨法時之示意圖。電解削銳是對與研磨加工無關之砂輪部份，在砂輪和電極之間產生電氣化學反應而進行的。

圖 （十三）所示為ELID研磨時之砂輪表面狀態的示意圖。

(a) 為砂輪剛削正後之狀態。

(b) 為在研磨加工之前僅實施削銳操作，利用電解方式，使砂輪之結合劑溶解的狀態。

(c) 為隨著電解之進行，不導電薄膜產生，結合劑之溶解被抑制。

(d) 是由於加工之進行，磨料發生磨耗，不導電薄膜也被剝離之狀態。

(e) 是不導電薄膜變薄，導電性回復，結合劑之溶解再度開始，而露出磨粒。

由於這些作用之反覆進行，使砂輪可以保持良好的銳利度。

圖（十二）使用ELID研磨法之平面磨床示意圖

圖 （十三）ELID研磨時之砂輪表面狀態示意圖

依據工研院微機電部H.Y.Lin及F.Y.Chang等人89年11月1~2日發表於第四 屆奈米工程暨微系統技術研討會之論文：

The Surface Morphology and Sub-surface Characteristics of ELID-Ground Single Crystal Silicon.

利用ELID鑽石磨輪 研磨直徑300-400mm之矽晶圓，可獲得所期望的表面粗度與平坦度(flatness)其研磨結果則視電流、電壓、磨輪轉速、材質、磨粒粗細、進給率 及工作台轉速而決定。Nachi RGS20N ELID研磨機之示意圖如圖（十四）所示：

圖 （十四）Nachi RGS20N ELID研磨機示意圖

通常磨輪之磨粒越細，則研製工件之表面粗度越好，然而磨輪表面越容易被切屑 (Chip)堵塞而變成不銳利，因此必需定時停機清理削銳，如此一來就造成加工不方便及損失，因此Ohmori提供ELID研磨法，使得在研磨過程中，經 常保持磨輪在銳利狀態，因即可獲得穩定又理想之工件表面粗度。

相片（二）（三）（四）（五）（六）為利用AFM(Atomic Force Micro Scope 電子力顯微鏡)、SEM(Scanning Electron Micro Scope 掃描電子顯微鏡)及HRTEM(High Resolution Transmission Electron Micro Scope 高解析度穿透式電子顯微鏡)在不同加工參數條件下所得到之矽晶片表面狀況之相片。

相 片（二）ELID研磨之矽晶片　SEM（左） AFM（右）相片

（#6000 Diamond ,Wheel ，30V, 20A,2000/400rpm,2μm/min）

相 片（三）ELID研磨之矽晶片　HRTEM相片

（#6000 ,30V, 20A,2000/400rpm,2μm/min[110]）

相片（四）ELID研磨之矽晶片　AFM相片

（#6000 ,60V, 10A,3000/100rpm,8μm/min（左）,2μm/min（右））

相 片（五）ELID研磨之矽晶片　HRTEM相片

（#6000 ,60V, 10A,3000/100rpm,8μm/min[110]）

相片（六）ELID研磨之矽晶片　HRTEM相片

（#6000 ,60V, 10A,3000/100rpm,8μm/min[110]）

由於磨輪進給率不同，晶片表面之狀況也稍微不同，如圖（十三）所示，進給率 為8μm/min時，在晶片表面產生10-30nm（奈米）之非晶形薄層(amorphous layer)如圖（十四）所示，當進給率為2μm/min時，因磨耗較大，導致磨擦生熱，因此在晶片表面產生80μm之非晶形薄層，同時在基底下形成 200nm之差排薄層(dislocation layer)

Reference：

(1) 機械所無師自通電解拋光技術 經濟日報(88.11.28)

(2) 微細加工技術 復漢出版社

(3) 電解拋光技術 工研院機研所

(4) The Surface Morphology and Sub-surface Characteristics of ELID-Ground Single Crystal Silicon.

H.Y.Lin and F.Y.Chang 第四屆奈米工程暨微系統技術研討會之論文集

(5) MATERIALS AND PROCESSES IN MANUFACTURING E.Paul De Garmo

(6) VLSI 製程概論 陳志芳 工業技術人才培訓計劃講義

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