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目前数控机床位置精度检验通常采用国际标准ISO230-2或国家标准 B10931-89等。同一台机床，采用标准不同，所到位置精度相同，选择数控机床精度指标时，也要注意它所采用标准。数控机床位置标准通常指各数控轴反 向偏差和定位精度。这二者测定和补偿是提高加工精度必要途径。
     一、反向偏差
     数控机床上，各坐标轴进给传动链上驱动部件(如伺服电动机、伺服液压马达和步进电动机等)反向死区、各机械运动传动副反向间隙等误差存，造成各坐标轴由正 向运动转为反向运动时形成反向偏差，通常也称反向间隙或失动量。采用半闭环伺服系统数控机床，反向偏差存就会影响到机床定位精度和重复定位精度，影响产品 加工精度。如G01切削运动时，反向偏差会影响插补运动精度，若偏差过大就会造成“圆不够圆，方不够方”情形；而G00快速定位运动中，反向偏差影响机床 定位精度，使钻孔、镗孔等孔加工时各孔间位置精度降低。同时，设备投入运行时间增长，反向偏差还会随因磨损造成运动副间隙逐渐增大而增加，需要定期对机床 各坐标轴反向偏差进行测定和补偿。
     反向偏差测定
     反向偏差测定方法：所测量坐标轴行程内，预先向正向或反向移动一个距离并以此停止位置为基准，再同一方向给予一定移动指令值，使之移动一段距离，然后再往 相反方向移动相同距离，测量停止位置与基准位置之差。靠近行程中点及两端三个位置分别进行多次测定(一般为七次)，求出各个位置上平均值，以所平均值中最 大值为反向偏差测量值。测量时一定要先移动一段距离，否则不能到正确反向偏差值。
     测量直线运动轴反向偏差时，测量工具通常采有千分表或百分表，若条件允许，可使用双频激光干涉仪进行测量。当采用千分表或百分表进行测量时，需要注意是表 座和表杆不要伸出过高过长，测量时悬臂较长，表座易受力移动，造成计数不准，补偿值也就不真实了。若采用编程法实现测量，则能使测量过程变更便捷更精确。
     例如，三坐标立式机床上测量X轴反向偏差，可先将表压住主轴圆柱表面，然后运行如下程序进行测量：
     N10 G91 G01 X50 F1000；工作台右移
     N20 X－50；工作台左移，消除传动间隙
     N30 G04 X5；暂停观察
     N40 Z50；Z轴抬高让开
     N50 X- 50：工作台左移
     N60 X50：工作台右移复位
     N70 Z-50：Z轴复位
     N80 G04 X5：暂停观察
     N90 M99；
     需要注意是，工作台不同运行速度下所测出结果会有所不同。一般情况下，低速测出值要比高速大，特别是机床轴负荷和运动阻力较大时。低速运动时工作台运动速 度较低，不易发生过冲超程(相对“反向间隙”)，测出值较大；高速时，工作台速度较高，容易发生过冲超程，测值偏小。
     回转运动轴反向偏差量测量方法与直线轴相同，用于检测仪器不同而已。
     反向偏差补偿
     国产数控机床，定位精度有不少>0.02mm，但没有补偿功能。对这类机床，某些场合下，可用编程法实现单向定位，清除反向间隙，机械部分不变情况 下，低速单向定位到达插补起始点，然后再开始插补加工。插补进给中遇反向时，给反向间隙值再正式插补，即可提高插补加工精度，基本上可以保证零件公差要 求。
     其他类别数控机床，通常数控装置内存中设有若干个址,专供存储各轴反向间隙值。当机床某个轴被指令改变运动方向时，数控装置会自动读取该轴反向间隙值，对 坐标位移指令值进行补偿、修正，使机床准确定位指令位置上，消除或减小反向偏差对机床精度不利影响。
     一般数控系统单一反向间隙补偿值可供使用，兼顾高、低速运动精度，要机械上做更好以外，只能将快速运动时测反向偏差值作为补偿值输入，难以做到平衡、兼顾 快速定位精度和切削时插补精度。
     FANUC0i、FANUC18i等数控系统，有用于快速运动(G00)和低速切削进给运动(G01) 两种反向间隙补偿可供选用。进给方式不同，数控系统自动选择使用不同补偿值，完成较高精度加工。
     将G01切削进给运动测反向间隙值 A 输入参数NO11851(G01测试速度可常用切削进给速度及机床特性来决定)，将G00测反向间隙值B 输入参数NO11852。需要注意是，若要数控系统执行分别指定反向间隙补偿，应将参数号码1800第四位(RBK)设定为1；若RBK设定为0，则不执 行分别指定反向间隙补偿。G02、G03、 JOG与G01使用相同补偿值。
     二、定位精度
     数控机床定位精度是指所测量机床运动部件数控系统控制下运动所能达到位置精度，是数控机床有别于普通机床一项重要精度，它与机床几何精度共同对机床切削精 度产生重要影响，尤其对孔隙加工中孔距误差具有决定性影响。一台数控机床可以从它所能达到定位精度判出它加工精度，对数控机床定位精度进行检测和补偿是保 证加工质量必要途径。
     定位精度测定
     目前多采用双频激光干涉仪对机床检测和处理分析，利用激光干涉测量原理，以激光实时波长为测量基准，提高了测试精度及增强了适用范围。检测方法如下：
     a. 安装双频激光干涉仪；
     b. 需要测量机床坐标轴方向上安装光学测量装置；
     c. 调整激光头，使测量轴线与机床移动轴线共线或平行，即将光路预调准直；
     d. 待激光预热后输入测量参数；
     e. 按规定测量程序运动机床进行测量；
      f. 数据处理及结果输出。
     定位精度补偿
     若测数控机床定位误差超出误差允许范围，则必须对机床进行误差补偿。常用方法是计算出螺距误差补偿表，手动输入机床CNC系统，消除定位误差，数控机床三 轴或四轴补偿点可能有几百上千点，手动补偿需要花费较多时间，容易出错。
     现RS232接口将计算机与机床CNC控制器联接起来，用VB编写自动校准软件控制激光干涉仪与数控机床同步工作，实现对数控机床定位精度自动检测及自动 螺距误差补偿，其补偿方法如下：
     g. 备份CNC控制系统中已有补偿参数；
     h. 由计算机产生进行逐点定位精度测量机床CNC程序，并传送给CNC系统；
     i. 自动测量各点定位误差；
     j. 指定补偿点产生一组新补偿参数，并传送给CNC系统，螺距自动补偿完成；
     k. 重复c.进行精度验证。
     数控机床各轴精度状况，利用螺距误差自动补偿功能和反向间隙补偿功能，合理选择分配各轴补偿点，使数控机床达到最佳精度状态，并大大提高了检测机床定位精 度效率。
     定位精度是数控机床一个重要指标。尽管用户购选时可以尽量挑选精度高误差小机床，设备投入使用时间越长，设备磨损越厉害，造成机床定位误差越来越大，这对 加工和生产零件有着致命影响。采上方法对机床各坐标轴反向偏差、定位精度进行准确测量和补偿，可以很好减小或消除反向偏差对机床精度不利影响，提高机床定 位精度，使机床处于最佳精度状态，保证零件加工质量。

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