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1)  ball milling

球磨法

1.

On Mg-Cu amorphous alloy powders produced by ball milling;

球磨法制备Mg-Cu非晶态合金粉末

2)  ball-milling method

球磨法

1.

The main synthesized methods for preparing calcium zincate as zinc electrode material are chemical synthesis method,ball-milling method and chemical coprecipitation method.

制备二次锌负极用锌酸钙的主要方法有:化学沉淀法、球磨法、络合沉淀法三种。

3)  milling

球磨法

1.

ZrO2-stearic acid phase change energy storage materials was prepared by the method of high energy milling,which is widely used in industry production.

采用可适用于工业生产的球磨法制备氧化锆-硬脂酸系相变储能材料。

2.

The production technology for Mg and Mg alloy powders are:grinding milling,atomisation,melting and recycling,turning and chipping.

由于镁及镁合金的独特性能,其粉末及粉粒通常用球磨法、铣削法、雾化法生产,特别是铣削法用得最多。

4)  high energy ball milling

高能球磨法

1.

The influence of polyvinyl chloride on α-Fe2O3 by high energy ball millingα-Fe2O3 / polyvinyl chloride system is investigated by using Mossbauer spectroscopy,and the nanometerα-Fe2O3 is found from the production.

运用高能球磨法研磨α-Fe2O3/聚氯乙烯混合材料,Mssbauer谱测量发现有超顺磁双峰叠加在原有的α-Fe2O3/六线峰之上,表明α-Fe2O3/加入聚氯乙烯一起球磨时,有纳米α-Fe2O3微粒形成。

2.

Iron/polystrene(Fe/PS) nano-structure compound is prepared using the technique of high energy ball milling.

用高能球磨法制备铁与聚苯乙烯纳米复合材料,对其组分采用穆斯堡尔谱和X衍射谱分析,结果表明复合材料中有Fe5C2和Fe2C生成,略有部分Fe氧化。

3.

SiC_p/6066Al composites were fabricated by the method of high energy ball milling and quick hot extrusion at low temperature.

采用高能球磨法混料和低温快速热挤压相结合的粉末冶金工艺制备了SiCp/6066Al复合材料,研究了制备工艺对增强体颗粒分布均匀性的影响。

 

5)  high-energy ball milling

高能球磨法

1.

The chemically synthesized compound powder and the nano powder obtained by high-energy ball milling are two development trends of ZnO varistor c.

对粉体的制备方法和应用前景进行了展望,指出化学法合成复合粉体和高能球磨法制备纳米粉体是氧化锌压敏陶瓷粉体的两个主要发展趋势。

 

6)  high energy ball mill

高能球磨法

1.

In order to make the alloy steel powder which conform to our need,the technique of high energy ball mill is studied.

高能球磨法是制备超细粉体的一种重要方法,但对不同的材料,制备粉体所需的工艺区别较大。

2.

The copper/paraformaldehyde functure nanocomposite materials are made by high energy ball mill.

采用高能球磨法制备了铜/多聚甲醛纳米功能复合材料。

3.

The nanometer polymer-ferric oxide composite is prepared by high energy ball mill,whose average diameter is 10nm.

采用高能球磨法制备聚合物—氧化铁纳米复合材料,平均粒径为10nm,Mossbauer测量显示有超顺磁性。

 

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港明高中 陳俊豪老師

一﹑一群地位特殊的化外之民

在 化學元素週期表的最右邊,有一族叫做鈍氣的元素,全族成員一共有六個,念過國中化學的學生都能很順口的背出來-氦﹑氖﹑氬﹑氪﹑氙﹑氡。他們因為個性不活 潑,幾乎不跟其它元素起反應,表現得遲鈍又呆板,因此才被稱為「鈍氣」(Inert Gas)。 這種個性在元素界看來,未免是懶散怠惰﹑不負責任,因此也翻譯做「惰性氣體」。但若從另一個角度來解釋,則也可說是遺世獨立﹑孤芳自賞﹑似乎自有一股不隨 流俗的傲骨,因此又被稱為「高貴氣體」(Noble Gas) 。此外,比起氧﹑氮等氣體,它們在自然界中的存量可說稀少得多,因此又有一個名字叫「稀有氣體」(Rare Gas)。不過這個稱呼現在漸漸少用了,因為它們在大氣中的含量,少則少矣,像其中的氬畢竟還佔空氣成分的百分之一左右,比起只佔萬分之三的二氧化碳來 說,也不算少了。

這一群「化外之民」的元素,雖然都存在我們日常生活呼吸坐臥的大氣之中,但因都是無色﹑無臭﹑無味的氣體,其存在量既不 多,又老死不跟其它元素往來,因此就很難發現它們的蹤跡。到十九世紀末,當自然界存在的 88 種元素中,九成以上都已經上了科學的舞台了,它們全族六個都還完全沒有露面。 1869 年,俄國的門得列夫發表了週期表,將當時已知的元素依原子量大小排列後,歸納出元素性質有週而復始的週期規律,不但把五花八門﹑各色各樣的元素納入系統歸 類,一一予與定位,而且還依週期規則,由一些空

缺位置設想應有那些人類尚未發現的元素,甚至預言它們應有的性質,得到很大的成功。但是週 期表卻也像給了鈍氣一件隱形的外衣,反而更加保障了它們的不會被發現。因為它們是全族沒有成員曾出現過,門得列夫的元素表中完全沒有留下它們的座位,因此 當所有的座位都有人坐了,誰還料到會有一家人完全缺席?甚至當他們露臉時,恐怕還會因沒有座位,身份曖昧而難以被承認呢!

在這種條件背景 之下,這組鈍氣要撥雲見日,登上科學舞台,實在不是一件容易的事。它的量少,一定要細心掌握﹑精確量測,絕不可粗枝大葉﹑馬虎將就;它不活潑,沒有任何反 應性,現有的化學技倆它都無動於衷,一定要旁敲側擊,另闢蹊徑;更難的是,它妾身不明,「不應該」有地位,要推翻已經證實那麼完美﹑那麼理想的週期表,再 騰出一個位子來安排它,需有多大的勇氣與信心啊!偏偏世界上就是有那樣具有細心﹑耐心與信心,不馬虎﹑不妥協,一心一意執著的追求精確與完美的人,花下十 多年的功夫,終於把這隱藏在自然界角落裏的元素給找出來了!他們是英國的雷利勳爵和拉姆塞爵士,下面就來看看他們是怎麼發現鈍氣的。

二﹑從山窮水盡到柳暗花明的科學界

話 說自然科學從十七﹑八世紀伽利略﹑牛頓﹑拉瓦節幾位大師啟蒙奠基後,一日千里的發展起來,經過一兩百年的分支繁衍﹑壯大充實,經由無數物理學家﹑化學家的 經營灌溉,到了十九世紀末葉,已經達到一個各方面看來都很成熟﹑很完美的巔峰。物理學的五大部份-聲﹑光﹑熱﹑力﹑電磁,各部門的理論和學說都已架構完 成。已知的自然現象大致已都能用這些學理來做完善的解釋。化學元素已認識殆盡,各種分析技術都已建立系統化,各色各樣的化合物在酸鹼﹑染料﹑炸藥等工業甚 至有機﹑醫藥﹑農業等方面都已有妥

善的應用,解釋化學變化的動力論﹑解離說也都已一一出爐。樂觀的人覺得,人類的科學文明已經發展到極 致,可以開始高枕無憂的享用文明的成果了,悲觀的人則認為,科學研究已經到了盡頭,科學家從此無所事事,再也沒有東西可以研究了!當時就有人自嘆生不逢 辰,恨不早生幾年,科學之海中最大的幾條魚已經被牛頓﹑克爾文﹑馬克士威爾等物理大師和拉瓦節﹑道爾吞﹑亞佛加厥等化學大師撈走了,剩下的一些有限的小魚 也被後來的大大小小的科學家抓走了,後輩學科學的還有什麼便宜好揀的?真的,當時的科學家在找不到適當的研究題材的困境下,大概都只好把注意力跟精力花在 如何把已知的數據測量得更精確,或把已知的常數求算到小數點以下更多的有效位數,例如把氫的原子量從 1.01改成更精密的 1.008 ,把鋅的氧化電位從 0.76 伏特修正到 0.7628 伏特,把標準狀況下理想氣體的莫耳體積從 22.4 升求算到 22.41 升,再更精確到 22.413,甚至到 22.4138 升等。

我們故事的主人翁雷利勳爵開始時也是這樣。自從 1775 年前後,近代化學之父拉瓦節分析空氣組成,而確定空氣中含有五分之一的氧和五分之四的氮,以及少數不定量的二氧化碳和水蒸氣之後,一百多年過去了,科學界 都深信對大氣的研究已經非常透徹,沒有人想再做進一步的探索。但從 1882 年開始,雷利卻心血來潮,也想追隨時代潮流,重新更精密的測定大氣成分中各種組成氣體的密度。誰也料想不到,從這一番精確度的追求中竟會導致一個影響深遠 的重大發現,為下一世紀的科學界揭開新的一頁。這裏我們先來介紹一下瑞雷這個人。

三﹑科學泰斗卯上氮氧氣體密度

雷利勳爵 正式稱呼是雷利男爵三世 (Lord Rayleigh the Third),原名約翰.威廉.斯特拉特 (John William Strutt),1842年11月12日生於英國倫敦東北方的艾瑟克斯郡 (Essex)一個叫蘭福德格洛夫(Langford Grove)的小城。雷利是他世襲的貴族封號,封地在特靈宮(Terling Palace)。1865年自劍橋大學三一學院以第一名成績畢業後,就在他家族位於特靈宮的莊園建了一所實驗室,一頭栽入科學研究中,開始他一生多彩多姿 的學術生涯。他最初研究的領域是聲學和光學,他發表的一篇以日光被空氣中的微粒散射來解釋天空何以呈現藍色的理論,使他聲名遠播,很早就在科學界嶄露頭 角。1877年出版名著「聲學原理」,以彈性固體和氣體的振動和共振來說明聲音的行為,並以數學方程式分析稜鏡和繞射光柵的鑑別率。他所提出的「雷利散射 定律」是波傳播問題的經典學說,是古典物理學中一條重要的定律。

1879 年,劍橋大學物理系甫於1874 年完工成立的卡文迪士研究所的第一任所長﹑電磁學大師馬克斯威爾過世,各方矚意遺缺由雷利出任。但是雷利在自己特靈宮的實驗室裏研究得正起勁,生活得很寫 意,並無意於擔任教職或行政工作,所以一直推辭。最後經不起劍橋大學的「威迫利誘」,終於才勉為其難,心不甘情不願的走馬上任,擔任這個歐洲首屈一指的科 學重鎮的首長,但以五年任滿為條件。所以當 1882 年開始從事精確測量大氣成分氣體密度的工作時,雷利擔任卡文狄士研究室的第二代掌門已有三年,已經是位望

重一方的科學泰斗。

  他先從氧密度的測定著手。他由三個不同的途徑來製取純氧:電解水﹑加熱氯酸鉀和加熱過錳酸鉀氧。結果發現三種不同來源的氧所測得的密度數值完全一致,他感到非常滿意。當時已知的氫對氧的密度比是 1:16,而經他精密測定後,得到更精確的 1:15.882 。

接 著他再測氮的密度。他由兩種方式來製取氮,一是由空氣中提取:他先讓空氣通過鹼石灰以除去二氧化碳和水分,再把這種純淨的乾燥空氣反覆通過裝有銅粉而燒得 通紅的石英管,這時空氣中的氧就會和銅化合成氧化銅而除去,剩下氮氣。他仔細測定這樣所得的氮密度,在標準狀況下每升是 1.2572 克。另一個方式是由氨的分解來製氮:他讓氧和氨的混合氣體通過赤熱的氧化銅,此時氨中的氫就會和氧化合成水而分離出氮氣。他也精密的測量這樣所得的氮的密 度,卻發現每升為 1.2508 克,比由空氣獲得的竟然少了千分

之五。

四﹑無法自圓其說的困境

當雷利 得到這個結果的時候,已經到了 1892 年,這種精密定量的功夫曠日費時,倏忽已過十年。經過這十年的歷練,雷利對自己實驗的技術已有絕對的自信,他檢查各個實驗環節,知道這種差異絕對不是實驗 的疏忽或錯誤所造成的。照道理,只要是純氮,則無論其來源為何,它的性質應該都是相同的,應該具有相同的密度才對。那為什麼從空氣中取得的氮會比從氨中取 得的氮要重上千分之五,他自己提出四點可能的原因來解釋:

(1) 可能大氣的氮中會殘存一些不能去除的氧而使密度變大。但經過計算後,發覺這一點不可能,因為氧 

         的密度雖然比氮大些,但要讓密度提高到千分之五,則須雜有相當大量的氧才行,而在除氧的過程中

         是不可能有這麼大的漏洞的。

(2) 可能從氨分解得來的氮中含有少量的氫,才使其密度偏小。但經設計一些除氫的實驗後,其密度仍然

         一樣。所以這一點也被否定了。

(3) 會不會氮也會像臭氧形成三原子分子的03一樣形成N3,而使密度增大?但他仿效臭氧形成的條件,

          引入電火花對氮行高壓放電,發現體積並不縮小,密度也絲毫沒有變大,可見這一點也說不通。

(4) 由氨分解出來的氮在高溫下再行分解,使得密度變小。但是氮的安定性是眾所週知的,區區火焰造成

         的熾熱溫度就要讓它分解,誰也不能信服。在百思不得其解的情況下,雷利不得已只好將這種結果對

         外宣布,1892 年的 4月19 日他向英國皇家學會報告了他的實驗結果,並尋求化學方家們可能的解釋

         。

五﹑化學方家出馬襄助

  雷利所遭遇的困境真的引起了另一位科學家的興趣,他就是著名的蘇格蘭化學家﹑倫敦大學的教授拉姆塞爵士。這年秋天他在「自然週刊」上看到這個消息,就自告奮勇與雷利聯絡,希望共同合作,來探討這個問題。

拉 姆塞爵士(Sir William Ramsay)雖比雷利年輕十歲,卻也是一位大有來頭的人物。1852 年10 月2 日生於格拉斯哥,是一位愛談科學的父親和一位篤信宗教的母親的獨生子。先在格拉斯哥大學念拉丁文﹑德文﹑法文和英國文學,到 17 歲才正式專攻化學,因此具有相當深厚的語言和文學根底。在國內隨幾位名師學習基礎化學後,於 1870 年負笈德國,先到海德堡大學拜在名滿歐洲的化學大師本生門下學分析,不久又轉赴杜賓根大學隨多才多藝的費蒂希(R.Fittig 1835-1910)學有機,二年後就得博士學位,此時年方二十。

回國後在母校任助教時,就提出了關於液體的臨界狀態與溫度﹑壓力關係的 「拉姆塞楊格定律」而名噪一時。他測過許多氣體的密度﹑液體的蒸氣壓﹑臨界常數和表面張力等,還與雪爾茲(J.Shields) 發明了可以測定液體分子量的「拉姆塞雪爾茲方程式」;他曾任布里斯托(Bristol) 專科學校校長,1887 年開始在倫敦大學當教授。

和雷利的物理學家背景不同,他是化學科班出身,對實驗分析各方面早有豐富經驗,有他來加入研究

,使得雷利如魚得水,樂不可支。

六﹑百年秘笈重現江湖

除 了有拉姆塞這麼一位精神﹑學養﹑能力﹑威望都足堪匹敵的重量級人物做研究伙伴之外,雷利又得到一位異人-英國皇家學院的化學教授迪瓦 (James Dewar, 1842-1923)的指點,給了他一個重要資訊,讓他信心大增,知道吾道不孤,此番研究工作大有可為。迪瓦就是今日保溫瓶的發明人,是一位低溫化學大 師,最著名的事功就是 1899 年把氫氣液化並固化。

  有一天迪瓦向雷利提供了一個重要線索,根據他在卡文迪士研究室所典藏的文獻記 載,一百多年前的前輩卡文迪士(H.Cavendish 1731-1810) 曾在空氣中發現一種很特別的成分。他利用起電盤提供高壓電,讓各種混合氣體在密閉的容器中進行放電實驗,他發現這樣的電火花會使空氣產生紅棕色的硝酸氣, 就是二氧化氮,這當然是由空氣中的氧和氮作用生成的。但是當他更深入去研究時,竟然出現了一個他感到莫名其妙的結果。

他把一個U形管開口 向下,垂直放入一個裝滿水銀的燒杯中,使管內的空氣被密封,又在管內水銀面上安放少許可以吸收酸性二氧化氮氣體的苛性鉀。然後他把電火花引進U形管內,當 空氣中的氧和氮反應成二氧化氮時就被苛性鉀吸收掉。隨著二氧化氮的生成和被吸收,管內的氣體便逐漸的減少。當管內的氧氣消耗完了,他便繼續輸入一些氧氣並 再次引入火花放電,如此反覆進行,希望把空氣中的氮全部去除淨盡。最後U形管內殘存的氣泡,無論再怎麼放電都不會再縮小時,應該就是多餘的氧了。這時候再 往U形管中注入

一些硫肝液,(即多硫化鈣)以吸收掉這些過剩的氧氣。照道理,一旦氧被吸收,管內再無氣體留存,就該完全被水銀充滿,氣泡 就該完全消失才對。然而他卻發現,管內仍有氣泡,不知道為什麼。他反覆的再對它放電﹑吸收,它都無動於衷,依然頑固的存在著。他連續做好幾次實驗,每次的 結果都一樣。而且無論他用的空氣量如何,最後剩下來的氣泡體積,大概都是空氣原量的 1/120 。因此他曾下結論說:空氣中除了氧和氮兩種成分外,恐怕還有一種非常安定的成分,不過它的成分很少,總量不超過空氣的 1/120 。不過這裏我們稱之為「氧」﹑「氮」的氣體,當時並不這樣叫,那時的科學界還稱之為「脫燃素空氣」與「濁氣」。

七﹑科學照妖鏡下懶人終於現形

雷 利得到這個訊息,不禁大喜過望,看來他自己做的實驗結果並沒有錯,上一世紀的偉大科學家已碰過相同的情形了!他找出這份文獻來研究,重覆當年卡文迪士所做 的實驗,果然取得了那種無法讓它反應的氣體。拉姆塞則以他專業的化學知識,設計了另一個去除空氣中氮成分的方法:讓氮和鎂粉在高熱下形成黃色的氮化鎂粉 末。他把除去水蒸氣﹑二氧化碳和氧氣的空氣,反覆通過熾熱的﹑裝有鎂粉的管子,希望能將氮悉數轉變成粉末狀的氮化鎂。但是無論他怎麼加熱,到最後果然仍會 剩下一些氣體。他經過精密測定,其

體積是原空氣的 1/80,密度則是氫的19.086倍。到此,果然有一種非氧非氮的「幽靈」氣體存在空氣中已無疑義,雷利和拉姆塞都相信那是一種變態的氮。

1894 年初,拉姆塞做了一個決定性的實驗-測量這種氣體的光譜。他仔細的收集了許多這種氣體,充入放電管中,兩極施以高電壓,讓它產生輝光,然後通過分光鏡分析 它的光譜。他發現它的光譜居然與氮的完全不同,是一種前所未見的一群紅線和綠線。元素的光譜就像人的指紋一樣,同一元素就有同樣的光譜,如今得到一種前所 未有的光譜,莫非這種幽靈一樣的氣體竟是一種新的元素?拉姆塞以他化學家的專業技巧,開始當它是一種新的元素來測定它的各種物性和化性,而在當年 8 月13 日於牛津大學召開的自然科學

家代表大會上,與雷利兩人共同宣佈發現了一種新的氣體元素。由於這個氣體與各種活潑的元素像氯﹑氟﹑ 碳﹑硫以及各種金屬等都不發生化學作用,即使加熱﹑加壓﹑通入電火花或以各式各樣催化劑去催引它都沒有用,因此大會的主席馬丹(H.G.Madan) 就提議,依希臘字的「懶惰」Argon 而將它命名為氬 (Argon)。

八﹑身世不凡的科學怪人

說來卡文迪士也真厲 害,在那個連氧和氮的本質都還混沌未知的時代,居然可以由精密的分析而預見空氣的成分中含有一種微量的惰性成分。他是得文夏 (Devonshire) 第二任公爵的孫子,生於貴冑之家,卻可能是當時最傑出的科學家。一生研究的科學領域,無論深度或廣度都要超前時代數十年,例如在物理學上,他以扭力天平驗 證了萬有引力定律,算出引力常數與地球密度;獨力發現電荷間作用力與距離平方成反比;比歐姆早約五十年導出電壓與電流間的正比關係;甚至已由電子層的假設 發展出場的理論。在化學方面,他研究氫氣﹑二氧化碳﹑硬水﹑蒸氣壓等;他首度由氫和氧合成水,證明水不是元素而是由氫和氧組成的化合物;還由氮﹑氧﹑水蒸 氣合成了硝酸。

1871 年,他的家族為了紀念這麼一位傑出的先輩,乃由當時擔任劍橋大學校長的得文夏第八任公爵提供資金,請馬克斯威爾負責,在劍橋大學興建一所世界上規模最大﹑設備最完善的實驗室,而以卡文迪士為名,這就是卡文迪士研究室的由來。

   然而當年這位才氣縱橫的卡文迪士,卻是一位有名的科學怪人。他生性保守內向,交際對象僅限於在皇家學會中一同午餐的成員。因不善辭令,時常顯得畏縮而可 笑,對女子尤其患有無可救藥的神經性恐懼,終生不敢結婚。對於不完整的實驗結果或覺得不夠成熟的理論都不敢公諸於世,他生前發表的論文只是一生研究的一小 部分。若不是馬克斯威爾在成立卡文迪士研究室時將其手稿整理出來,編輯付梓,恐怕許多研究結果都要湮沒了。上面提到的他對空氣成分的實驗研究就是一個例 子。

九﹑舊案重審才知地上也有太陽

氬的原子量為 39.95,比空氣的氧和氮的分子量 32.00 和 28.01 要大,在空氣中的含量達 0.934%。從空氣中將氧除去後的氮中因為含有它,難怪要比純粹的氮重上 0.5%。瑞雷當初實驗的疑問是解決了,但是新的問題來了,既然它是一種新的元素,那要排在那裏?門得列夫的週期表中已經沒有空位可以安置它了,難道會是 週期表錯了?還是週期表仍不夠周密?這可是一個有待解決的有趣課題,以他敏銳的直覺,拉姆塞知道下面一定還有重大的秘密隱藏著,不過,暫時就讓它成為一個 懸案吧!

1895 年,拉姆塞讀到一篇報告,一位美國地質調查所的地質化學家,名叫希爾布蘭德(W.F.Hillebrand,1853-1925) 的,在 1888 到 1890年間,將瀝青鈾礦粉溶入硫酸中時得到一種氣體,經實驗發現這種氣體也是軟硬不吃,毫無活性的。拉姆塞想,大概這就是存在礦物中的「氬」吧!於是和 他的助手﹑聰明幹練的特萊弗斯(M.W.Travers,1872-1961) 重覆希爾布蘭德的實驗,把收集到的那種氣體充入放電管中,觀察它的輝光光譜。然而,意外的,它的光譜居然與他所熟知的氬的紅綠線群完全不同,竟然是黃色 的!

這使他想起了 27 年前轟動一時的「太陽元素」。原來當 1860 本生與基爾霍夫 (G.R.Kirchhoff 1824-1887)利用新興的光譜學發現了銣﹑銫等新元素後,在科學界掀起了一陣如火如荼的浪潮,競相分析物質光譜,以期發現新的元素。就在 1868 年十月,法國天文學家讓森 (P.Janssen,1824-1907) 與英國皇家物理天文台台長洛克伊爾(J.N.Lockyer,1836-1920)同時向巴黎科學院提出報告,聲稱在太陽光譜中又發現了新的黃色譜線。洛 克伊爾認為那應該是一種未知的新元素的譜線。並依「太陽」的希臘語「helios」而逕自將它命名為「Helium」-氦,這就是尚未定案的「太陽元 素」。莫非他所觀察到的黃色光譜就是這種元素造成的?

拉姆塞沒有「太陽元素」的光譜,不敢冒然就下定論,他們把氣體樣本寄給當時英國最權 威的光譜學家克魯克斯 (Sir W.Crooks,1832-1919),請他分析判斷,結果證實沒有錯,這種氣體的光譜與得自太陽的「氦」的光譜完全一致。原來氦不是只存在於太陽中, 地球上也有它的存在!就這樣,拉姆塞和特萊弗斯又「重新發現」了氦!

十﹑由命盤推演做大膽預言

接著拉姆塞就開始設法測定 氬和氦的原子量,以便確定它們在週期表中的可能位置。由於這兩種氣體都不跟別的元素化合,沒有它們的化合物,因此一向採用的「康尼查洛法」不能適用,只好 另走偏鋒,研究其它方法。他們先用熱容量比值法判斷它們是單原子分子,再由密度的測定推得氦原子量為4.2 ,而氬原子量為 39.9 。根據這樣的原子量,氦應該排在氫(原子量為1.01) 和鋰(原子量為7.0) 之間,而氬則應該在鉀(原子量為 39.1)的附近。但是當時這些地方都已經不可能再擠入一個空位來容納新來者了,除非...

拉姆塞心中靈光一閃,對了!除非週期表上尚有 一整族的元素都還完全沒有被發現!那需要的就不只是一個空位,而是一整個空行了!根據原子量的規律,這個空行應該在鹼金屬元素與鹵素之間,因為目前週期表 上相鄰的鹵素與鹼金屬元素間原子量的差異顯得特別大,如果在其間加上一族元素,則規律要圓滿得多。因此他相信這裏一定有一個以氦為首的惰性氣體的新族存 在。於是在 1898 年拉姆塞寫了一篇論文「週期律與惰性氣體的發現」,根據週期表的上下左右關係,做了一些大膽的預言:在氦與氬之間應該還有一個不活潑的元素,原子量大約 20 ;而在氬的下面應該還存在兩個原子量約 82 和 129 的惰性元素。他的預言其實很有道理,當時的週期表,氫之下有鹵素氟﹑氯﹑溴﹑碘,鹼金屬元素則依次為鋰﹑鈉﹑鉀﹑銣﹑和銫。在氫與鋰之間既然有一個原子量 在其間的氦,氯 (原子量為 35.5)與鉀之間也有一個原子量大約在其間的氬,則氟(原子量為 19.0) 與鈉 (原子量為 23.0)間也應該有一個原子量在其間的元素,推而廣之,溴(原子量 79.0) 與銣(原子量 85.5)間﹑碘(原子量 126.0) 與銫(原子量 132.0)之間不也應該各有一個原子量居中的對應元素嗎?

十一﹑藏鏡人﹑陌生人一一現身

接下來的工作當然就是設法找 出這些未知元素了,由拉姆塞出主意,而精敏的助手特萊弗斯則負責操作。他們仿效希爾布蘭德,由各種稀有的礦物下手,但找過七種隕石,二十種礦泉水,一百五 十種各色各樣的礦石和無數的化合物,都毫無蹤跡。後來想想,會不會仍然像氬一樣隱藏在空氣中?於是利用新發展的低溫技術,製得大量液態空氣,再以分餾法來 慢慢離析。1898 年五月間他們將 15 公升的液態氬漸漸蒸發到剩下 25 cc 的氣體,然後對這些剩餘氣體進行分光,發現其光譜中有一條光亮的黃線,卻不是氦的,又有一條光亮的青色線,卻不是氬或其它已知氣體的,經測其密度大約為氬 的兩倍,他們斷定這應該是一種新的氣體元素,乃依「隱藏」之意,取名為 "Krypton",這就是「氪」。測得的原子量為 82.9 ,恰在溴與銣之間,與當初的預測完全吻合,這是鈍氣元素裏的第四個成員。

其實這個新元素的發現並不是拉姆塞所最渴望的,他原是想找到位於 氟與鈉之間的那個惰性元素。但按週期規律推斷起來,這個元素的沸點可能比氮和氧還要低,將空氣液化時,它不見得會跟著凝結下來,恐怕需要更低的溫度才行。 於是他們又以讓液態空氣在減壓時沸騰吸熱的技術,造成超低溫,使氬固化後再慢慢揮發,然後收集最早餾出的氣體,果然經由光譜分析,得到了預期的新元素。當 年六月宣佈這個結果,以「新奇」的字意,將它命名為 "Neon" ,這就是第二個鈍氣「氖」。經測其原子量果然是 20 。

七月間,以他們駕輕就熟的低溫技術,製得大量氪後,對它反覆分餾,從中取出沸點最高部份的氣體

,再以放電管及分光鏡,證實含有另一個新的惰性氣體,拉姆塞將之命名為 "Xenon",意為「陌生人」或「異國人」,這就是第五個鈍氣「氙」,原子量為 130。與預估值相差無幾。

後 來拉姆塞堅信空氣中也應該含有氦,只是它的分子量那麼小,沸點一定很低,要取得它關鍵就在能否有更強的冷凍劑,還好當時迪瓦剛做到以攝氏零下253 度的低溫將氫液化,他們就利用液態氫作冷劑,終於從固態的氖中分離出氣體氦來。就這樣,僅僅幾個月時間內,這些鈍氣族元素全被發現了,從大氣中分離惰性氣 體的功業終於圓滿告成,從此週期表中就多了一個完整的「零族」元素(或編排為「ⅧA族」)。

當初氬的出現曾使得週期表的真確性出現危機,但從根據週期律對其它鈍氣所作的預言到每個鈍氣的一一發現,卻使週期表勝利的通過了一次考驗,更加顛撲不破的印證了它的正確性。

十二﹑一事不煩二主﹑錦上添花功德圓滿

   目前已知這些氣體在大氣中的含量,除了氬有 0.934 %算比較多外,其他的,氖佔0.00182%,氪佔 0.00012%,氦佔 0.00053%,氙則僅佔 0.00009%,這麼少的存量,實際上比海水中的金還要少得多,能夠把它們單析出來,實在也真不簡單了!

至 於最後一個鈍氣-氡的發現則是從另一條線索獲得的。在 1897 年,居禮夫婦等發現「放射性」與放射性元素「釙」與「鐳」,而揭開近代核子科學的序幕後,這個神秘的現象立刻吸引了所有科學家的眼光,對放射性的研究風起 雲湧的展現開來。1900 年德國一家名氣不大的大學的物理教授道恩 (F.E.Dorn,1848-1916) 發現鐳會不斷的發射一種也具有放射性的氣體到空氣中,他把這種氣體稱為「鐳射氣」。當時的大科學家,包括後來發現原子核和質子的拉瑟福 (E.Rutherford,1871-1937),發現同位素的索第(F.SoddY

,1877-1956)等都投入這種鐳射氣的研 究。他們把這種氣體充入放電管中進行光譜觀測,曾發現出現一種未知元素的譜線,但這種新譜線的強度卻會隨時間而慢慢減弱。他們想進一步探索這種未知譜線的 究竟,但是不得要領。最後的成功仍然回到化學家拉姆塞的手上,他以從前研究各種鈍氣的經驗,除研究它的光譜外,又將這種「鐳射氣」液化﹑固化並研究各種性 質,終於在 1910 年成功的測得其原子量 223 而證明它是第六個惰性氣體元素。因為它是從鐳放射所產生的,乃依鐳的名稱 "Radium" 而命名為 "Radon",這就是「氡」。到此鈍氣一族終於全員到齊,令人不禁嘆服和感到不可思議的是,這六種元素的發現居然都是由拉姆塞完成的,在一個人的名下, 於短短十年左右就發現了一整族的六個元素,諦造了一項化學史上難能可貴的記錄。

十三﹑實至名歸雙獲諾貝爾獎

故事到這裏差 不多該結束了,最後再交代一下這些功臣們的事蹟和所獲得的榮寵。最先引發鈍氣發現的雷利勳爵,在他擔任卡文迪士研究室主任的五年期間,致力於實驗室訓練與 設備的標準化,重新決定電阻歐姆﹑電流安培﹑與電壓伏特的測量方法等,在短短時間內使卡文迪士研究室成為歐洲首屈一指的學術研究重鎮。1884,五年期滿 後,真的就離職重回他的特靈宮,全力投入氬的研究事業。順便一提,繼他之後,卡文迪士研究室的第三代掌門就是後來發現電子的湯木生爵士(Sir J.J.Thomson,1856-1940),而第四代就是前面提過的拉瑟福。經過十多年的慘澹歲月,1895年宣佈氬的發現使雷利的聲望達到巔峰,各 項獎章與獎金接踵而至,1904年榮獲科學界的桂冠諾貝爾物理獎。第二年被選為英國皇家學會主席,後來又獲贈劍橋大學榮譽校長之銜,至 1919 年逝世為止,一直享有崇高的地位。

拉姆塞的天才是多方面的,除了本行的化學外,他有極深的音樂造詣,有專業畫家的美術修養,能用五種語言 演說著述。氖﹑氬﹑氪﹑氙的發現使他獲得 1904 年的諾貝爾化學獎,當過英國化學會﹑化學工業會﹑大英科學聯合會﹑國際應用化學等會的會長,1916年以鼻病去世。在世的最後幾年則從事放射性衰變的研 究,在原子科學中也留下了不少的貢獻。

幫拉姆塞做實驗,共同發現氖﹑氬﹑氪﹑氙的特萊弗斯是倫敦市人,沒什麼重大的名氣,但在整個鈍氣的 發現中,其實功勞很大,因此文獻上提到拉姆塞的實驗時,總會帶上一筆,提到他的名字。他後來在大學擔任教授,寫了一本「稀有氣體發現史」,將他當年與拉姆 塞研究鈍氣的過程詳細記錄了下來。

最後,謹以拉姆塞去世前對學生所說的一段語重心長的話來做為本文的結束。「研究科學的基本精神就是要多 看﹑多學﹑多問﹑多試。研究有得,還得更虛心踏實地去印證,不要忙著吹噓或炫耀。怕費時費事的人最好不要學科學,學了也不會有成就。難,正是致學的原動 力,是懶人的藉口,學科學正是要去克服困難。隨時要保持虛心,什麼都懂的人,往往是什麼都不懂。」

 

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還記的大學時期
化學週期表的每個元素原文全稱
全部都背起來
實在是件不輕鬆的事
近日從科學雜誌和網路上看到
原來每個元素有許多有趣的小故事
1894 年初,拉姆塞做了一個實驗-收集了許多這種氣體,充入放電管中,兩極施以高電壓,讓它產生輝光,然後通過分光鏡分析它的光譜。
每個元素的光譜都是獨特的
但是他卻得到一種前所未有的光譜
它的光譜居然與氮的完全不同
拉姆塞以他化學家的專業技巧,開始當它是一種新的元素來測定它的各種物性和化性,由於這個氣體與各種活潑的元素像氯﹑氟﹑碳﹑硫以及各種金屬等都不發生化學作用,即使加熱﹑加壓﹑通入電火花或以各式各樣催化劑去催引都沒反應
就用希臘字的「懶惰」Argon 而將它命名為氬 (Argon)。
既然找到一種新的元素,那要排在哪?
門得列夫的週期表中已經沒空位了….
阿扁錯了嗎? 阿扁真的錯了嗎? 難道元素表真的錯了嗎?.
哈~
拉姆塞總總覺得新元素與元素表之間還隱藏著秘密
1895 年,拉姆塞讀到一篇報告,一位美國地質化學家名叫希爾布蘭德(W.F.Hillebrand,1853-1925) 的,在 1888 到 1890年間
將瀝青鈾礦粉溶入硫酸中時得到一種氣體,經實驗發現這種氣體也是軟硬不吃,毫無活性的。
拉姆塞想,大概這就是存在礦物中的「氬」吧!
於是和他的助手特萊弗斯(M.W.Travers,1872-1961)把收集到的那種氣體觀察它的輝光光譜。
意外的,它的光譜居然與他所熟知的氬的紅綠線群完全不同,竟然是黃色的!
這使他想起了 27 年前轟動一時的「太陽元素」。
就在 1868 年十月,法國天文學家讓森 (P.Janssen,1824-1907) 與英國皇家物理天文台台長洛克伊爾(J.N.Lockyer,1836-1920)同時向巴黎科學院提出報告,聲稱在太陽光譜中又發現了新的黃色譜線。
洛克伊爾認為那應該是一種未知的新元素的譜線
在當時以為這種氣體只存在太陽。
而今發現地球也存在這種氣體
它光譜與得自太陽的「氦」的光譜完全一致
所以就用「太陽」的希臘語「helios」
將它命名為「Helium」-氦
就這樣,拉姆塞和特萊弗斯又「重新發現」了氦!
接下來的工作當然就是設法找出這些未知元素了,由拉姆塞出主意,而精敏的助手特萊弗斯則負責操作。
他們仿效希爾布蘭德,由各種稀有的礦物下手,都毫無蹤跡
後來想想,會不會仍然像氬一樣隱藏在空氣中?
於是利用新發展的低溫技術,製得大量液態空氣,再以分餾法來慢慢離析。
1898 年五月間他們將 15 公升的液態氬漸漸蒸發到剩下 25 cc 的氣體
,然後對這些剩餘氣體進行分光,發現其光譜中有一條光亮的黃線,卻不是氦的,又有一條光亮的青色線,
卻不是氬或其它已知氣體的,
經測其密度大約為氬的兩倍,他們斷定這應該是一種新的氣體元素,
測得的原子量為 82.9 ,恰在溴與銣之間,與當初的預測完全吻合,這是鈍氣元素裏的第四個成員。
乃依「隱藏」之意,取名為 "Krypton",這就是「氪」。
實 這個新元素的發現並不是拉姆塞所最渴望的,他原是想找到位於氟與鈉之間的那個惰性元素。但按週期規律推斷起來,這個元素的沸點可能比氮和氧還要低,將空氣 液化時,它不見得會跟著凝結下來,恐怕需要更低的溫度才行。於是他們又以讓液態空氣在減壓時沸騰吸熱的技術,造成超低溫,使氬固化後再慢慢揮發,然後收集 最早餾出的氣體,果然經由光譜分析,得到了預期的新元素。當年六月宣佈這個結果。
以「新奇」的字意,將它命名為 "Neon"
這就是第二個鈍氣「氖」。
經測其原子量果然是 20 。
七月間,以他們駕輕就熟的低溫技術,製得大量氪後,對它反覆分餾,從中取出沸點最高部份的氣體,再以放電管及分光鏡,證實含有另一個新的惰性氣體
將命名為 "Xenon",意為「陌生人」或「異域」,這就是第五個鈍氣「氙」,原子量為 130。

 

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物理氣相蒸鍍(Physical Vapor Deposition, PVD)

物 理氣相蒸鍍主要有三種製程:-蒸鍍(Evaporation Depostion)100~250,000 Å/min -離子鍍(Ion Plating)100~250,000 Å/min -濺鍍(Sputtering Deposition)25~10,000 Å/min 物理氣相蒸鍍通常需在真空下進行,其真空需求約為:10-2~10-6 torr

7.1 蒸鍍蒸鍍是指將蒸鍍源(鍍層的材料來源)加熱蒸發直接凝結於工件表面而形成鍍層。

1) 應用
-金屬與元素半導體的鍍膜
-合金的蒸鍍
-砷化鎵,銻化銦等化合物的蒸鍍

2) 蒸發金屬蒸發或氣化的方法很多, 包括利用熱電阻,輻射,感應,電子束,電弧等方式加熱。蒸鍍時,基材則屬於基態。3) 真空度的需求:10-2~10-6 torr 真空環境下, 蒸鍍原子在未碰撞或極少碰撞的情況下鍍於基材。對電子束加熱源而言, 真空環境有乾淨的析鍍路徑。由下式之蒸發速率也可以瞭解真空度愈高,蒸發速率愈快。蒸發速率:

在單位面積時間下, 蒸發的分子

αv:真空中,實際蒸發速率與理論值的比;此與物件表面潔淨程度有關

m: 分子量

P:作用在蒸鍍源材料表面的壓力, 由於氣體的原子或分子所造成

P*:蒸鍍源材料表面的平衡蒸氣壓4) 電子束加熱源

如前述, 將蒸鍍源蒸發的能源有很多種, 目前常用者幫括電阻、電感或電子束加熱,以下略述電子束加熱源。i) 優點

-高能量密度,蒸發速率可控制的範圍大
-無污染

ii) 組成
-正極與負極
-真空腔(控制電子流)

a)熱離子電子束鎗(對焦容易) 正極和負極之間的能量差從數個kv 到數百個kv;例如,10~40 千伏。負極放出電子,然後加速撞擊正極,工件會受熱。b)電漿電子束鎗(在高壓下可使用) 應用電極,從電漿中汲取電子

5) 蒸鍍合金以蒸鍍方式可以蒸鍍合金,其技術如下。i) 多重蒸鍍源:

蒸 鍍合金的成份從不同金屬同時蒸發。它可能是各別金屬蒸鍍並經退火後形成合金。多重蒸鍍源製程可能遇到的複雜性有:a)每一個蒸鍍源的蒸發速率需要個別控 制。b)蒸鍍源和基材之間的距離, 要高到足以讓蒸汽完成混合,以獲得合金。這可能會降低蒸鍍速率。ii) 合金蒸鍍源:

把合金當作單一來源使這些成份同時蒸發。單一合金蒸鍍源可能遇到的困難有:

a)由於熱力平衡的關係,蒸鍍層組成與蒸氣成份可能有差異。

b) 蒸鍍源組成金屬或元素成份的蒸汽壓比例一定要在 100:1 之內,反之使用多重蒸鍍源較理想。

7.2 離子鍍材料蒸發後, 在通往基材的途中經激發(如離子鎗轟擊或輝光放電), 使蒸發的原子產生離子化, 此經激發的離子化蒸汽原子擁有高能量,能在基材表面產生高附著性,同時也易與通入反應腔的氣體發生反應以鍍化合物鍍層。1) 離子轟擊的方法i) 離子鎗:大部分為氬離子鎗。離子鎗的離子束轟擊蒸鍍源蒸發的蒸氣。ii) 輝光放電:將基材加高的負偏壓, 使鈍性氣體(氬氣)激發, 以產生輝光放電,此離子即經電場加速產生轟擊效果。【註】:離子差轟擊薄膜也會改變附著性甚至改變薄膜的結構。2) 離子轟擊的結果

上述離子鍍過程,離子束可以用以激發蒸發源蒸氣,但也有轟擊工件表面之作用,其產生之效果分階段敘述如下。i) 蒸鍍前

a) 利用濺鍍蝕刻,清潔材料表面
b) 產生缺陷
能量轉移到晶格原子,Et

E 是入射粒子的能量;MI,Mt 是靶材原子的質量。一般而言,Et ≧ 25 ev ,形成點缺陷Et < 25 ev ,能量轉變成熱ii) 界面的形成過程a) 促進擴散高濃度的缺陷與近表面區域的溫度,會增加擴散速率與作為點缺陷的匯流槽b) 物理混合高能量粒子的植入,濺鍍原子的後向散射會導致近表面區域形成” 假擴散”(Pseudodiffusion )形式的混合。於此,原子的混合不需靠原子的溶解度與擴散。c) 促進成核植入的原子以及粗糙的表面,提供許多成核位置以得到較高的成核密

度d) 去除附著不良的原子利用濺鍍清除附著較鬆散的結合原子iii) 鍍膜成長

a) 晶粒細化-粗糙的表面會產生高的成核密度,而形成較小的晶粒-粗糙表面會降低區域邊界的T/Tm 值;然而,離子轟擊會提升區域

邊界的T/Tm 值

b) 結晶-促進擴散與再結晶c) 組成-可能會將氣體再植入薄膜d) 物理性質-導致本質應力;蒸鍍的薄膜會產生拉伸應力, 濺鍍薄膜會產生壓縮應力注意: 當原子間距比在平衡狀態下更靠近時, 會形成壓縮應力; 而當原子間距大於平衡狀態時,會形成拉伸應力,例如較大的間隙原子會造成拉伸應力。

7.3 濺鍍濺鍍是利用氬離子轟擊靶材, 擊出靶材原子變成氣相並析鍍於基材上。濺鍍具有廣泛應用的特性,幾乎任何材料均可析鍍上。1) 濺鍍的優點與限制

i) 優點
a) 無污染
b) 多用途
c) 附著性好

ii) 限制
a) 靶材的製造受限制
b) 靶材的受損,如陶瓷靶材,限制了使用能量的範圍
c) 析鍍速率低

2) 濺鍍系統
i) 分類

a) 平面兩極式:靶材為負極,基材為正極b) 三極式:由陽極,陰極, 外加電子源等三種電極所組成的系統。外加電子源產生電場加速正極離子化的氣體分子。三極式系統不能使用於反應性濺鍍,因為電子會影響反應氣體與污染燈

絲。c) 磁控濺鍍:利用磁場作用提高濺鍍速率d) 反應濺鍍:將反應性氣體導入真空腔中,並與金屬原子產生化合物以

鍍著。

ii) 電流的分類
a) 直流電濺鍍-應用於導電基材與鍍層
b) 交流(或射頻)電濺鍍-應用於導電或非導電基材與鍍層

3) 濺鍍系統組合i) 靶材在濺鍍時, 經電漿中的正離子轟擊, 而析鍍於基材的鍍層材料;靶材通常是陰極。ii) 濺鍍的通量濺鍍時的通量即為濺鍍原子的流量。流量原子的組成與經冷卻,且未產生內擴散的靶材相同。同一靶材的所有材料之濺鍍速率大致相同。(然而,蒸鍍的 蒸鍍速率並不同)。iii) 接地屏蔽將離子侷限於僅轟擊與濺鍍靶材; 避免靶材夾治具被濺擊。屏蔽與靶材之間的距離必須小於暗帶(dark space)的厚度,因此,在高頻(13.5MHz) 或高壓使用時,此距離較近。iv) 擋板設置在兩個電極之間的活動板。通常濺擊清潔靶材(靶材可能會在裝載或操作時受到大氣的污染)時移置於靶材與基材之間。

v) 靶材的冷卻當外加能量輸入系統, 會使靶材的溫度提高, 並損壞靶材與夾治具的結合,因此必須冷卻。一般靶材都是用水冷卻之。vi) 基材溫度的控制利用電阻與光源等加熱。一般而言,基材的表面溫度會因輝光放電, 而高於塊材。4) 絕緣體的濺鍍

絕緣薄膜可利用射頻濺鍍或反應濺鍍。若採用直流電濺鍍, 將迅速造成表面電荷堆積而無法濺鍍。i) 射頻電濺鍍(RF Sputtering)

使用頻率為13.56 MHz 的射頻電源, 使靶材與鍍層表面能被離子與電子交替的轟擊,以避免電荷的堆積。ii) 射頻濺鍍的優點a) 電子轟擊離子化的效率增高,且操作壓力比較低(<1mtorr) b) 減少電弧(電弧的產生是由於粉塵或加熱蒸發的氣體)

iii) 反應濺鍍(Reactive spuutering) 將反應性氣體加入氬氣中,如Ar + H2S, 而與濺鍍原子, 如鎘形成硫化鎘。(例如,在氬氣加氮氣的環境下濺鍍鈦,會形成氮化鈦)。其可為直流電或射頻反應濺鍍。

5) 磁控濺鍍(Magnetron Sputtering) "Magnetron"意指"磁化的電子"(Magnetical Electron) i) 優點與缺點

磁控濺鍍雖會增加濺鍍速率, 相對地,亦會加速靶材的損耗。由於基材與電漿間的距離較大,使基材較遠離電漿可在低的工作溫度進行濺鍍。ii) 操作方法

由垂直的電場和磁場的結合組成。由於電磁的交互作用, 促進電子集中於靶材附近,以提升離子化效應如下圖所示。a) 磁場會使負極表面形成電子的聚集處,離子會因受限的電子源的靜電效應而聚集。b) 電子能有效聚集於靶材的表面,使離子化效率提高並提高濺鍍速率。7-4

7.4 電性狀況

1) 電漿:(Irving Langmuir, 1928)經通電後離子化的氣體。電漿是由離子,電子,與中性粒子所組成。

2) 輝光放電:

輝光放電會在真空狀態下,兩電極間的氣體中形成; 在兩電極間的空間會充滿了輝光。相對而言,靠近電極附近會生成一暗帶(dark space,Sheath)。

3) 暗帶(dark space)

以下略述暗代形成之因。當"基材"暴露(漂浮在)在電漿區域中,由於電子運動速度較快, 撞擊此基材表面, 形成負電荷堆積,即負電位。此負電位形成之後, 僅有具高動能的電子能再靠近此基材, 此時電子觸及基材表面的比例是:

可見其量不多,因此,電子密度將低於基材的周圍,則在基材的周圍不會發生電子激發原子以發光, 其發光度比輝光的區域低, 因此出現較低的發光區域即是暗帶。

4) 濺鍍

薄膜的濺鍍速率與濺出率(Sputtering Yield) 成正比,因此與離子的能量與工作電壓成正比例。一般的濺鍍氣體,濺鍍壓力與V-I 特性是非常重要的。

5) 濺出率(Sputtering Yield)

如上述,濺鍍速率與濺出率成正比, 濺出率指的是靶材原子被入射離子轟擊之後而跳脫離靶材的數量,如下所示。

E:入射離子的能量

mi:入射的質量

mt:改變的質量

Uo:靶材的表面鍵結能

α:一函數值(monotonic increasing function),~0.17 for mt/mi = 0.17~1.4 for mt/mi=10

6) 濺鍍用的氣體

濺鍍用的氣體必須是不會與靶材或鍍膜產生反應的鈍性氣體。濺出率與產生電漿氣體的量成正比。各種鈍性氣體中,氡(Rn)具有輻射性, 氙(Xe) 與氪(Kr)價格高,且市面上不多,氦(He)與氖(Ne)質量太小,因此氬氣是最常用來產生電漿的氣體。

7) 濺鍍的功率(Power)

濺 出率的公式說明,濺出率與入射離子的能量成正比,即表示正比於濺鍍時的工作能量;然而,此正比例關係在 E=1KeV 以上即不存在,如當能量作用在大體積之上, 濺射效率略保持不變。但是E 再增加,則S/E 會大幅下降,而S/E 的降低是由於E 的增加會產生離子佈植。一般在功率低於100V 時,濺鍍速率較低,但功率高於10kV 時,則效率差。一般的工作條件約是500V~5kV。

8) 濺鍍真空度

濺鍍時,真空度約是30~120 mtorr 。當真空壓力降低時,會降低離子化碰撞因而降低電流,而真空壓力提高時,會提高濺鍍原子與氣體的碰撞機率,使濺鍍原子重新沉積回靶材或造成濺鍍原子散射, 使鍍層鍍著速率降低。

7.5 多成分的濺鍍多成分的濺鍍可使用合金靶材,化合物靶材或反應濺鍍。1) 合金靶材

合 金靶材中的元素濺出率會影響鍍層組成元素的濺鍍速率。舉例來說,在1KeV 的Ar 離子氣體中,S(Ni)=2.1 與S(Fe)=1.4 的濺射產出是Ni:Fe= (80×2.1):(20×1.4)。於是,在濺鍍的初期會使靶材產生富鐵區,而鎳含量降低會提高鐵的濺鍍速率直到80:20 的穩定速率,造成表面組成變為 ~72.7Ni:27.3 Fe。

注意: 靶材表面元素的消耗, 會造成各種元素的濃度梯度並促使擴散, 如鐵離開表面使鎳擴散至表面;靶材的冷卻可避免此擴散行為。

2) 化合物靶材將化合物靶材以分子與原子的形式濺射出, 但需注意化合物組成元素濺射比例及各自蒸氣壓之差異造成鍍層成份比例偏差。舉例來說,對於一個金屬氧化靶材,濺鍍離子的流量η是

η= MO+ /(M+ + MO+) η受M-O 鍵結強度的影響。鍍層會較缺乏易氧化的原子,例如,石英鍍層會較缺乏氧原子;此種狀況可藉控制氣體成份以改善,例如可利用95%Ar:5%O2 產生完全氧化的薄層以避免缺陷的產生。3) 反應濺鍍(參考前例)

7.6 偏壓製程(直流或射頻偏壓)與離子轟擊

偏壓製程一般是把基材底座加一負偏壓以加速正離子向基材方向運動改變了帶電粒子的流量與能量。偏壓製程可使鍵結鬆散的材料重新濺鍍。離子轟擊是利用離子鎗產生正離子,而不用偏壓的方法以轟擊基材表面,進而改進鍍層品質。

偏壓製程與離子轟擊的結果(參照7.2): 1) 避免鍵結鬆散原子移除2) 增加表面的微缺陷提高成核密度3) 藉移動動能增加原子的移動能力, 而增進核與核間的結合加速成核成長。濺鍍鍍層的例子:1) 玻璃上,調節太陽光的鍍層:反射太陽光

Glass/TiO2/Cr/TiO2
Glass/Cr/TiN
Glass/SnO2/NiCr/TiN

2) 玻璃上, 低發散率的鍍層: 將低溫的紅外線(長波長)反射, 使太陽光進入室內。特別應用於較冷的氣候。

Glass/Ag/Ti/ZnO/TiO2
Glass/SnO2/NiCr/Ag/NiCr/Si3N4/SnO2

z 以上兩種不同的鍍層會因光的阻礙而產生不同的顏色。

 

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文章来源:刀网论坛

  图1 用于ER刀具夹持系统的密封圈

  作为REGO-FIX刀具夹持系统补充的新型集中冷却环可以把冷却润滑剂定向输送到刀刃上。由此可以更好地排放切屑,延长刀具的使用寿命。此外,还可以节省下某些切削场合所需的昂贵的具有冷却槽刀具的投入。

  图2 带有密封圈和冷却通道的刀具夹持系统。压力高达15000000Pa的冷却润滑剂可以通过冷却通道,被输送到刀具上

   ER刀具夹持系统是一种操作简便的多功能刀夹装置,采用这种夹持系统可以获得可靠和良好的作业效果。根据REGO-FIX公司的介绍,其精度还高于 DIN标准的要求。该系统主要由刀柄、弹簧夹头、螺帽、密封圈和刀具构成。其中,密封圈用于带有内部冷却剂通道的刀具(图1和图2)。密封圈被安设在螺帽 上,由此使刀具前端达到密封的效果。在采用腐蚀性冷却润滑剂(KSS)时,O形环可确保系统100%的功能。此外,切屑和污物也不会进入到弹簧夹头的槽口 里。最高压力达1.5×107Pa的冷却润滑剂通过冷却剂通道被导入到刀具上,而密封圈仍然保 持着密封状态。因此,冷却润滑剂可以定向进入到刀刃的切削区域里。

  图3 直径为6mm的Coolant Flush Disk集中冷却环

   直径为3~20 mm的新型Coolant Flush Disk集中冷却环如同常规的密封圈一样,但是它没有O形环,因此也不密封。冷却润滑剂通过导向通道沿着刀具向前导入,并准确到达切削区域(图3和图 4)。据REGO-FIX公司介绍,集中冷却环实际上是密封片逻辑意义上的继续发展。根据不同的应用场合,用户可以选择出一种合适的系统。与外部冷却润滑 剂输送系统相比,这种集中冷却环具有明显的优势(图5)。集中冷却环新技术可以使冷却剂达到最佳功效,并可快速地排走切屑并延长刀具的使用寿命。此外,根 据不同的使用场所,刀具还可以不设冷却槽。集中冷却环可用于所有类型的REGO-FIX弹簧夹头和螺帽,并可根据不同的刀具直径,快速实现更换和匹配。

  图4 新型Coolant Flush Disk集中冷却环通过导向通道引导冷却润滑剂沿着刀柄,准确地达到切削区域

  图5 密封圈(a)和集中冷却环(b)的功能比较

 

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BW специализируется в научных исследованиях и разработках, и снабжаем самым высокотехнологичным карбидовым материалом для поставки режущих / фрезеровочных инструментов для почвы, воздушного пространства и электронной индустрии. В нашу основную продукцию входит твердый карбид / быстрорежущая сталь, а также двигатели, микроэлектрические дрели, IC картонорезальные машины, фрезы для гравирования, режущие пилы, фрезеры-расширители, фрезеры-расширители с резцом, дрели, резаки форм для шлицевого вала / звездочки роликовой цепи, и специальные нано инструменты. Пожалуйста, посетите сайт  www.tool-tool.com  для получения большей информации.

BW is specialized in R&D and sourcing the most advanced carbide material with high-tech coating to supply cutting / milling tool for mould & die, aero space and electronic industry. Our main products include solid carbide / HSS end mills, micro electronic drill, IC card cutter, engraving cutter, shell end mills, cutting saw, reamer, thread reamer, leading drill, involute gear cutter for spur wheel, rack and worm milling cutter, thread milling cutter, form cutters for spline shaft/roller chain sprocket, and special tool, with nano grade. Please visit our web  www.tool-tool.com  for more info.

 

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超 硬磨具是由磨粒、气孔、结合剂三者共同组合形成。可见,结合剂是制作磨具不可缺少的部分,其作用是将磨粒粘结成具有一定几何形状,并把持住磨粒使其在加工 中承受磨削力而起到切削作用。超硬磨具结合剂主要有三大类:树脂结合剂、陶瓷结合剂、金属结合剂。如何选择合适的结合剂,主要依据其自身的性能和加工中对 磨具的要求而定。

树脂结合剂。其本身具有良好的弹性和有抛光作用,形成磨具后,仍具有良好的自锐性, 不易堵塞,修整少,而且磨削效率较高,磨削温度较低,磨削的表面光洁度高,所以应用范围十分广泛。与金刚石磨料结合形成树脂结合剂金刚石磨具,经常应用于 硬质合金工件、钢基硬质合金工件,以及部分非金属材料的半精磨、精磨等;与树脂结合剂结合形成树脂结合剂立方氮化硼磨具,主要用于高钒高速钢刀具的刃磨和 工具钢、模具钢、不锈钢和耐热合金工件的半精磨、精磨等。但树脂结合剂对磨料的把持性较差,耐热性也较差,导致高温磨削下磨具的磨损大,尤其在大负荷磨削 时尤为明显,常以采用镀附金属衣磨料来加以改善。

陶瓷结合剂。此种结合剂对磨料的结合强度优于树脂。 形成磨具后,工作表面容屑性能好,所以不易堵塞、切削锋利、磨削效率高,以及热膨胀量小,容易控制加工精度,这些特点有利于磨削过程的平稳进行。在磨具的 整形和修整方面,操作起来相对容易,一般用于粗磨、半精磨,以及接触面大的成型磨削等,

所以陶瓷结合剂是目前应用日益广泛的一种结合剂。 陶瓷结合剂与金刚石磨料结合时的稳定性比较好,在陶瓷结合剂立方氮化硼砂轮领域取得了良好的市场和口碑。陶瓷结合剂与金刚石磨料结合时,难度系数比较大, 陶瓷结合剂金刚石砂轮的研发受到了阻碍。河南胜创超硬材料有限公司工程师克服了金刚石的耐热性较差,陶瓷结合剂烧结时必须温度很低等技术难题,工程师率先 在国内生产出磨宝石用的陶瓷结合剂金刚石砂轮,并制定了多种砂轮规格,得到了宝石加工领域的青睐。近年研发的磨PCD/PCBN刀具陶瓷结合剂金刚石砂轮、磨金刚石复合片陶瓷结合剂金刚石砂轮等系列陶瓷结合剂金刚石砂轮在市场取得了良好的口碑。

金属结合剂青铜结合剂电镀结合剂两 大类。电镀结合剂是一种结合强度更高的结合剂,一般将单层或多层磨粒用电镀方法镀在金属基体上,该种结合剂磨具工作表面上单位面积的磨粒数比其它几种结合 剂高得多,而且磨粒都裸露出结合剂表面,因而切削锋利,磨削效率高。但受镀层厚度限制,磨具总的使用寿命不高,一般用于特殊用途加工,如成型磨削用磨具、 小磨头、套料刀、电镀铰刀、锉刀等。随着技术水平的不断进步,立方氮化硼电镀金属结合剂磨具的应用在日益扩大,特别在加工各种钢类零件的小孔、型腔时更为 突出,不仅磨削效率高,经济性好,还可获得较好的形状精度。青铜结合剂磨具是以铜粉、锡粉为主要材料和补充改善其性能的其它材料充分混和,再将磨料加入其 中混合均匀,然后置于模具中压制成型,烧结而成。该种磨具的结合剂和磨粒的结合强度高,耐磨性好,磨损小,所以使用寿命长,而且能够保持良好的形状,故能 承受较大的负荷。但缺点是自砺性差,表面容易堵塞,发热大,修整也十分困难。主要用于玻璃、陶瓷、石材、建材、混凝土、半导体材料等非金属材料的粗磨、精 磨和切割工序,少量用于硬质合金、复合超硬材料的磨削加工,以及成型磨削和各种珩磨、电解磨削等。

 

歡迎來到Bewise Inc.的世界,首先恭喜您來到這接受新的資訊讓產業更有競爭力,我們是提供專業刀具製造商,應對客戶高品質的刀具需求,我們可以協助客戶滿足您對產業的不同要求,我們有能力達到非常卓越的客戶需求品質,這是現有相關技術無法比擬的,我們成功的滿足了各行各業的要求,包括:精密HSS DIN切削刀具協助客戶設計刀具流程DIN or JIS 鎢鋼切削刀具設計NAS986 NAS965 NAS897 NAS937orNAS907 航太切削刀具,NAS航太刀具設計超高硬度的切削刀具醫療配件刀具設計複合式再研磨機PCD地板專用企口鑽石組合刀具粉末造粒成型機主機版專用頂級電桿PCD V-Cut捨棄式圓鋸片組粉末成型機航空機械鉸刀主機版專用頂級電汽車業刀具設計電子產業鑽石刀具木工產業鑽石刀具銑刀與切斷複合再研磨機銑刀與鑽頭複合再研磨機銑刀與螺絲攻複合再研磨機等等。我們的產品涵蓋了從民生刀具到工業級的刀具設計;從微細刀具到大型刀具;從小型生產到大型量產;全自動整合;我們的技術可提供您連續生產的效能,我們整體的服務及卓越的技術,恭迎您親自體驗!!

BW Bewise Inc. Willy Chen willy@tool-tool.com bw@tool-tool.com www.tool-tool.com skype:willy_chen_bw mobile:0937-618-190 Head &Administration Office No.13,Shiang Shang 2nd St., West Chiu Taichung,Taiwan 40356 http://www.tool-tool.com / FAX:+886 4 2471 4839 N.Branch 5F,No.460,Fu Shin North Rd.,Taipei,Taiwan S.Branch No.24,Sec.1,Chia Pu East Rd.,Taipao City,Chiayi Hsien,Taiwan

Welcome to BW tool world! We are an experienced tool maker specialized in cutting tools. We focus on what you need and endeavor to research the best cutter to satisfy users demand. Our customers involve wide range of industries, like mold & die, aerospace, electronic, machinery, etc. We are professional expert in cutting field. We would like to solve every problem from you. Please feel free to contact us, its our pleasure to serve for you. BW product including: cutting toolaerospace tool .HSS  DIN Cutting toolCarbide end millsCarbide cutting toolNAS Cutting toolNAS986 NAS965 NAS897 NAS937orNAS907 Cutting Tools,Carbide end milldisc milling cutter,Aerospace cutting toolhss drillФрезерыCarbide drillHigh speed steelCompound SharpenerMilling cutterINDUCTORS FOR PCDCVDD(Chemical Vapor Deposition Diamond )’PCBN (Polycrystalline Cubic Boron Nitride) Core drillTapered end millsCVD Diamond Tools Inserts’PCD Edge-Beveling Cutter(Golden FingerPCD V-CutterPCD Wood toolsPCD Cutting toolsPCD Circular Saw BladePVDD End Millsdiamond tool. INDUCTORS FOR PCD . POWDER FORMING MACHINE Single Crystal Diamond Metric end millsMiniature end millsСпециальные режущие инструменты Пустотелое сверло Pilot reamerFraisesFresas con mango PCD (Polycrystalline diamond) ‘FresePOWDER FORMING MACHINEElectronics cutterStep drillMetal cutting sawDouble margin drillGun barrelAngle milling cutterCarbide burrsCarbide tipped cutterChamfering toolIC card engraving cutterSide cutterStaple CutterPCD diamond cutter specialized in grooving floorsV-Cut PCD Circular Diamond Tipped Saw Blade with Indexable Insert PCD Diamond Tool Saw Blade with Indexable InsertNAS toolDIN or JIS toolSpecial toolMetal slitting sawsShell end millsSide and face milling cuttersSide chip clearance sawsLong end millsend mill grinderdrill grindersharpenerStub roughing end millsDovetail milling cuttersCarbide slot drillsCarbide torus cuttersAngel carbide end millsCarbide torus cuttersCarbide ball-nosed slot drillsMould cutterTool manufacturer.

Bewise Inc. www.tool-tool.com

ようこそBewise Inc.の世界へお越し下さいませ、先ず御目出度たいのは新たな

情報を受け取って頂き、もっと各産業に競争力プラス展開。

弊社は専門なエンドミルの製造メーカーで、客先に色んな分野のニーズ

豊富なパリエーションを満足させ、特にハイテク品質要求にサポート致します。

弊社は各領域に供給できる内容は:

(1)精密HSSエンドミルのR&D

(2)Carbide Cutting tools設計

(3)鎢鋼エンドミル設計

(4)航空エンドミル設計

(5)超高硬度エンドミル

(6)ダイヤモンドエンドミル

(7)医療用品エンドミル設計

(8)自動車部品&材料加工向けエンドミル設計

弊社の製品の供給調達機能は:

(1)生活産業~ハイテク工業までのエンドミル設計

(2)ミクロエンドミル~大型エンドミル供給

(3)小Lot生産~大量発注対応供給

(4)オートメーション整備調達

(5)スポット対応~流れ生産対応

弊社の全般供給体制及び技術自慢の総合専門製造メーカーに貴方のご体験を御待ちしております。

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非增强型

1300S
通用等级。平衡的流动性和机械性能。
接头,垫圈,电线绑扎带

1302S
热稳定型等级。具有抗热老化和抗吸水变色的性能。
接头,电线绑扎带

1402S
热稳定型等级。具有良好的抗热老化性能。
接头,活性炭过滤器

1402SH
优良的铰接性,塑性和脱模性能。用于快速造型周期。
接头,夹子

1300F
快速结晶,低翘曲性,低变形性。用于超快造型周期。
电气零件

1402F
良好的抗热老化性,快速结晶,低翘曲性和低变形性。用于超快造型周期。
电气零件,汽车零件

1500
由于分子量大,因而具有优良的机械性能。
紧固件,薄板

1502/1502S
与1500类似,但具有较高的抗热老化性能。
汽车机罩下零件

1700S
与1500类似,但分子量更大。适用于厚壁零件的挤压。
杆,薄膜

1702
与1502类似,但具有更大的分子量。
杆,薄板

9400S
良好的耐冲击性能。适用于厚壁零件。
铁路枕木绝缘体

玻纤增强型

13G15
1300G
13G43
增强的强度和刚性,玻璃纤维含量为15%,33%和43%。
机械和电气零件,如微型电动机;汽车零件,如散热器水箱,变速杆。

13G25
增强的强度,刚性和耐久性,玻璃纤维含量为25%。
汽车零件

14G15
1402G
增强的强度和刚性,玻璃纤维含量为15%和33%。具有良好的抗热老化性。
加热器水箱,燃料喷射器,防滑刹车系统感测器,以及汽车其他机罩下零件 。

14G25
14G33
14G50
增强的强度和刚性,玻璃纤维含量为25%,33%和50%。具有超高的抗热老化性,抗疲劳性,和抗蠕变性。
机械和电气零件,发动机架,以及其他汽车机罩下零件。

54G33
54G43
增强的强度,刚性和耐抗冲击性,玻璃纤维含量为33%和43%。良好的外观。
风扇,铁路枕木绝缘体,办公家俱

93G33
增强的强度和刚性,玻璃纤维含量为33%。良好的外观。
办公家俱

90G33
增强的强度和刚性,玻璃纤维含量为33%。良好的流动性和外观。
汽车零件

90G50
增强的强度和刚性,玻璃纤维含量为50%。良好的外观。
办公家具

90G55
增强的强度和刚性,玻璃纤维含量为55%。良好的外观和耐气候性。
汽车外部零件

90G60
表面平滑,同时还具有90G55的刚性。
汽车外部零件

特殊等级

91G40
表面平滑,低翘曲性。玻璃纤维和矿物填充。
汽车外部零件

CR101
良好的尺寸稳定性,刚性,低翘曲性。玻璃纤维和矿物填充。
发动机盖

CR301
适合用作开关绝缘体。低磨损,良好的电气性能。
滑动开关绝缘体

CR302
良好的抗焊接热性。低磨损,良好的电气性能。

MR001
良好的耐热性,高刚性,低翘曲性,低变形。40%的矿物填充。
插座

1330G
耐摩擦,磨耗性,高刚性。含有玻璃纤维和氟塑料。
轴承

TR160
中耐冲击性,含有弹性体。
夹子,紧固件。

TR380
高耐冲击性,含有弹性体。
过滤器,电线绑扎带。

阻燃型

FR200
阻燃等级UL94 V-0;不含卤素和磷。
接头,开关,其他电气和电子材料。

FR370
阻燃等级UL94 V-0;不含卤素和磷。增强的抗焊接热性能。

FG170
玻璃纤维含量为15% GF; 阻燃等级UL94 V-0。

FG172
玻璃纤维含量为20% GF; 阻燃等级UL94 V-0。

FG173
玻璃纤维含量为30% GF; 阻燃等级UL94 V-0。

颜色浓缩型

LC020
主要色母,含有高浓度的着色料和颜料,具有各种颜色。
使用时稀释20到50倍。

 

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