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  • 1、旋盤とは


     リンゴの皮をむくという動作を考えたとき、右利きの人は左手にリンゴ、右手にナイフを持ち、左手でリンゴを回転させ右手でナイフの角度を調節しながら皮をむきます。
     旋盤はこれと同じで、工作物(リンゴに相当)を回転させバイト(ナイフに相当)を移動することにより切削する(削り取る)機械です。バイトとは旋盤で切削に使用する刃物のことをいいます。
     この画像は旋盤でステンレス鋼の丸棒を切削加工している様子です。このように、材料を回転させて、刃物台に取り付けたバイトを動かす(後の項で解説します)ことによって加工します。


    コラム・・・

    近代的旋盤誕生までの歴史


      近代の旋盤は産業革命のイギリスで1780年頃モーズレによって発明されました。この旋盤は土台も含めて全て鉄製で、ネジ切り機構が付いていることが大き な特徴です。第一号機は主軸が右側にありましたが第二号機以降は主軸が左となり、現在と同じ配置になりました。この2~3年後にはそうした機械が作られた という話しを聴いただけでモーズレと同じ近代的旋盤が次々と、しかも独自に作られました。この時代はまさに近代的旋盤が生まれる条件が熟していた分けで す。
     工作物を回転させて何らかの加工を施すものを広い意味で旋盤と定義すれば、ミケーネ文明の出土品から旋盤で加工されたと思われるものがあり、エジプトの壁画には2名で操作する旋盤が描かれています。
      旋盤は時計の発明(14世紀)とともに大きく発展し、精度の高い歯車などの加工を行いました。時計用の小型旋盤は王侯貴族の間で流行ったローズエンジン (卓上型の旋盤&形削り盤)へと発展し、様々な機構が試みられました。ルネッサンスの天才レオナルド・ダ・ビンチはネジ切り機やクランクを利用した足踏み 旋盤を考案しています。
     16世紀のイギリスでは木工旋盤(ポール旋盤)を使った装飾性の高い家具製造が広くおこなわれていました。
     モースレの旋盤が登場する前には、水車の力を利用した大形のシリンダー中ぐり盤(水車小屋の壁た基礎がそのまま機械のベースになっているウィルキンソンの中グリ盤)などがすでに存在していましたが、精度はまだまだ不十分でした。
     蒸気機関の効率改善をはかるために高精度の加工機械が求められていると共に、機械設備や工場を作るには「ネジ」が大量に必要でした。それを実現したのがモーズレの旋盤であったわけです。
     日本には古く中国から伝来し、鎌倉時代にすでに轆轤を使う木地職人を紹介した書物があります。
     しかし、江戸時代の鎖国によって西洋の技術はほとんど伝わらず、日本で近代的な旋盤が使われるのは幕末~明治維新まで待たなくてはなりませんでした。
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    2、旋盤はどのような加工が可能か



     旋盤は、工作物を回転させて加工するため、円筒形状を基本とする回転対称形状のものを作ることができます。円筒形状と一口に言っても左の図に示すように、様々な形状があり、ねじなどの螺旋形状の加工も可能です。
     左の図に旋盤による代表的な加工例をいくつか挙げているので、それについて簡単に説明します。
     材料の端面を切削する場合、片刃バイトで加工します。
    外周を切削する場合、片刃バイト、斜剣バイト、剣バイトで加工します。
    溝を入れたり、切り落としたりする場合、突切りバイトで加工します。
    ねじ加工の場合、おねじはおねじ切りバイト、めねじはめねじ切りバイトで加工します。
     円筒内面の場合は穴ぐりバイトで加工します。


    コラム・・・

    旋盤の種類


     モーズレの旋盤が誕生するや、同じ考えかたの近代的な旋盤が次々に生まれました。特に旋盤の大きさのバリエーションは早く、1820年には直径2mの面盤を備えた旋盤が登場しています。これはモースレの旋盤と共にロンドンの科学博物館にて見ることができます。
     時計部品を作るのに適した小型の卓上精密旋盤は芯押し台に様々な工具を取り付けて素早く交換するターレット旋盤へと発展し、大径加工の需要は正面旋盤や縦型旋盤へと発展していきました。
     変わった物としては船舶の機械部品補修用として積み込まれた船舶旋盤(シップレース)や、鉄道の車輪を加工するように左右に主軸を持った車輪旋盤、大きなクランクシャフトを加工するクランク旋盤など、需要に応じて次々と開発されていきました。
      モーズレが旋盤を発明して以後、旋盤の歴史にとって大きな転機は超硬合金とNC技術の発明だと考えます。 超硬合金はそれまでの「鋼」とは異なって、刃先 の鋭さは一歩譲って硬さと馬力で加工していきます。そのために、それまでの旋盤は剛性不足となり、これに合わせるように高い剛性の旋盤が登場しました。
     コンピュータ制御技術が発達すると、それを用いたNC旋盤が登場し、熟練技術者は不要とまで言われました。最近は旋盤とフライス盤の機能を持った複合型CNC工作機械が主流となっています。
     NC旋盤の登場で熟練工の行き場がなくなったかのように見られますが、実は、旋盤作業の切削条件を探し出す時には熟練工の経験と高度な「技」が必要でした。一時廃れていた技能オリンピックも再認識されてきました。
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    3、旋盤の構造と各部の働き


    右側の図は旋盤を正面から見たところ。左側の図は往復台の詳細です。旋盤は、上の図に示すように、主軸台、ベッド、往復台、心押台で構成されています。
    1)主軸台 
     主軸台には、主軸の回転数を変化させるために、複数の歯車が組み合わされた機構が装備されています。この他に刃物の送り量を調節するための送り軸、ねじ切り用の親ねじを主軸の回転と同期させ目的の送り量(ねじピッチ)を選択できる機構も装備されています。
    主軸には工作物を固定するためのチャックなどが取付けられるようになっています。
    2)ベッド
     ベッドには往復台や心押台を工作物の回転軸と平行に移動させる機能があります。ベッドに変形や磨耗があると精度の良い加工ができません。
    3)往復台
     往復台には、横送り台と刃物台が付いており、刃物台にはバイトが取付けられるようになっています。往復台又は刃物台を工作物の回転軸と平行に移動させることにより切削を行います。
      横送り台には刃物台を回転軸に対して直角に移動させる機構があり、これにより切り込みを与えます。刃物台を移動させる機構には、手動でハンドルを回し移動 させる機構と、主軸の回転に同期させ自動的に移動させる機構があります。ねじ切り加工は、ねじ切りレバーの操作により親ねじにハーフナットを噛合わせるこ とで行います。
    4)心押台
     心押台には長い材料の心振れを防ぐためのセンタ(ささえ)を取付けることができます。またドリルチャックを取付けることでドリルによる穴あけ加工ができます。
    5)旋盤の座標系
     工作機械の座標系は主軸をZとする三次元(XYZ)座標を用いるのが一般的です。旋盤では、主軸をZとすると、往復台の移動はZ座標、刃物台(横送り台)はX軸となります。


    コラム・・・

    横送り台?

    刃物台の横送り台、作業者から見ると縦方向に動かしているのになぜ横送り????と思ったことはありませんか。
     実は筆者も最初「縦送りなのに・・・」と不思議に思っていました。しかし、主人公は人間ではなくて「機械」なんですね。機械の主軸から見て主軸に直交した座標面で動く刃物台は「横送り」なんです。
     ちなみに、旋回刃物台の上の「手送り台」には座標名がありません。主軸から見ればいくの向きが一定してないので当然ですね。
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    4、材料の取付け方


    旋盤に材料を取付けるために、様々な道具が準備されています。材料に適した取り付けの道具を選択することは、加工目的を達成する上で非常に重要です。
     ここではその代表的な道具とその使用例を説明します。

    スクロールチャック(内爪)
    スクロールチャック(外爪)
    四つ爪(単動)チャック
    コレットチャック 




    1)スクロールチャック
     三爪チャック(スクロールチャック)は、三つの爪がスクロールに噛合っているため、同時に動きます。このため、円筒形状の材料をつかめば、主軸の回転中心と材料の回転中心が一致します。この時のメーカーの保証精度は0.2mm以内です。
     チャックの爪には、外爪・内爪・生爪があり、用途に応じて付け替えて使用します。
     内爪は、上の図のように棒状の材料をつかむのに使用します。外爪はフランジなど円盤状の材料をつかむのに使用します。これらは何れも硬く焼きが入っていて、耐久性があります。これらを硬爪とも言います。
     この爪に代わって、焼きの入っていない生の鉄で作られた爪を「生爪」と言います。生爪は、つかみたい材料形状に合わせて爪を切削加工して使用します。生爪は硬爪より掴みの芯が正確に出ます。
    2)四爪チャック
      四爪チャックは、上の図のように爪が4個あり、それぞれの爪を独立して動かすことができます。故に単動チャックとも言います。しかし、スクロールチャック では微調整できない精密芯合わせも、四爪チャックなら可能です。これにより、材料の任意の位置を回転中心とすることができるため、偏心加工や円筒形状でな い材料の固定もできます。また材料を強くつかむことができるので重量物の切削や重切削にも適しています。
     四爪チャックの爪は、反転させることにより内爪・外爪として使用できるようになっています。
    3)コレットチャック
      三爪・四爪チャックが爪(小さな接触面積)で材料をつかむのに対し、コレットチャックは上の図のように円筒内面全体(大きな接触面積)で材料をつかむため 材料に傷がつきにくく、薄肉パイプや銅・銀・アルミ等柔らかい材料や、既に仕上がっている部分をつかむのに適しています。
     金工室ではφ1mmからφ20mmまで、0.5mm刻みでコレットチャックを用意しています。
    4)その他 古い旋盤ではもっぱら面盤や回し板とケレを使っていました。これらは機械工作マニュアルで紹介なかったのですが、旋盤による加工例に紹介しておきました。回し板とケレを使った両センタ加工なども機会があったら紹介します。


    コラム・・・

    モールステーパ


     旋盤の主軸と芯押し台の軸穴はモールステーパが使われています。芯押し台のモールステーパは、センタ、ドリルチャック、テーパドリルなどをワンタッチで交換できて、たいへん便利です。
     旋盤はモールステーパが使われていますが、機械にはモールステーパ以外にもいくつかのテーパが使われていて、取り替え時に芯が振れないように工夫されています。
     ドリルチャックの首の部分にはジャコブステーパ、フライス盤の主軸にはナショナルテーパ、古いフライス盤や研磨盤にはブラウン&シャープテーパが使われています。
     モールステーパは概ね1/20の傾斜をもっていて、工具(センタ、ドリルチャックなど)を軽く打ち込む(適度な勢いを付けて押し込む)だけで強固に固定されます。これで軸の芯出しもOKですから、非常に作業効率が良いわけです。
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    5、バイト


    バイトに関してはバイトのいろいろで紹介していますので参照して下さい。


    1)バイトの種類
     バイトは様々な加工に対応するため、非常に多くの種類があり、形状、機能、刃の取付け方、材質、その他様々な分類法があります。
      図を例に説明すると、斜剣、片刃は刃部の形状による分類、ヘールはシャンクの形状による分類です。穴ぐり、突切りは機能による分類、付刃バイトやスローア ウェイバイト(刃先チップ交換型のバイト)は刃の取付け方による分類、ハイス(高速度鋼)や超硬合金は刃部の材質による分類です。
    2)バイト刃部の材質による特徴
     ハイスは、工作物の材質、加工形状に合わせた刃先形状や角度のバイトを製作し易く、金工室では広い用途に使用しています。
      超硬合金は硬度が高く、融点も高いため摩擦熱による刃先の軟化温度が高く、高速で切削することができます。また、耐摩耗性も高く難削材の切削に適していま す。欠点は断続切削などの衝撃によって欠け易いこと、また、研ぎにくいこと、超硬合金の性質上、ハイスと比較すると鋭い刃先を得られず、切れ味が悪いこと が挙げられます。


    3)バイトの刃先角
     バイトの刃先は、すくい角と逃げ角が大切な要素です。左図に示すように、バイトの先端は工作物の回転中心(主軸中心)に合わせたときに、すくい角と逃げ角が適正になるように研いであります。
     逃げ角は、工作物の材質によらず5~8度程度ですが、すくい角は、材料によって異なります。


    4)すくい面の形状
     すくい面の形状を左図に示します。切削時に切屑が連続して出る材料は曲面の形状、バラバラに出る材料は平面のものを使用します。具体的には、快削黄銅(真鍮丸棒)とベークライトの場合にのみ、すくい面が平面のバイトを使用します。


    5)バイトの取付け方
    左図に示すようにバイトの刃先が工作物の回転中心と同じ高さになるように合わせます。


    6)センタの見つけ方
     心押台にセンタを取付けるとその先端が回転中心になります。
     左図のようにトースカンの先端をセンタの先端の高さに合わせ、トースカンを移動してバイトの先端(刃先)がトースカンと同じ高さになるように合わせます。
     高さは、各旋盤の横の工具箱に様々な厚さの敷金を用意してあるので、それをシャンクと刃物台の間に挟み、その厚みで調整します。バイトの取付けは専用のハンドルを使用して、必ず2本以上の取付けボルトでしっかりと均一に締め付けます。
     取付けボルトの締め加減を強くしていくとバイトの高さが若干下がるので、そのことも考慮して敷金を調整するのがこつです。


    コラム・・・

    バイトの語源


     旋盤の刃物をバイトと呼んでいます。この「バイト」の語源には諸説あるのですが、その一つを紹介しましょう。
      モーズレが旋盤を発明した頃、まだ鋼の性質が十分理解されておらず、旋盤作業に適した刃物も模索が続きました。そんな中で、石切場の石ノミを使うと良い事 が知られるようになりました。特にドイツ製の石ノミが流用されたことから、ドイツ語の石ノミを表わす言葉である「バイト」(バイトは複数形、単数形では ビット)が自然に旋盤の刃物をさす言葉として定着したのではないかというものです。
     ちなみに、コンピュータの「バイト」も同じ語源、石ノミだと言われています。コンピュータの記憶容量やデータの大きさを表す最小単位をビット(bit)容量をバイト(byt)と呼んでいますね。
     こうした物の名称は、その語源を調べてみると発展の歴史がかいま見られて、なかなかおもしろいものです。
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    6、切削条件


    1)主軸回転数
     主軸の回転数は、切削速度、使用するバイトの材質や形状、加工する材料の材質、加工方法により決定します。
    切削速度とは、切削している部分の周速度(この場合刃先と材料の相対速度)のことをいいます。
    主軸回転数と切削速度の関係は以下の式で表されます。
    N=1000V/(πD) N:主軸回転数(rpm) V:切削速度(m/min) D:工作物の直径(mm)
      具体的な切削速度は、機械工作便覧などに示されています。しかしこの値は生産効率を上げることを追求したデータです。金工室で加工を行う場合には、生産効 率より安全を優先するため、半分程度の切削速度を適用します。また最高回転数は1000rpm以下で使用してください。
     ハイスのバイトでステンレス(SUS)・銅(Cu)を切削する場合の切削速度はV=25(m/min)、アルミ(Al)・黄銅(BS)の切削速度はV=50(m/min)として、式3-1から回転数を求めます。求めた値を表3-1に示します。
     例えば外径80mmのSUSを切削する場合、表3-1より100rpmとなります。もし旋盤の回転数に100rpmがない場合は、その回転数より低い側の回転数で近い値を選択します。
     ねじ切り加工、突切り加工、Oリング溝加工、へールバイト(図 バイトの種類参照)による加工の場合はこの値の半分以下にしなければなりません。

    材料名
    SUS・Cu
    Al・BS

    外径(mm)
    回転数(rpm)
    回転数(rpm)

    10
    800
    1600

    20
    400
    800

    30
    260
    520

    40
    200
    400

    50
    160
    320

    60
    130
    260

    80
    100
    200

    100
    80
    160

    140
    60
    120

    190
    42
    84

    250
    30
    60

    注 意事項:シャンク部分と刃先の間にバネ構造のあるものをヘールバイトと言い、これを使う場合は回転数を極力遅くします。ネジ切りバイト、突っ切りバイト、 面取バイトなどはヘールバイトにすると加工面がたいへん綺麗に仕上がることから、金工室ではこれらの作業にヘールバイトを用いるよう指導しています。


    2)切込み量
     切込み量とは,1回で削る深さのことです。
     外周切削で荒削りの場合は2mm以下、仕上げ削りは0.5mm以下にしてください。
    3)送り量
     旋盤加工の送り量とは、工作物1回転当たりのバイトの移動量です。送り量が大きければ、加工時間は短くなりますが、切削した表面は粗くなり、小さければ滑らかになります。表面粗さは図3-12に示すように、バイトの刃先半径(ノーズR)と送り量により決まります。
     荒削りの場合は1回転当たり0.2mm以下、仕上げ削りでは0.1mm以下にしてください。

    4)切削剤
      切削剤とは、バイト刃先の冷却と潤滑をするためのものです。切削剤には水溶性のものと油性のものがあり、水溶性切削剤は冷却性能が高く、油性切削剤は潤滑 性能が高いのが特徴です。冷却の効果としては、摩擦熱による刃物の温度上昇を防ぐことで、刃先の軟化を原因とする損傷を抑えたり、材料の組織や形状の変形 を抑えたりすることができます。潤滑の効果としては、摩擦熱の発生を減少させたり、切屑をスムーズに排出させたりすることができます。
    金工室では、材料によって切削剤を次のように使い分けています。
     樹脂の場合は水溶性切削剤:アルファクールES(出光興産)
     銅・ステンレスの場合は油性切削剤: Bluebe(輸入元:FUJI BC ENGINEERING)
     アルミの場合は条件により水溶性切削剤と油性切削剤を使い分けます。
     快削黄銅(真鍮丸棒)の場合は切削剤を使用しません。


    コラム・・・

    ノーズ半径の効能


     バイトの刃先には必ずノーズ半径があります。このノーズ半径、段付き加工の時、角にノーズ半径分の肉が残ってとても不都合なのに、どうしてこんなRを付けているのでしょうか?
     一つはノーズ半径を大きく取れば加工面荒さが改善されるのですが、それ以外に積極的な効能がるのでしょうか?
     実は、ノーズ半径があるからこそ、バイトの刃先寿命がある程度計算できる・・・バイト寿命を管理できるのです。
      もし、ノーズ半径が無かったとすると、バイト刃先の温度上昇を限界以下に抑えることが難しく、切削条件に対する工具寿命が相関関係を持たなくなってしまい ます。その理由は、先端のノーズ半径が、刃先に発生する摩擦熱の拡散速度を上げるこのに大きく寄与しているからです。温度解析に自信のある方は一度計算し てみて下さい。劇的な変化があります。
     スローアウェイ方式の旋盤用チップはノーズ半径が正確に作られています。これはNC加工による形状誤差を減らすためのもので、0.4mmや0.8mmが一般的です。
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    7、旋盤使用上の注意


    1. 寸法を測定するときは必ず回転を止めてから行ってください。また刃物に身体が触れないように注意してください。
    2. 実習用旋盤の内爪チャックは直径70mm以上、外爪チャックでは直径180mm以上の材料をつかんではいけません。これより大きな材料をつかむと爪が外れて飛び出すなどして大変危険です。
    3. チャックハンドルを緩めるときは、腰を据えてハンドルを軽く手でたたいて緩めてください。ハンドルを握ったまま思い切り力を加えると手が滑ったり、勢い余って体のバランスを崩したりして危険ですので注意してください。
    4. 常に機械が発する音の変化に注意してください。機械に何か異常が生じると それまでとは異なった音がします。音が変化したら直ちに機械を止めて技術職員に申し出てください。
      ねじ切り作業の場合、刃物の移動速度は通常の切削作業の10倍以上になります。充分に回転を落とした上で作業してください。
    5. エアガンで切屑を除去する場合、切屑が跳ね返り目に入る危険がありますので保護メガネをかけて行ってください。また、人が近くにいる所では行わないようにしてください。
    6. フットブレーキで機械を停止した場合は、必ず起動レバー(主軸の起動スイッチ)を停止の位置に戻してください。
      注 意事項:フットブレーキを踏んだら回転を止めることができるのは容易に想像できますが、ブレーキを離したらどうなるかは各機械によって異なります。ワシノ の汎用旋盤はブレーキを離しても再び回転するためには改めて回転スイッチを「正」あるいは「逆」にいれなければなりません。しかし、エグロ旋盤はブレーキ を離すと再び回転します。使ったことのない機械を使うときは、各レバーやスイッチ等の動作を一通り試してみることが大切です。
    7. 作業終了後の掃除や加工途中に寸法を測定する時は、不用意にスイッチが入っても主軸が回転しないように本体電源を落とし、主軸のギアをニュートラルにしてください。
    8. 主軸台の上にむやみに工具等を置かないようにしてください。回転中にそれらが落下すると大変危険です。

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Effect of Matrix Structure on the Thermal Fatigue Strength of Cast Iron

1.緒言
  鋳鉄はエンジン部品、油圧機器部品および工作機械部品などに多用されており、要求品質としては、薄肉化するとともに、高温強度の向上も必要となっている。 こういった繰り返し熱負荷に長時間さらされる部品の強化方法を開発する上で、熱疲労特性の解明が重要であり、現在までに鋳鉄の熱疲労特性に関する研究は多 く報告されている。しかし、機械的性質に影響を及ぼす大きな要因として挙げられる黒鉛形状や基地組織について系統的な解明を行った報告はあまりない。そこ で著者らは、基地組織、黒鉛形状が熱疲労特性に及ぼす影響を明らかにしてきた。次の段階として本研究では、このことをふまえた上で熱疲労強度に基地組織が 寄与する影響を明確にすることを目的として実施した。

2.実験方法
 基地組織の違いによる熱疲労 強度への影響を調べるために、供試試料として、JIS規格に基づきFC250相当の片状黒鉛鋳鉄(以後、この試験片をFC_Pと略して表す)。Cr、 Mo、Cuを添加した低合金片状黒鉛鋳鉄(以後、FC_CrMoCu)。それと、レーザー焼入れを行い、一部組織をマルテンサイト化するための片状黒鉛鋳 鉄(FC250相当)を溶製した。それぞれの試料における化学分析値をTable1に示した。また、試料は熱疲労強度に及ぼす基地組織の影響を調べるため に、初期の基地組織をパーライト基地で統一する必要がある。そこで試料を全てパーライト基地にするために、焼ならし(1173Kで2時間保持後、空冷)を 行った。

  この試料を、ディーゼルエンジンのシリンダヘッドを模した形状に機械加工し試験片とした。 本実験で考案した熱疲労試験片の形状をFig.1に示す。二つ の穴はそれぞれ吸気、排気ポートを想定している。また、レーザー焼入れを行った試験片については、ポート間のオレンジ色の帯の部分にレーザーを照射した。 レーザー照射は20mm/sと22mm/sの2水準とし、それぞれ以後FC_L-1、FC_L-2と略して表す。

  試験条件は電気抵抗炉にて1473Kに加熱しておいた黒鉛粒中に熱疲労試験片を埋め込み、ポート間(以後試験面)を共析変態以上の1073Kに昇温し、保 持(30s)する。その後、空冷にて373Kまで冷却、保持(30s)し、この加熱冷却サイクルを繰り返し、熱疲労を負荷する。この条件にて、試験面に発 生した亀裂の評価として、亀裂発生、亀裂進展、亀裂ポート間貫通の各段階ごとに、光学顕微鏡監察に寄る組織観察を行う。また、定量的評価として亀裂面積率 の測定を行った。
 亀裂面積率の測定方法として、まず定義された測定部分(ポート間2.88mm×5mm)を3分割して50倍の顕微鏡組織写真を 撮影する。次に画像処理装置にて2値化(黒鉛と亀裂を黒、基地組織を白として認識)して黒鉛と亀裂の面積率を求める。そして、試験前の顕微鏡組織写真で同 様の画像処理し、黒鉛のみの面積率を求めておき、この数値を引くことで亀裂面積率を算出する。以上により熱疲労亀裂の発生と進展を評価検討する。

3. 実験結果および考察
3.1 亀裂発生に対するパーライト組織の効果
  鋳鉄の熱疲労強度に及ぼす基地組織の影響を調べる上で、まず片状黒鉛鋳鉄でパーライト組織の試験片(FC_P)と低合金を添加し、パーライト組織をより強 化した試験片(FC_CrMoCu)について熱疲労試験を行い、比較検討した。その結果、FC_P試験片においては、60サイクル付近で黒鉛と基地組織の 界面部分に初期亀裂が発生した。その後、片状黒鉛に沿うように亀裂が進展していき、110サイクルでポート間の亀裂貫通に至った。FC_CrMoCu試験 片では、120サイクル付近で初期亀裂の発生が観察できた。そして400サイクルでポート間を亀裂が貫通した。この実験結果より、FC_CrMoCu試験 片がFC_P試験片と比較し熱疲労寿命が長くなった理由としてパーライト組織の分解速度の違いに着目し、考察した。
 鋳鉄中のパーライトは、共析 温度で約0.6%~0.7%のCを固溶していたγ鉄が、0.02%以下のCしか固溶しないα鉄に変態するときに、その過剰なγ鉄中のCがセメンタイトとし てα鉄と同時にラメラ状に析出した組織である。そのため、共晶セメンタイトを安定化する元素はこの場合のセメンタイト(共析セメンタイト)をも安定化する ことになる。その代表例としてCr,V,Mo,Mn,N,W等の元素がある。FC_CrMoCu試験片はそのセメンタイト安定化元素であるCrやMo、ま たMnとCuといった共存することでパーライトを安定化させる元素を多く含有させた試験片である。Fig.2にパーライト組織が分解されていった速度をグ ラフ化したものを示す。

図 より、明らかにFC_P試験片の方が早い段階でパーライト組織が分解していることがわかる。それに比べ、FC_CrMoCu試験片では120サイクル付近 までパーライト組織が分解されずに残っていることが確認できた。FC_P試験片では60サイクル付近FC_CrMoCu試験片では120サイクル付近で パーライト組織がほぼ分解されていることがわかったが、これは熱疲労試験の結果より、それぞれの試験片における初期亀裂発生サイクルと一致する。このこと により、パーライト組織の分解速度の違いが初期亀裂の発生サイクルを遅らせ、結果的に熱疲労寿命の向上に寄与したと考えられる。
 また、 Fig.3にFC_P試験片、FC_CrMoCu試験片におけるパーライトラメラの様子を示した。図より明らかにパーライトラメラがFC_CrMoCu試 験片の方が緻密な層を成していることがわかる。このパーライトラメラの緻密さの違いもパーライト分解速度に影響を及ぼし、しいては熱疲労寿命の長さの違い にも影響したと考えられる。

3.2 亀裂進展に及ぼすレーザー焼入れの影響
  次にレーザー焼入れを行った試験片(FC_L-1試験片、FC_L-2試験片)の熱疲労試験を行った。この実験により、レーザー焼入れを行い一部組織をマ ルテンサイト化したことによる熱疲労強度への影響を、FC_P試験片の試験結果と比較することによって検討した。その結果、FC_L-1試験片においては 初期亀裂が70サイクル付近で発生した。そして350サイクルにかけて、レーザー焼入れ影響部及びそうでない部分の亀裂が、それぞれ独立した形で連結し成 長していく。その間、レーザー焼入れ影響部で発生、成長した亀裂は焼入れの影響を受けていない基地組織の部分で亀裂の成長が止まっていた。また同じように レーザーの影響を受けていない部分で発生、成長した亀裂も、レーザー影響部まで亀裂がさしかかると、進展が止まっていた。その後、455サイクルにおいて レーザー影響部の亀裂と、ポート周辺からの亀裂が連結し亀裂貫通にいたった。FC_L-2試験片においてもFC_L-1試験片と同様に、70サイクル付近 で初期亀裂が発生する。そして、215サイクルにかけてレーザー影響部とそうでない部分の亀裂が独立した形で連結、成長していく。この際、やはり FC_L-1試験片と同様にレーザー影響部と元の基地組織との界面で亀裂の進展が止まることが確認された。そして最終的に326サイクルにおいて、レー ザー影響部とそうでない部分での亀裂が連結し亀裂貫通に至った。この実験結果よりFC_L-1、FC_L-2試験片がFC_P試験片よりも熱疲労寿命が向 上した理由として、亀裂進展の様子が違うことがあげられる。
 Fig.4に亀裂面積率の測定結果のグラフを示した。グラフより、レーザー焼入れを 行った試験片の共通の特徴としてFC_L-1試験片においては、250サイクル~320サイクル付近で、FC_L-2試験片においては120サイク ル~220サイクル付近で亀裂面積率の増加が一時的に止まっていることがわかる。このように、レーザー焼入れを行ったことにより、レーザー焼入れ部と元の 基地組織との界面において、亀裂の進展が一時的に止まった事が熱疲労寿命の向上に寄与したと考えられる。

3.3 熱疲労寿命に及ぼす黒鉛と基地組織の影響
 熱疲労試験において発生した亀裂が、黒鉛部分を通り進展しているのか、それとも基地組織を通り進展しているのかを調べることにより、各試験片における熱疲労寿命に及ぼす黒鉛と基地組織の影響を考察した。
  Fig.5にFC_P試験片とFC_CrMoCu試験片における黒鉛が亀裂進展に関与した割合を表したグラフを示す。数字が黒鉛を通り亀裂が進展した割合 であるが、まずFC_P試験片においては亀裂はほぼ黒鉛を通り、ポート間の亀裂貫通にいたっていることがわかる。それに比べ、FC_CrMoCu試験片で は初期亀裂、亀裂進展の途中まではFC_P試験片と同様に黒鉛を多く通り亀裂が進展しているが、亀裂面積率がFC_P試験片における熱疲労寿命を超えたあ たりから、基地組織中を亀裂が進展していったことがわかる。このことにより、FC_CrMoCu試験片では黒鉛に沿った形で一気にポート間を亀裂貫通に 至ったのではなく、まず試験面全体に黒鉛の関与した短めの亀裂が発生し、その後徐々に基地組織中を亀裂が進展し貫通に至ったと考えられる。つまり、熱疲労 試験の初期段階では、亀裂が進展しやすい黒鉛界面に亀裂が発生し、近くにある亀裂同士が連結する。しかし、基地組織中を亀裂が進展しにくかったため、試験 面全体の黒鉛の部分にだけ短めの亀裂が多く発生することになる。そしてその後、熱疲労試験を繰り返し行うことで基地組織にも亀裂が進展し亀裂貫通に至るの だが、結果的にポート間を亀裂が貫通するまでに、多くの熱疲労サイクルを要することになる。このことにより、FC_CrMoCu試験片においては、 Cr,Cu,Moを添加したことによるパーライト組織の強化が熱疲労寿命向上に効果を発揮したと考えられる。

4.結言
 以上の結果をまとめると次の通りである。
(1)球状黒鉛鋳鉄溶湯で、Si濃度が均一に高まってもチャンキー黒鉛は生成しにくい。
(2)部分的に不均一なSi濃度ができることによってチャンキー黒鉛が生成する。チャンキー黒鉛の生成領域のSi濃度は球状黒鉛のそれの数倍で、7~8mass%程度と推定される。
(3)チャンキー黒鉛はその生成領域において球状黒鉛が存在し、高い球状化能を維持する一方で、連続性を有する黒鉛として生成する。
(4) チャンキー黒鉛の生成は、凝固速度と成長速度のバランスで説明できる。両速度のバランスが取れているときは球状黒鉛として成長し、凝固速度が大きくなって 成長速度を大きく上回ると黒鉛成長が間に合わなくなり、球状で生成した黒鉛が激しく枝分かれをして、連続性を有するチャンキー黒鉛として生成する。

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36 神奈川県産業技術センター研究報告No.13/2007
熱間金型用鋼(SKD61)の熱疲労特性に及ぼす
微粒子ピーニングの効果
材料技術部 構造材料チーム 高 木 眞 一
材料加工チーム 薩 田 寿 隆
構造材料チーム 佐 野 明 彦
熊 谷 正 夫
熱間金型用鋼(SKD61)の熱疲労き裂の発生と成長挙動に及ぼす微粒子ピーニング処理の影響を評価した。843K
への加熱と373K への冷却を2000 サイクル繰り返す熱疲労試験を施した結果,微粒子ピーニング処理した試料の熱
疲労き裂の発生頻度は未処理材と比較して明らかに減少していた。また,これと同様に微粒子ピーニング処理後にラ
ジカル窒化処理を施した試料も優れた熱疲労特性を示した。微粒子ピーニング処理を施した試料を透過型電子顕微鏡
を用いて観察した結果,表面近傍には結晶粒径が100nm 未満のナノ結晶組織が生成しており,843K での焼鈍あるい
はラジカル窒化処理後も結晶粒径が100nm 前後の超微細粒組織を維持していた。このようなミクロ組織の微細化が
熱疲労き裂の発生と成長を抑制したと考えられる。
キーワード:ナノ結晶,ショットピーニング,ヒートチェック,ヒートクラック,ダイカスト
1 はじめに
微粒子ピーニング処理は,直径数十ミクロン程度の微粒
子を200m/sec 程度の高速で投射する一種のショットピー
ニング加工である。粒子径が小さいことに起因して,多段,
多方向,非同期の大歪み加工が表面近傍に集中して起こる
ために,表面近傍にナノ結晶組織が生成することが報告さ
れている1)2)。このような強加工によって生成されるナノ
結晶組織は約873K まで粗大化することなく維持されると
いう特徴を示すことから1)2),温間域に曝される金型の寿
命向上に有効であると予想される。そこで,本研究では,
アルミダイカスト用金型に用いられる熱間金型用鋼
(SKD61)の熱疲労特性に及ぼす微粒子ピーニング処理の
効果について評価した結果を報告する。
2 実験方法
実験には焼入れ焼戻しによりHRC48 の硬さに調整した
SKD61 鋼を用いた。これを図1に示すような円盤状試験
片に加工した。微粒子ピーニング処理は円盤状試験片の盤
面に対して吸引式のショットピーニング装置を用いて表1
に示す条件で実施した。吸引式ショットピーニング装置と
は,圧縮空気による吸引力により粒子タンク内の粒子を吸
引して噴射する方式の装置である。ショットピーニングの
強さを表すアークハイト3)は0.14mmN であった。また,
微粒子ピーニングに引き続き,ラジカル窒化処理を施した
試料も準備した。ラジカル窒化とは,イオン密度の低い低
エネルギープラズマを発生させ,活性な窒素(ラジカル
種)により窒化する手法であり,従来のイオン窒化と比較
してスパッタリングによる表面損傷や表面での化合物層の
生成がないことを特徴とする。
熱疲労試験は,873K に加熱した鋼製ブロックを試験片
の盤面全体に押しつけて表面を加熱した後,直ちに373K
の湯に漬けて冷却させる熱サイクルを試料に加えて実施し
た4)。これにより試験片表面は160sec の間に843K にまで
加熱された後,15sec 間で373K に冷却される。このサイ
クルを2000 回繰り返した後,表面からのき裂の発生状況
を評価した。すなわち,熱疲労特性試験を終了した試験片
の中心から半径方向に沿って断面のミクロ組織を観察し,
き裂の数および各き裂の深さを計測した。
3 結 果
図2に熱疲労試験後のき裂の分布状況を示す。横軸には
き裂の深さを,縦軸には試験片の半径方向に沿った単位長
20 φ58
熱疲労特性評価面
M8ネジ深10
図1 試験片の形状
表1 微粒子ピーニング条件
45 0.14
アークハイト
粒子材質(mmN)
硬さ
HV
平均粒子径
(μm) 噴射方式
圧縮空気圧
(MPa)
炭素鋼700 吸引式0.4
神奈川県産業技術センター研究報告No.13/2007 37
さ当たりのき裂の数を示す。図のように未処理材と比較し
て,微粒子ピーニングを施した場合の方が,き裂の数,深
さ共に減少している。この傾向はラジカル窒化処理を施し
た場合でも共通である。
図3は,微粒子ピーニングによって熱疲労き裂が減少す
る理由を考察するために,透過型電子顕微鏡(TEM)に
より表面近傍のミクロ組織を観察した結果である。図3
(a)の明視野像に示すように表面近傍には微粒子ピーニン
グによって塑性流動した様子が観察される。この領域の電
子線回折図形(図3(b))がbcc 構造を反映したリング状
の形状を示すことからこの領域がランダムな結晶方位分布
を持つ多数の結晶粒で構成されていることが判明した。さ
らに,暗視野像(図3(c))より表面近傍に結晶粒径が
100nm 未満のナノ結晶組織が形成されていることがわか
る。微粒子ピーニングに引き続いて熱疲労試験と同様の
843K での焼鈍処理を施した場合,あるいはラジカル窒化
処理を施した場合の暗視野像を図4(a)および図4(b)に
各々示す。いずれの試料も焼鈍あるいは窒化処理時の加熱
により,結晶粒径が若干粗大化しているものの結晶粒径が
100nm 前後の超微細粒組織を維持している。これらのこ
とから,微粒子ピーニングにより表面近傍の結晶粒径が微
細化したために熱疲労き裂の発生と成長が抑制され優れた
熱疲労特性を示したものと推測される。
図5に微粒子ピーニング処理を施した試料の熱疲労試験
後の断面を走査型電子顕微鏡で観察した結果を示す。2000
回の熱サイクルを経た後にもかかわらず,表面近傍には微
粒子ピーニングによって形成されたと思われる塑性流動が
観察される。このことも熱疲労試験中も微粒子ピーニング
による微細組織が粗大化することなく維持されたために,
熱疲労き裂の生成が抑制されたことを示唆している。なお,
熱疲労試験により表面に酸化皮膜(Fe3O4)が生成するこ
とが判明しているが,この酸化皮膜はFe 原子の外方拡散
によって外側に成長する酸化膜であり,微粒子ピーニング
による微細組織が酸化皮膜の生成により消失することなく
維持されたものと推測している。
4 まとめ
アルミダイカスト用金型に用いられる熱間金型用鋼
(SKD61)の熱疲労特性に及ぼす微粒子ピーニング処理の
効果について評価したところ,微粒子ピーニング処理に
よって熱疲労き裂の発生と成長が大幅に抑制されることが
判明した。これは微粒子ピーニングによって表面近傍にナ
ノ結晶組織が形成され,2000サイクルの熱疲労試験中も結
晶粒径が顕著に粗大化することなく維持されるためにき裂
の発生と成長が抑制されたと考えられる。
文 献
1) 高木眞一,熊谷正夫,小沼誠司,伊藤裕子,下平英
二;鉄と鋼,92,318(2006).
2) 戸高義一,梅本 実;日本金属学会誌,67,690
(2003).
3) ショットピーニング技術協会;“金属疲労とショット
ピーニング”,現代工学社,p.114(2005).
4) 日原政彦;“ダイカスト用金型の寿命対策”,日刊工業
新聞社,p.19(2003).
a 表面表面
b
c
200nm 200nm
図3 微粒子ピーニング処理した試料の表面近傍のミクロ組織
a)明視野像.b)制限視野回折図形.c)暗視野像.
200nm 200nm
a 表面b 表面
図4 微粒子ピーニング処理後焼鈍あるいはラジカル窒化処理
を施した場合の結晶粒径の変化(暗視野像)
a)843K 焼鈍材.b)ラジカル窒化処理材
5μm
酸化皮膜(Fe3O4)
図5 熱疲労試験後のミクロ組織
(微粒子ピーニング処理材)
0
0.5
1.0
1.5
2.0
2.5
0 10 20 30 40 50 60 70 80
熱疲労き裂深さ(μm)
1mmあたりのき裂の個数
未処理
微粒子ピーニング+ラジカル窒化
微粒子ピーニング
図2 熱疲労試験後のき裂分布

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(4)オートメーション整備調達

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弊社の全般供給体制及び技術自慢の総合専門製造メーカーに貴方のご体験を御待ちしております。

Bewise Inc. talaşlı imalat sanayinde en fazla kullanılan ve üç eksende (x,y,z) talaş kaldırabilen freze takımlarından olan Parmak Freze imalatçısıdır. Çok geniş ürün yelpazesine sahip olan firmanın başlıca ürünlerini Karbür Parmak Frezeler, Kalıpçı Frezeleri, Kaba Talaş Frezeleri, Konik Alın Frezeler, Köşe Radyüs Frezeler, İki Ağızlı Kısa ve Uzun Küresel Frezeler, İç Bükey Frezeler vb. şeklinde sıralayabiliriz.

BW специализируется в научных исследованиях и разработках, и снабжаем самым высокотехнологичным карбидовым материалом для поставки режущих / фрезеровочных инструментов для почвы, воздушного пространства и электронной индустрии. В нашу основную продукцию входит твердый карбид / быстрорежущая сталь, а также двигатели, микроэлектрические дрели, IC картонорезальные машины, фрезы для гравирования, режущие пилы, фрезеры-расширители, фрезеры-расширители с резцом, дрели, резаки форм для шлицевого вала / звездочки роликовой цепи, и специальные нано инструменты. Пожалуйста, посетите сайт  www.tool-tool.com  для получения большей информации.

BW is specialized in R&D and sourcing the most advanced carbide material with high-tech coating to supply cutting / milling tool for mould & die, aero space and electronic industry. Our main products include solid carbide / HSS end mills, micro electronic drill, IC card cutter, engraving cutter, shell end mills, cutting saw, reamer, thread reamer, leading drill, involute gear cutter for spur wheel, rack and worm milling cutter, thread milling cutter, form cutters for spline shaft/roller chain sprocket, and special tool, with nano grade. Please visit our web  www.tool-tool.com  for more info.

 

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碧威-隕石1-a5dm

私 どもの製品でSUM22L快削鋼を使用していますが、その製品が折れてしまいました。文献で機械強度(引張り、せん断など)を調べてみましたが、どれも数 値での記載はありませんでした。快削鋼は切削性が良好ですので当然強度は軟鋼に相当すると思いますが、数値的なものがわかれば教えてください。しょうも無 い質問ですみません。

大同特殊鋼㈱の超快削鋼にSFC3Fというのがあります。C≦0.15、Mn0.85-1.15、 P0.04-0.09、S0.26-0.35、Pb0.15-0.35とほとんどSUM22Lと変わりない鋼種です。大同の特殊鋼ハンドブックに (SFC3Fを冷間加工した場合の機械的性質の変化)の図表がP179にのっています。知り合いの材料屋さんからFAXしてもらって下さい。ちなみに冷間 加工率0%の場合、ブリネル硬さHB135、引張強さ45kgf/mm2、降伏点31kgf/mm2、伸び25%、絞り50%です。

快削鋼は鉛とか硫黄を添加して加工性を上げています。
この成分は材料の強度にたいしてはマイナスに働きます。
厳しい使い方をするなら快削鋼の使用をやめるしかないようなきがします

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歡迎來到Bewise Inc.的世界,首先恭喜您來到這接受新的資訊讓產業更有競爭力,我們是提供專業刀具製造商,應對客戶高品質的刀具需求,我們可以協助客戶滿足您對產業的不同要求,我們有能力達到非常卓越的客戶需求品質,這是現有相關技術無法比擬的,我們成功的滿足了各行各業的要求,包括:精密HSS DIN切削刀具協助客戶設計刀具流程DIN or JIS 鎢鋼切削刀具設計NAS986 NAS965 NAS897 NAS937orNAS907 航太切削刀具,NAS航太刀具設計超高硬度的切削刀具醫療配件刀具設計複合式再研磨機PCD地板專用企口鑽石組合刀具粉末造粒成型機主機版專用頂級電桿PCD V-Cut捨棄式圓鋸片組粉末成型機主機版專用頂級電汽車業刀具設計電子產業鑽石刀具木工產業鑽石刀具銑刀與切斷複合再研磨機銑刀與鑽頭複合再研磨機銑刀與螺絲攻複合再研磨機等等。我們的產品涵蓋了從民生刀具到工業級的刀具設計;從微細刀具到大型刀具;從小型生產到大型量產;全自動整合;我們的技術可提供您連續生產的效能,我們整體的服務及卓越的技術,恭迎您親自體驗!!

BW Bewise Inc. Willy Chen willy@tool-tool.com bw@tool-tool.com www.tool-tool.com skype:willy_chen_bw mobile:0937-618-190 Head &Administration Office No.13,Shiang Shang 2nd St., West Chiu Taichung,Taiwan 40356 http://www.tool-tool.com / FAX:+886 4 2471 4839 N.Branch 5F,No.460,Fu Shin North Rd.,Taipei,Taiwan S.Branch No.24,Sec.1,Chia Pu East Rd.,Taipao City,Chiayi Hsien,Taiwan

Welcome to BW tool world! We are an experienced tool maker specialized in cutting tools. We focus on what you need and endeavor to research the best cutter to satisfy users demand. Our customers involve wide range of industries, like mold & die, aerospace, electronic, machinery, etc. We are professional expert in cutting field. We would like to solve every problem from you. Please feel free to contact us, its our pleasure to serve for you. BW product including: cutting toolaerospace tool .HSS  DIN Cutting toolCarbide end millsCarbide cutting toolNAS Cutting toolNAS986 NAS965 NAS897 NAS937orNAS907 Cutting Tools,Carbide end milldisc milling cutter,Aerospace cutting toolhss drillФрезерыCarbide drillHigh speed steelCompound SharpenerMilling cutterINDUCTORS FOR PCDCVDD(Chemical Vapor Deposition Diamond )’PCBN (Polycrystalline Cubic Boron Nitride) Core drillTapered end millsCVD Diamond Tools Inserts’PCD Edge-Beveling Cutter(Golden FingerPCD V-CutterPCD Wood toolsPCD Cutting toolsPCD Circular Saw BladePVDD End Millsdiamond tool. INDUCTORS FOR PCD . POWDER FORMING MACHINE Single Crystal Diamond Metric end millsMiniature end millsСпециальные режущие инструменты Пустотелое сверло Pilot reamerFraisesFresas con mango PCD (Polycrystalline diamond) ‘FresePOWDER FORMING MACHINEElectronics cutterStep drillMetal cutting sawDouble margin drillGun barrelAngle milling cutterCarbide burrsCarbide tipped cutterChamfering toolIC card engraving cutterSide cutterStaple CutterPCD diamond cutter specialized in grooving floorsV-Cut PCD Circular Diamond Tipped Saw Blade with Indexable Insert PCD Diamond Tool Saw Blade with Indexable InsertNAS toolDIN or JIS toolSpecial toolMetal slitting sawsShell end millsSide and face milling cuttersSide chip clearance sawsLong end millsend mill grinderdrill grindersharpenerStub roughing end millsDovetail milling cuttersCarbide slot drillsCarbide torus cuttersAngel carbide end millsCarbide torus cuttersCarbide ball-nosed slot drillsMould cutterTool manufacturer.

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ようこそBewise Inc.の世界へお越し下さいませ、先ず御目出度たいのは新たな

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豊富なパリエーションを満足させ、特にハイテク品質要求にサポート致します。

弊社は各領域に供給できる内容は:

(1)精密HSSエンドミルのR&D

(2)Carbide Cutting tools設計

(3)鎢鋼エンドミル設計

(4)航空エンドミル設計

(5)超高硬度エンドミル

(6)ダイヤモンドエンドミル

(7)医療用品エンドミル設計

(8)自動車部品&材料加工向けエンドミル設計

弊社の製品の供給調達機能は:

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球 形端銑刀(ball end mill)為曲面精切削加工中最常用的切削刀具,曲面精切削時球形端銑刀的切削量不大,對於球形端銑刀切削加工完成後工件表面的品質要求非常高。由於球形 端銑刀的刀刃形狀為圓弧形,導致切削時,會在切削路徑間(pitch between two cutting paths)形成扇形高度(Scallop height),並且會因球形端銑刀刀刃在切削時之旋轉和移動的效應而形成在切削進給間(feed between two cutting teeth)之方向產生切削殘留(Cutting Remainder)。此二種切削殘留是影響精切削完成後形成工件表面粗糙度的主要因素。切削進給方向之切削殘留形成的原因比扇形高度來得複雜,而且較難 使用幾何圖形解析方式來求得。先建立球刀切削點運動軌跡之數學方程式,再使用牛頓拉佛森疊代法解出刀刃切削點之運動路徑時間差,進而代入球刀切削點運動方 程式以數值方法求得球刀刀刃加工運動路徑之交點,找出在不同切入角度相位差及不同刀具傾斜角之因素下切削殘留( Cutting Remainder)最高點之值及位置。再配合"Z方向搜尋法(Z-map)"的運算方式,模擬出球形端銑刀在不同的切削條件下所形成的切削殘留3D圖。 針對不同刀具半徑以及不同之每刃進給和刀具加工之路徑間距找出最佳之進給速率的組合以兼顧表面粗糙度和加工效率以及針對刀刃形狀的的改進研究。

非數控加工球頭銑刀的主幹數學模型

 圖1 前刀面加工原理

2 前刀面加工原理及主幹模型

為 有利於切削,球頭銑刀的刃口曲線應為“S”形球面曲線,即加工形成的前刀面與球面的交線應為“S”形曲線。為此設計的球頭銑刀前刀面加工原理如圖1所示。 加工時,錐面砂輪繞定軸O1回轉,同時工件(被加工銑刀)繞其軸線Oz回轉,錐面砂輪相對工件運動形成的砂輪廓面族的包絡面即為前刀面。

為 建立前刀面加工的主幹數學模型,選取分別固聯在工件和砂輪上的右手直角坐標系s=[O;x,y,z]和s1=[O1;x1,y1,z1](見圖1),其中 y 和y1軸平行且指向上方。若記砂輪大端半徑為R2,錐面砂輪半頂角為g,砂輪大端到O1的距離為p,z 和z1軸的夾角為f,則當球頭半徑為R時,由坐標系s1轉換到坐標系s的變換式為

r={x,y,z}={x1cosf z1sinf-psinf,y1 R2,x1sinf z1cosf R-pcosf}

(1)

在坐標系s1中的砂輪輪廓面方程為

r1={x1,y1,z1}={ucosv,usinv,p (R2-u)cotg}

(2)

令砂輪輪廓面繞y1軸以角速度w1回轉,並將得到的在t時刻的暫態方程轉換到坐標系s中,再令其相對Oz軸以角速度w2回轉,即可得到相對運動下砂輪廓面族的包絡面(即前刀面)方程為

(3)

3 刃口曲線及參數優化

式(3)方程組中第一式對應的球面為

x*2 y*2 z*2=R2

(4)

該球面與前刀面的交線即為刃口曲線。為使刃口曲線為理想的“S”形曲線,應對設計變數進行優選。設計變數為

X=[X1,X2,X3]=[p,q,R2]

(5)

其中q=w2/w1。具體的優選數學模型可參閱時培林、王偉、唐餘勇合著的《關於球面銑刀製造中數學模型研究》(刊於《機械工程學報》1994年第5期),此處從略。

圖2 後刀面加工原理

4 後刀面加工原理及主幹模型

設由式(3)、(4)解得的球面刃口曲線為

r2={x2,y2,z2}

(6)

磨 制的後刀面必須過該刃口曲線,且具有足夠後角。為此設計的後刀面加工原理如圖2所示。圖中,P0為y 軸上的定點(0,y0,0),P2為刃口曲線上的任一點,P為平面靠模曲線上的對應點,由P點軌跡來保證砂輪廓面沿球面曲線進行磨削。設過P2點且垂直於 直母線的直線交砂輪軸線P0P於P點,則只需求出方向向量P2P即可求出P點座標,進而可求出直線P0P上與y=y0平面的交點P(x,y0,z)的軌跡 (即靠模曲線)。若設向量P2P上的單位向量為t={ , , },柱面砂輪半徑為R1,則有

(7)

求出單位向量t={ , , },則P點軌跡方程為

rP=r2 R1t

(8)

則直線P0P的方程為

rp=rp0 l(rp-rp0)/(rp-rp0)

(9)

該直線與平面y=y0的交點軌跡即為靠模曲線。

因篇幅所限,不再羅列上述主幹數學模型的具體運算式。

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1.はじめに
辞典1)によると
・ 「固い」は「ゆるい」の対語といった趣で広く一般に使う
・ 「堅い」は「脆い」の対語といった趣で人や物の性質に使う
・ 「硬い」は「軟らかい」の対語として物の状態や人の態度に使うことが多い
とあるが、私たちは日常"かたい"という言葉に深い意味を持たせず、感覚的に使うことが多いと思われる。
(例)固めにゆでる
   堅い人間
   硬いチョコレート など
しかし金属の世界では"かたさ(硬さ)"の中にいろいろな意味が含まれており、金属の機械的性質を調べる材料試験の一つとして、重要な位置を占めている。
2.硬さの定義2)
 ある物の硬さとは、その物体に他の物体をもって押しつけたり、衝撃させたり、引っ掻かせたりなどしたとき、その物体がくぼみを生ずることに対する抵抗と考えられる。
 硬さ試験においては、何らかの方法によって硬さを測りたい物(被測定物…金属等)に圧子をもってくぼみを生じさせるのであるが、そのくぼみを生じさせる方法として、
・静荷重による場合
・衝撃荷重による場合
・押し込んだ圧子で引っ掻く場合
などがある。
  ここで、圧子はもちろん被測定物に比べ著しくかたさが大で、硬さ試験に際してもほとんど変形しないものでなければならないし、また、その形は正確に作りや すい様、幾何学的に簡単なものであることが求められる。実際には、ダイヤモンドの円錐、四角錐、球、あるいは鋼球などが用いられている。
3.試験装置
 JISに規定されている硬さ試験には、ブリネル硬さ、ロックウェル硬さ、ビッカース硬さ、ショア硬さ、ヌープ硬さがある。
 このうち、ブリネル、ロックウェル、ビッカース、ヌープ硬さなどの試験装置は静荷重式で、圧子を被測定物に静かに押し込んで、その時の荷重とくぼみとの関係から、硬さを求めている。
 これに対し、ショア試験装置は圧子の付いた小さな鎚が被測定物落下し、その跳ね上がり高さから硬さを求めている。
 以下に、よく使用される代表的な硬さ試験についてもう少し詳しく述べてみる。


図1 ブリネル硬さ測定装置例
図2 ビッカース硬さ測定装置例

-ブリネル硬さ試験3)
 図1に試験装置の形状を示す。
 約200年前から使用されている最も信頼性が高い試験方法で、測定物の表面に鋼球の圧子(φ10mm)を決められた荷重で押しつけて圧痕をつくり、この荷重を圧痕の表面積で割った数値をブリネル硬さ値(記号HB)としている。
 鋳物や非鉄金属等にも広く利用されているが、短所として
・ 圧子と試験荷重が大きいため圧痕が大きく、測定時間が長い
・ 試験荷重は測定物の材質や硬さに適合したものを選ばないと、生じた圧痕の周囲がはっきりせず、測定誤差が生じやすい
・ 鋼球以上に硬い測定物に押しつけると、鋼球自体に変形(へこみ)ができ誤差を生じる
があげられる。
-ビッカ-ス硬さ試験2)4)
 図2に試験装置の形状を示す。
 多くの硬さ試験の標準と見なされている試験方法で、対角面136°の正四角錐のダイヤモンド圧子を一定荷重で試験面に押し込み、生じた永久くぼみの大きさから試料の硬さを求める(記号HV)。
 圧子にダイヤモンドを使用しているので、どんな硬い試料でも試験でき、また、圧子の大きさがくぼみの形に無関係なので、荷重の大きさをどのようにとっても(通常は5kg以上)くぼみの形は常に相似形で、得られる硬さ値は一定となる。
 ビッカ-ス硬さ試験装置と測定原理が同じであるが、荷重を非常に小さく(10gf~1000gf)取ることにより細かい局所の硬さを測ることを専門にした試験装置に、マイクロビッカース試験装置がある。
  薄板、細線、表面硬化層、メッキ層、宝石類、金属組織中の特定層の硬さ(例えば炭素鋼のフェライトとパーライトの部分の硬さ)を別々に測る場合などに、使用されている。

エコ-チップ試験5)
 JISに規定されていないが、建築構造物、発電プラント配管などの溶接連結部分の硬さ管理などにおいて、比較的よく使われている試験方法である。
 図3に試験装置の形状を示す。
 従来の硬度計とは全く異なった原理(EQUO原理)*を応用した試験機であり
・供試材の表面はほとんど損傷を受けない
・水平面のみならず曲面を有する供試体も   アタッチメントなしに直接試験できる
 ・測定方向に制約が無い
 ・コンパクト設計で、電源が乾電池のため、電源準備の必要がない
等の特徴を持っている。
 また測定した硬さ値(L)は、換算表によって従来使用されている標準的硬さ値(ブリネル、ビッカース値等)に換算することができる。
                      図3 エコーチップ試験装置例
*(EQUO原理)
タ ングステンカーバイドで作られたテストチップを有するインパクトボデーが特殊なバネの力で供試体の表面を打撃し、同時に反発する。その際、インパクトボ デーに内蔵された磁石とコイルが働き、電圧が生じる。速度と正比例の関係にあるこの電圧  は電子機構に伝達され、自動的に硬さ値(記号L)として、デジ タル表示される。供試体が硬ければそれだけ反発速度が増し、硬さ値(L)も比例して大きくなる。
また、硬さ値(L)は供試体の弾性係数にも影響される。即ち、同じ硬さで弾性数の違う供試体の場合、弾性係数の小さい供試体の方が大きな硬さ値(L)を示す。

ところで、これら各種硬さ試験機は、その硬さ測定原理、方法等が全て異なるため、測定された試験値間には何の関連性もなく、お互いの値の比較は実験的に行う必要性がある。図4は各硬さ間の関係を棒グラフとして図示したものである。
 なお、これらの硬さ間の関係は材料によって異なり、図はだいたいの見当を示したものである


4.金属の機械的性質との関係6)
 機械を作る場合、ある程度の耐久性を考えて、機械の構成部分の作用に耐える材料を選択して設計する必要性がある。
 ある部分は硬くて強い材料、ある部分はあまり硬くなくても粘りのある材料を、というように、使用される材料の性質をよく知った上で決定する必要がある。
 しかし、材料の性質は硬さを調整することによっていろいろと変わってしまうため、現場では硬さの数値をもとに金属の特性を知る手がかりとしている。
 そこで"硬さ"と"特性"との関連づけが必要になる。
 以下、いくつかの例について述べていく。
(1)引張強さと硬さ
一般に、鋼では焼もどし温度が異なり、鋼が違っていても同一硬さを持つものは、ほぼ同程度の引張強さを示すことが知られている。
図5は硬さと引張強さとの関係を示したもので、引張強さはブリネル硬さに比例することがわかり、その関係式は
引張強さ  σB(kg・f/mm2)≒1/3×HB(ブリネル)
で表される。
 ところで、焼入れ硬さHRC55(完全焼入れ)のものとHRC35(不完全焼入れ)のものとを同一条件で焼きもどしした場合を比較してみると、表1のようになる。
 引張強さは焼もどし硬さが同じであるから同一になるが、降伏点、衝撃値、その他が大きく異なり、完全焼入品が優秀であることが判る。
 従って良好な機械的性質を得るには、よく焼きをいれること、即ち、焼入れ硬さのチェックが大切である

表1 完全焼入れ品と不完全焼入れ品の焼きもどし後の特性比較

焼入硬さ
(HRC)
焼もどし硬さ
(HRC)
引張強さ
(Kg・f/mm2)
降服点
(Kg・f/mm2)
衝撃値
(Kg・f/mm2)
伸び
(%)
絞り
(%)

55(完全焼き入れ)
30
100
90
13
23
62

55(不完全焼入れ)
30
100
85
5
19
53

参考文献・参考資料
(1)  広辞苑(第5版 岩波書店)
(2)  河本 実:材料試験(朝倉書店)
(3)  香住浩伸:メンテナンス Autumn92~97(1999)
(4)  試験設備ガイド:平成4年 中部電力㈱電力技術研究所 機械担当  
(5)  パンフレット「EQUO TIP」
(6)  大和久重雄:設計・材料・熱処理(日刊工業新聞社)
                                            (次号につづく)
                                                   以 上

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歡迎來到Bewise Inc.的世界,首先恭喜您來到這接受新的資訊讓產業更有競爭力,我們是提供專業刀具製造商,應對客戶高品質的刀具需求,我們可以協助客戶滿足您對產業的不同要求,我們有能力達到非常卓越的客戶需求品質,這是現有相關技術無法比擬的,我們成功的滿足了各行各業的要求,包括:精密HSS DIN切削刀具協助客戶設計刀具流程DIN or JIS 鎢鋼切削刀具設計NAS986 NAS965 NAS897 NAS937orNAS907 航太切削刀具,NAS航太刀具設計超高硬度的切削刀具醫療配件刀具設計複合式再研磨機PCD地板專用企口鑽石組合刀具粉末造粒成型機主機版專用頂級電桿PCD V-Cut捨棄式圓鋸片組粉末成型機主機版專用頂級電汽車業刀具設計電子產業鑽石刀具木工產業鑽石刀具銑刀與切斷複合再研磨機銑刀與鑽頭複合再研磨機銑刀與螺絲攻複合再研磨機等等。我們的產品涵蓋了從民生刀具到工業級的刀具設計;從微細刀具到大型刀具;從小型生產到大型量產;全自動整合;我們的技術可提供您連續生產的效能,我們整體的服務及卓越的技術,恭迎您親自體驗!!

BW Bewise Inc. Willy Chen willy@tool-tool.com bw@tool-tool.com www.tool-tool.com skype:willy_chen_bw mobile:0937-618-190 Head &Administration Office No.13,Shiang Shang 2nd St., West Chiu Taichung,Taiwan 40356 http://www.tool-tool.com / FAX:+886 4 2471 4839 N.Branch 5F,No.460,Fu Shin North Rd.,Taipei,Taiwan S.Branch No.24,Sec.1,Chia Pu East Rd.,Taipao City,Chiayi Hsien,Taiwan

Welcome to BW tool world! We are an experienced tool maker specialized in cutting tools. We focus on what you need and endeavor to research the best cutter to satisfy users demand. Our customers involve wide range of industries, like mold & die, aerospace, electronic, machinery, etc. We are professional expert in cutting field. We would like to solve every problem from you. Please feel free to contact us, its our pleasure to serve for you. BW product including: cutting toolaerospace tool .HSS  DIN Cutting toolCarbide end millsCarbide cutting toolNAS Cutting toolNAS986 NAS965 NAS897 NAS937orNAS907 Cutting Tools,Carbide end milldisc milling cutter,Aerospace cutting toolhss drillФрезерыCarbide drillHigh speed steelCompound SharpenerMilling cutterINDUCTORS FOR PCDCVDD(Chemical Vapor Deposition Diamond )’PCBN (Polycrystalline Cubic Boron Nitride) Core drillTapered end millsCVD Diamond Tools Inserts’PCD Edge-Beveling Cutter(Golden FingerPCD V-CutterPCD Wood toolsPCD Cutting toolsPCD Circular Saw BladePVDD End Millsdiamond tool. INDUCTORS FOR PCD . POWDER FORMING MACHINE Single Crystal Diamond Metric end millsMiniature end millsСпециальные режущие инструменты Пустотелое сверло Pilot reamerFraisesFresas con mango PCD (Polycrystalline diamond) ‘FresePOWDER FORMING MACHINEElectronics cutterStep drillMetal cutting sawDouble margin drillGun barrelAngle milling cutterCarbide burrsCarbide tipped cutterChamfering toolIC card engraving cutterSide cutterStaple CutterPCD diamond cutter specialized in grooving floorsV-Cut PCD Circular Diamond Tipped Saw Blade with Indexable Insert PCD Diamond Tool Saw Blade with Indexable InsertNAS toolDIN or JIS toolSpecial toolMetal slitting sawsShell end millsSide and face milling cuttersSide chip clearance sawsLong end millsend mill grinderdrill grindersharpenerStub roughing end millsDovetail milling cuttersCarbide slot drillsCarbide torus cuttersAngel carbide end millsCarbide torus cuttersCarbide ball-nosed slot drillsMould cutterTool manufacturer.

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ようこそBewise Inc.の世界へお越し下さいませ、先ず御目出度たいのは新たな

情報を受け取って頂き、もっと各産業に競争力プラス展開。

弊社は専門なエンドミルの製造メーカーで、客先に色んな分野のニーズ

豊富なパリエーションを満足させ、特にハイテク品質要求にサポート致します。

弊社は各領域に供給できる内容は:

(1)精密HSSエンドミルのR&D

(2)Carbide Cutting tools設計

(3)鎢鋼エンドミル設計

(4)航空エンドミル設計

(5)超高硬度エンドミル

(6)ダイヤモンドエンドミル

(7)医療用品エンドミル設計

(8)自動車部品&材料加工向けエンドミル設計

弊社の製品の供給調達機能は:

(1)生活産業~ハイテク工業までのエンドミル設計

(2)ミクロエンドミル~大型エンドミル供給

(3)小Lot生産~大量発注対応供給

(4)オートメーション整備調達

(5)スポット対応~流れ生産対応

弊社の全般供給体制及び技術自慢の総合専門製造メーカーに貴方のご体験を御待ちしております。

Bewise Inc. talaşlı imalat sanayinde en fazla kullanılan ve üç eksende (x,y,z) talaş kaldırabilen freze takımlarından olan Parmak Freze imalatçısıdır. Çok geniş ürün yelpazesine sahip olan firmanın başlıca ürünlerini Karbür Parmak Frezeler, Kalıpçı Frezeleri, Kaba Talaş Frezeleri, Konik Alın Frezeler, Köşe Radyüs Frezeler, İki Ağızlı Kısa ve Uzun Küresel Frezeler, İç Bükey Frezeler vb. şeklinde sıralayabiliriz.

BW специализируется в научных исследованиях и разработках, и снабжаем самым высокотехнологичным карбидовым материалом для поставки режущих / фрезеровочных инструментов для почвы, воздушного пространства и электронной индустрии. В нашу основную продукцию входит твердый карбид / быстрорежущая сталь, а также двигатели, микроэлектрические дрели, IC картонорезальные машины, фрезы для гравирования, режущие пилы, фрезеры-расширители, фрезеры-расширители с резцом, дрели, резаки форм для шлицевого вала / звездочки роликовой цепи, и специальные нано инструменты. Пожалуйста, посетите сайт  www.tool-tool.com  для получения большей информации.

BW is specialized in R&D and sourcing the most advanced carbide material with high-tech coating to supply cutting / milling tool for mould & die, aero space and electronic industry. Our main products include solid carbide / HSS end mills, micro electronic drill, IC card cutter, engraving cutter, shell end mills, cutting saw, reamer, thread reamer, leading drill, involute gear cutter for spur wheel, rack and worm milling cutter, thread milling cutter, form cutters for spline shaft/roller chain sprocket, and special tool, with nano grade. Please visit our web  www.tool-tool.com  for more info.

 

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碧威信封-背面~1

FDC (Fault Detection and Classification)

それぞれの半導体製造装置出力のモニターを行い、異常を検出した場合、その結果を統計的に処理することにより異常の種類を分類する技術。

 

Galerkin法

三角多項式を与えられた方程式に代入し、同数の調和項を比較して多項式の係数を決定する方法。

 

Hamilton関数

積分汎関数の極値問題で導入される微分方程式で、変分におけるEuler方程式の形を変えたもの。

 

Hotelling統計

多変量分散分析手法の一つで、多次正規分布の標本の平均値からの距離の自乗を用いて検定する方法。

 

Phase Field 法

相転移の時間変化を求める、数値計算法の一つ。非平衡熱力学の理論である、相転移においてギンズブルグ-ランダウ自由エネルギーが極小値をとる事を用いて、定式化される。

 

SVA (Singular Value Analysis)

多変数制御系の大型マトリックスの計算誤差を最小化する方法。主因子分析の一種。

 

最大原理(Maximum Principle)

操作量に制約のある最適制御問題でHamilton関数を用いて解く方法。L.Pontryaginよって導入された。

 

実時間制御 (Real-time control)

ウェーハ処理の最中に、温度や電圧などのパラメータを常時モニターし、処理速度や均一性などの偏差が小さくなるように、フィードバック制御によりプロセス条件に修正を加える制御方法。

 

適応制御 (Adaptive Control)

プロセスの内部パラメータの変動に応じて調節モードを変更する制御。

 

APC(Advanced Process Control)

半 導体産業では、一般的に”Run to Run制御"の意味に使用される。フィードバック制御と呼ばれるプロセス結果、又は現在のプロセス状況を元に"戻って"プロセスを変更する手法と、フィー ドフォワード制御と呼ばれるプロセス前情報を利用して"予測して"プロセスを変更する手法がある。

 

Virtual Sensor

例えば、直接ウェーハ温度を測定するのではなく、反応室近傍の温度を直接測定し、その結果をもとにシミュレーションによりウェーハ温度を推定する方法。

 

TCAD

物理・化学に基づいたモデル化により、半導体のデバイス、作成プロセス、製造装置などを、コンピュータ上で最適化する手法。主に、装置シミュレータ、プロセスシミュレータ、デバイスシミュレータからなる。

 

形態係数

輻 射による熱伝達を解析する際に用いられる手段。ある面から放射された輻射のうち、別のある面に到達する割合を、二つの面の幾何学的な形状から表わしたもの を形態係数と呼ぶ。光源もしくは二次光源からの輻射の角度分布として、ランバートの余弦法則を仮定しており、拡散面での輻射を表わすのに用いられる。

 

光線追跡法

光 沢のある面(非拡散面)での輻射の伝達を解析する際に用いられる手法。光線から放射される光を計算機上において有限個の光線で近似し、計算それぞれが反射 や吸収される様子を、強度がある一定レベル以下になるまで追跡する。モンテカルロ法と組み合わされて用いられることが多い。

 

スケールアナリシス

流 体の解析などにおいては、系の大まかな構造を示すものとして、レイノルズ数などの無次元量が良く用いられる。流体や構造物の数値解析をする際に、対象とな るモデルを、これ等の無次元量が同一で、かつより解析が容易なモデルに置き換えて、系の大まかな構造を把握する方法。

 

有限要素法

連 続体を、微少な領域でのみ値をもつ単純な関数の重ね合わせで近似する計算方法。当初は固体力学の数値解析(構造解析)の手法として開発されたが、偏微分方 程式で記述される問題の数値解析法としても、広範に用いられている。複雑な形状でも、比較的容易に数値解析を行えるのが特徴。

 

モンテカルロ法

何 らかの現象を、乱数を用いて数値的にシミュレートする方法の総称。偶発的な現象の解析のみならず、複雑な現象の解析にも用いられる。その現象を表現する分 布の乱数を発生させ、少ない計算量で近似的な解析結果を得る事が出来る。後者の例としては、多数の粒子での散乱の解析などが挙げられる。

 

PCクラスタ

PC(Personal Computer)クラスタは2台以上の PC をネットワークで連結するもの。処理能力の高い計 算システムとすることで、システムを安く構築できることが特徴。

 

パラレルプロセッシング

一つのジョブ(シミュレーション)を複数の計算機に分けて並列計算処理する方法。

 

時間分割シミュレーション

時間をパラメータに解析する手法。例えば、A ガスや B ガスが定常的に流れている炉に C ガスを流し始めたとき、C ガスが時間とともにどのように広がっていくか、時間をパラメータに解析するのが「時間分割シミュレーション」である。

 

仮想反応炉

計 算機上で化学反応(CVD)を生じさせ、膜厚分布や抵抗率分布などの膜質特性を算出する概念です。本概念の導入により、装置やプロセス開発期間の短縮、開 発コストが大幅に低減できる可能性が大きい。最先端では、米国ボーイング社が流体解析の計算で、いきなり飛行機の量産機を製作している例がある。

 

感度解析

応答 ( 結果 ) に対する因子 ( 原因 ) が複数ある場合、どの因子がその応答に対して影響が大きいかを解析する手法。

 

分子動力学

多数の分子・原子の個々の運動の時間発展をコンピュータ上で同時に追跡することにより、分子・原子の集団としての性質を解析する手法。

 

量子化学計算

主に熱化学反応を量子力学的に取り扱う計算手法であり、プラズマ中の反応を取り扱うプラズマ化学計算と区別して使用する。

 

混合モデル

弱 電離プラズマについての計算機シミュレーションには、大別して粒子モデルと流体モデルがある。粒子モデルは個々の代表粒子の運動を直接追跡するので長大な 計算時間を要するが、前提とする仮定が流体モデルに比べて少ないため適用範囲が広いという特徴がある。一方、流体モデルはプラズマを流体として扱うため計 算時間を短く出来るが、マックスウェル分布を前提としているため適用範囲が限られる。これ等の折衷法として考え出されたのが混合モデルである。混合モデル では非平衡性の大きい ( 高速 ) 電子を粒子モデルで扱い、重いイオンを流体モデルで扱うため、粒子モデルと同等の適用範囲を確保しつつ、粒子モデルに比べて計算時間を少なくできるという 利点がある。

 

PIC法

Particle-In-Cell 法の略。粒子シミュレーションの代表的な方法の一つ。空間を格子で分割し、その内部に多数存在する粒子(電子など)を有限の大きさの粒子で代表し、これに より電場や磁場などによる粒子の運動と、粒子による場(電場など)を計算する手法。

 

FDTD法

Finite Difference Time Domain Method の略。FDTD 法とは,マックスウェルの方程式を時間,空間で差分化し,解析空間の電磁界の時間変化を直接計算する方法である。電界節点と磁界節点が時間的にも空間的に も半ステップ分ずれた差分化となっていて、電界と磁界を交互に計算する。計算時間が長いという欠点をもつが、コンピュータの高速化とともに近年良く用いら れるようになった。

 

直接シミュレーションモンテカルロ法

連続体とみなせないような低圧ガスの流れの解析手法で、少数の代表ガス分子の運動・衝突を確率に基づいて同時に追跡することにより、全体の流れを計算するという方法。

 

有限差分法

微分方程式で記述される連続体空間を直交座標系で離散化する計算方法。離散化された連立一次方程式が単純なバンド行列になるため、専用行列ソルバーと組み合わせることにより大規模で高速な計算ができる。解析対象空間が比較的単純な材料要素で構成される分野で発展した。

 

エミッタンス

イ オンや電子などの荷電粒子ビームにおいて、ビームの広がりを表わす物理量。横軸を光軸からの距離とし、縦軸を光軸となす角度として、光軸に直交する任意の 断面でのビームの分布を表わしたもの。分布そのものをエミッタンスプロットと呼び、この平面状でのビームの占める面積をエミッタンスと呼ぶ場合もある。

 

半経験的手法

シミュレーションに用いる必要なデータを、一部実験データを用いて評価する手法。

 

ディッシング

CMP プロセスにおいて幅広パターンでの配線断面が皿状にくぼむ現象。

 

エロージョン

CMP プロセスにおいて微細配線部で絶縁膜が Cu と共にはがれる現象。

 

ホモトピー法

既知の解をもつある方程式を別の目的方程式に連続変形させ、同時にその方程式の解を既知解から連続的に追跡することによって目的方程式の解を求める手法。アルゴリズム1.解くべき n 次方程式 f(x)=0
2.既知の解 x0 をもつ補助的方程式 g(x)=0とパラメータ t(0<=t<=1) を導入
3.ホモトピー関数を h(x, t) を定義:h(x, t) =tf(x)+(1-t)g(x)
4.h(x, t) の解を (x0, 0) から追跡し (x*, 1) を求める。x* が f(x) の解となる。

 

グリッドコンピューティング

分散して存在する異種の計算機をネットワーク(グリッド)で結合して、仮想的に高性能計算機とする技術であり、用途や目的などに応じて計算機の処理能力を柔軟かつ効率的に運用することを目的としている。

 

ニューラルネットワーク

生物の神経情報処理過程をモデル化した、時系列信号の情報処理。入力と出力の関係を学習することにより、広範な条件での結果を推測できるようになる。非線型で非定常的な系の制御に用いられる。特に、出力から入力を推定するいわゆる逆問題に、有効性を発揮する。

 

ex-situ

“ex-situ”測定の意味で使用し、プロセスチャンバ外でプロセス状況を測定することを意味する。装置外で測定することが一般的であるが、装置内で雰囲気制御を行ったまま測定することも含む。

 

in-situ

“in- situ”は、ラテン語で"もとの位置に"や"本来の場所に"の意味。本編では、“in-situ”測定の意味で使用し、プロセスチャンバ内でプロセス状 況を測定することを意味する。実時間制御に適用する場合、測定するタイミングはプロセス中であることが望ましい。

 

学習制御

モデリングの困難な複雑な系を自動制御する手法の一つ。系の入力パラメータを変化させた際の事後情報を何らかの形で評価し、これ等のデータを自動的に蓄積しながら、より良い制御入力を見出す方法。アルゴリズムとしては、ニューラルネットワークなどが用いられる。

 

システム制御

系の入力と出力の関係を何らかの方法(システム同定実験もしくはシミュレーション)から求め、安定した出力を得る現代的な制御手法。多入力、多出力にも対応できるのが特徴。他分野では安定したオンライン管理の手法として、実績がある。

 

重み付き移動平均

移 動平均は、ある時間内の複数データの平均を特定時刻の代表データとして見ることにより、ばらつきの大きいデータの大域的時間推移を見る方法であるが、平均 を取る際に新しいデータにより大きな重みを加える方法を重み付き移動平均という。単純な移動平均より、データの急変に対する応答性が良い。

 

応答曲面

条 件パラメータ(x1, x2, ...)と出力応答量fの間の関係を表す関数 f( x1, x2, ... ) 。通常は、何点かの解析もしくは実験結果を用いて統計的に近似した関数である。一般的には,解析や実験点のパラメータ設定に実験計画法が使われ,関数の近 似に最小二乗法が使われる。これを最適設計に用いることは PC の発達とともに米国で品質工学において発達した。

 

最適レギュレータ

シ ステム制御で用いられる手法の一つで、状態の目標値からの偏差の二乗と入力の二乗の和からなる評価関数を最小にする制御方法。系の状態が線形常微分方程式 で記述される場合、これを満たす制御は、一意的に決定される利得行列を状態の偏差に掛けたフィードバックにより得られる。

 

カルマンフィルタ

シ ステム制御で用いられる手法の一つで、雑音を含む測定を繰り返す事により、状態を推定する方法。雑音が Gauss 分布で、かつ被測定系の状態が線形常微分方程式で記述される場合、前回の推定値と新しい測定値から、新しい推定値(平均値と共分散)が正確に与えられる。

 

均一温度制御技術 (Uniform Temperature Control)

複 数の温度制御の動作を協調させることにより、それら複数の温度を過渡状態においても均一の状態に維持することを可能にする制御技術。半導体ウェーハの精密 温度制御や大型チャンバのゾーン制御などを対象に、傾斜温度制御法,ΔL制御法,FOLLOWER制御法などが汎用的な技術として実用化されている。

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