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刀具是机械制造中用于切削加工的工具,又称切削工具。广义的切削工具既包括刀具,还包括磨具。

绝大多数的刀具是机用的,但也有手用的。由于机械制造中使用的刀具基本上都用于切削金属材料,所以“刀具”一词一般就理解为金属切削刀具。切削木材用的刀具则称为木工刀具

刀具的发展在人类进步的历史上占有重要的地位。中国早在公元前28~前20世纪,就已出现黄铜锥和紫铜的锥、钻、刀等铜质刀具。战国后期(公元前三世纪),由于掌握了渗碳技术,制成了铜质刀具。当时的钻头和锯,与现代的扁钻和锯已有些相似之处。

然而,刀具的快速发展是在18世纪后期,伴随蒸汽机等机器的发展而来的。1783年,法国的勒内首先制出铣刀。有关麻花钻的发明最早的文献记载是在1822年,但直到1864年才作为商品生产。

那时的刀具是用整体高碳工具钢制造的,许用的切削速度约为5米/分。1868年,英国的穆舍特制成含钨的合金工具钢。1898年,美国的泰勒和.怀特发明高速钢。1923年,德国的施勒特尔发明硬质合金

在采用合金工具钢时,刀具的切削速度提高到约8米/分,采用高速钢时,又提高两倍以上,到采用硬质合金时,又比用高速钢提高两倍以上,切削加工出的工件表面质量和尺寸精度也大大提高。

由于高速钢和硬质合金的价格比较昂贵,刀具出现焊接和机械夹固式结构。1949~1950年间,美国开始在车刀上采用可转位刀片,不久即应用在铣刀和其他刀具上。1938年,德国德古萨公司取得关于陶瓷刀具的专利。1972年,美国通用电气公司生产了聚晶人造金刚石和聚晶立方氮化硼刀片。这些非金属刀具材料可使刀具以更高的速度切削。

1969年,瑞典山特维克钢厂取得用化学气相沉积法,生产碳化钛涂层硬质合金刀片的专利。1972年,美国的邦沙和拉古兰发展了物理气相沉积法,在硬质合金或高速钢刀具表面涂覆碳化钛或氮化钛硬质层。表面涂层方法把基体材料的高强度和韧性,与表层的高硬度和耐磨性结合起来,从而使这种复合材料具有更好的切削性能。

刀具按工件加工表面的形式可分为五类。加工各种外表面的刀具,包括车刀、刨刀铣刀、外表面拉刀锉刀等;孔加工刀具,包括钻头扩孔钻镗刀铰刀和内表面拉刀等;螺纹加工工具,包括丝锥、板牙、自动开合螺纹切头、螺纹车刀和螺纹铣刀等;齿轮加工刀具,包括滚刀插齿刀剃齿刀齿轮加工刀具'>锥齿轮加工刀具等;切断刀具,包括镶齿圆锯片、带锯、弓锯、切断车刀和锯片铣刀等等。此外,还有组合刀具。

按切削运动方式和相应的刀刃形状,刀具又可分为三类。通用刀具,如车刀、刨刀铣刀(不包括成形的车刀、成形刨刀和成形铣刀)、镗刀、钻头扩孔钻铰刀和锯等;成形刀具,这类刀具的刀刃具有与被加工工件断面相同或接近相同的形状, 如成形车刀成形刨刀成形铣刀、拉刀、圆锥铰刀和各种螺纹加工刀具等;展成刀具是用展成法加工齿轮的齿面或类似的工件,如滚刀、插齿刀、剃齿刀、锥齿轮 刨刀和锥齿轮铣刀盘等。

各种刀具的结构都由装夹部分和工作部分组成。整体结构刀具的装夹部分和工作部分都做在刀体上;镶齿结构刀具的工作部分(刀齿或刀片)则镶装在刀体上。

刀具的装夹部分有带孔和带柄两类。带孔刀具依靠内孔套装在机床的主轴或心轴上,借助轴向键或端面键传递扭转力矩,如圆柱形铣刀、套式面铣刀等。

带柄的刀具通常有矩形柄、圆柱柄和圆锥柄三种。车刀、刨刀等一般为矩形柄;圆锥柄靠锥度承受轴向推力,并借助摩擦力传递扭矩;圆柱柄一般适用于较小的麻花钻立铣刀等刀具,切削时借助夹紧时所产生的摩擦力传递扭转力矩。很多带柄的刀具的柄部用低合金钢制成,而工作部分则用高速钢把两部分对焊而成。

刀 具的工作部分就是产生和处理切屑的部分,包括刀刃、使切屑断碎或卷拢的结构、排屑或容储切屑的空间、切削液的通道等结构要素。有的刀具的工作部分就是切削 部分,如车刀、刨刀、镗刀和铣刀等;有的刀具的工作部分则包含切削部分和校准部分,如钻头扩孔钻铰刀、内表面拉刀和丝锥等。切削部分的作用是用刀刃切 除切屑,校准部分的作用是修光已切削的加工表面和引导刀具。

刀具工作部分的结构有整体式、焊接式和机械夹固式三种。整体结构是在刀体上做出切削刃;焊接结构是把刀片钎焊到钢的刀体上;机械夹固结构又有两种,一种是把刀片夹固在刀体上,另一种是把钎焊好的刀头夹固在刀体上。硬质合金刀具一般制成焊接结构或机械夹固结构;瓷刀具都采用机械夹固结构。

刀具切削部分的几何参数对切削效率的高低和加工质量的好坏有很大影响。增大前角,可减小前刀面挤压切削层时的塑性变形,减小切屑流经前面的摩擦阻力,从而减小切削力和切削热。但增大前角,同时会降低切削刃的强度,减小刀头的散热体积。

在 选择刀具的角度时,需要考虑多种因素的影响,如工件材料、刀具材料、加工性质(粗、精加工)等,必须根据具体情况合理选择。通常讲的刀具角度,是指制造和 测量用的标注角度在实际工作时,由于刀具的安装位置不同和切削运动方向的改变,实际工作的角度和标注的角度有所不同,但通常相差很小。

制造刀具的材料必须具有很高的高温硬度和耐磨性,必要的抗弯强度、冲击韧性和化学惰性,良好的工艺性(切削加工锻造热处理等),并不易变形。

通常当材料硬度高时,耐磨性也高;抗弯强度高时,冲击韧性也高。但材料硬度越高,其抗弯强度和冲击韧性就越低。高速钢因具有很高的抗弯强度和冲击韧性,以及良好的可加工性,现代仍是应用最广的刀具材料,其次是硬质合金。

聚晶立方氮化硼适用于切削高硬度淬硬钢和硬铸铁等;聚晶金刚石适用于切削不含铁的金属,及合金、塑料玻璃等;碳素工具钢合金工具钢现在只用作锉刀、板牙和丝锥等工具。

硬质合金可转位刀片现在都已用化学气相沉积法涂覆碳化钛氮化钛氧化硬层或复合硬层。正在发展的物理气相沉积法不仅可用于硬质合金刀具,也可用于高速钢刀具,如钻头、滚刀、丝锥和铣刀等。硬质涂层作为阻碍化学扩散和热传导的障壁,使刀具在切削时的磨损速度减慢,涂层刀片的寿命与不涂层的相比大约提高1~3倍以上。

由于在高温、高压、高速下,和在腐蚀性流体介质中工作的零件,其应用的难加工材料越来越多,切削加工的自动化水平和对加工精度的要求越来越高。为了适应这种情况,刀具的发展方向将是发展和应用新的刀具材料;进一步发展刀具的气相沉积涂层技术,在高韧性高强度的基体上沉积更高硬度的涂层,更好地解决刀具材料硬度与强度间的矛盾;进一步发展可转位刀具的结构;提高刀具的制造精度,减小产品质量的差别,并使刀具的使用实现最佳化。

刀具材料大致分如下几类:高速钢硬质合金金属陶瓷、陶瓷、聚晶立方氮化硼以及聚晶金刚石。
我主要提下陶瓷,陶瓷用于切削刀具的时间比硬质合金早,但由于其脆性,发展很慢。但自上世纪70年代以后,还是得到了比较快的发展。陶瓷刀具材料主要有两大系,即氧化铝系和氮化系。陶瓷作为刀具,具有成本低、硬度高、耐高温性能好等优点,有很好的前景。

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1 概述

模 压成型工艺是塑性材料最常见、历史最悠久的成型方法之一, 并且是研究材料性能最常采用的一种工艺方法。它具有成型装置简单、设备投资小、模具结构简单等特点,在机械化、自动化生产高度发达的今天,仍是一种最为普 及的生产手段之一。然而,进行压缩模塑成型的模具设计能参考的文献除了教科书、几位前辈所著的专著、模具设计图例以外,少有人总结模具设计中的关键技巧。

模具的加热、保温与冷却及装夹结构是复合材料模具设计不可或缺的一部分。结构设计直接影响到产品的外观及内在质量均匀性,同时还影响产品的成型效率。

2 加热、保温与冷却设计

2.1 加热管的设计要求

钢 制加热是几乎所有塑料成型模具设计必须采用的加热手段,可设计为单向接线、双向接线等多种形式,材质上可采用有缝管、无缝管、不锈钢管等,特点是热损失 小、热效率高、排线简单,可根据需要设计为220V或380V,接线为式灵活多样。但由于其材料和加工工艺的限制,模具设计中要注意它向身特点。

(1)加热管在两端通常有较长的冷端,并不能起到加热的作用。
(2)加热段的功率设计尽量不超过10瓦特/厘米的限制。如30厘米长的加热管,功率尽可能不要超过300瓦。如果设计功率超过这个限制,加热管表面负荷较高,钢管易氧化腐蚀,造成短路。
(3)对于温度高于250℃的模具设计,采用加热管有一定难度。

我 曾经利用加热管升温达到420℃,但是这种成型温度对加热管质量要求较高,需要经常检查电路的通畅与短路与否。因为这种条件下加热管、接线端子、连接用的 铜线、钢片等介质非常易于氧化,从而导致断路。因此对电传输介质需要进行特殊处理,尽量避免使传导电线暴露在空气中,延长导线的使用寿命。

烙铁芯通常也被作为模具加热管的一种,特点是单位长度功率高(通常直径10mm,长8cm规格的烙铁芯可以达到150瓦的输出功率),耐用,安全性好,不易形成击穿短路,可以通过钻盲孔来埋设,缺点是难以定制设计,拆换时易碎、断。

电路设计中不可缺少保险、空气开关等保险措施,操作地由要保持干净整洁,绝缘良好,操作中勤于检查电气故障,防止不必要的危险。

2.2 加热管的安装钻孔

从 传热角度上理解,加热管的安装要与模具表面尽可能贴合,以利于加热管的热量尽快传递到模具上。而实际上加热管与模具并没有多大接触面积,传热的本质是辐 射,传导是次要的。因此大部分用于模具安装的加热管表面都涂有增强红外辐射的涂层,同时也采用限制设计功率(10瓦特/厘米)的办法以增长加热管的使用寿 命。

因此在加工加热管孔时,尤其是长加热管孔的加工没必要设计太小的配合间隙,有效的设计方法是在孔的两端尽可能能与加热管严密配合,可以采用填塞、封堵或设计挡片等办法。这种做法可以有效减小加热管的散热面积以及辐射热量的损失。

2.3 加热管的埋放

埋放的加热管,最好采用与管内介质相同的氧化镁粉进行充填,以降低加热管表面的热负荷,这种方法可以减少管的表面氧化,有效延长管的使用寿命。有条件的话,加热管的安装孔也最好灌入的氧化镁粉。

2.4 模具保温方法

加强模具的保温措施可以减少模具的热损失,可使模具在较短的时间内达到预定的生产温度,减少能源浪费。每个工程技术人员对这个问题都有一套独特的解决办法,我只谈谈我的经验。

2.4.1 加热板的保温措施

加 热板保温通常采用石棉板或石棉布保温,但石棉布不易摆放平整,对压板的平行度保证也有定的影响。石棉板的种类很多,最常见的是橡胶石棉板,但这种石棉板却 不对以用于密封隔热用的材料,具有一定的可压级胜,同时在高温时会释放出一种十分难闻的气味,影响操作环境及操作人的身体健康。

加热板的保温宜采用石棉纸板,常见的规格是1000x1000,3-5mm厚,板体较为规整,平行度较好,可压缩性比较平均,高温下无异味产生。

2.4.2 模具的保温措施

模 具的保温措施很多,可用石棉布或玻璃布包裹氢氧化铝保温棉进行保温。现在市场上还有一种保温涂料是目前用作模具保温的理想材料,它由中长纤维、浆料及一种 保温泡沫材料混合而成,粘性适中,易于涂抹。这种材料常用作化工、采暖管道的保温层材料,略含碱性(易腐蚀模具)。经在150℃条件下使用没发现有烧焦、 熔化、气味等负面影响。同时材料很轻,可塑性较强,容易形成较为美观的模具表面。

2,5 模具的冷却方法

水冷却是大多数模具采用的冷却方式,但也有其缺点;要求管道密封性要好,上下水管路必须通畅,对水资源的浪费较大。当冷却温度超过100℃时,易产生蒸汽爆炸。优点是热容较大,可实现快速降温。

风冷却是一种比较理想的冷却方法,和水冷正相反,它不需要严密的管道密封,不存在资源浪费,可以冷却温度高于100℃的模具,可以通过气体的流量来确定冷却的速度,并且来源简洁方便,有一定规模的生产车间都能取得比较方便的气源。

3 模具的装夹

模 具的装夹结构与模具的加热、保温与冷却系统密切相关,同时为模具的更换、装卸提供一定的方便特性。多数设计者为图方便,只简单地将模具上打几个安装孔用以 固定。例是多数的压模都不单独设计加热装置,而是在压机上下压板上安装加热板以简化中小型模具的加工。模具结构中就只剩下构成型腔主体结构的模块。这时模 具可以采用注塑模具的固定办法——用压板将模具固定在上下模板上(见图1)。在加热板模具上设计好固定压板的空间即可。这种设计不仅可以用于移动式压模, 也可用于带有简单项出机构的压模。仅需要在加热板的设计中才考虑到顶杆的位置与加热管不相冲突即可。也可以利用一种模具的模架对多个模具进行通用性改造, 以简化模具制造成本。

如果供具较高,单纯的加热板加热已经不能满足均匀加热的需要,这时需要在模具上安装辅助加热系统,可以山加热片、加热管及烙铁芯构成。

对 于结构简单、尺寸较小的模具,采用加热板加热会造成大过的热量损失,在模具尸设计简单的加热系统就能够满足要求。需要注意的是在模具和压机固定板之间要添 加隔热物(通常来采用石棉纸板)来保温,同时需要注意电源线的排布整齐和电偶孔的位置。这种设);由于热容较小,特别适用于需要反复加热冷却或快速加热冷 却的小型模具。

4 结语

本文是实际工程应用中的总结,经实践文中涉及的多种技巧和办法可行。


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BW Bewise Inc. Willy Chen willy@tool-tool.com bw@tool-tool.com www.tool-tool.com skype:willy_chen_bw mobile:0937-618-190 Head &Administration Office No.13,Shiang Shang 2nd St., West Chiu Taichung,Taiwan 40356 http://www.tool-tool.com / FAX:+886 4 2471 4839 N.Branch 5F,No.460,Fu Shin North Rd.,Taipei,Taiwan S.Branch No.24,Sec.1,Chia Pu East Rd.,Taipao City,Chiayi Hsien,Taiwan

Welcome to BW tool world! We are an experienced tool maker specialized in cutting tools. We focus on what you need and endeavor to research the best cutter to satisfy users demand. Our customers involve wide range of industries, like mold & die, aerospace, electronic, machinery, etc. We are professional expert in cutting field. We would like to solve every problem from you. Please feel free to contact us, its our pleasure to serve for you. BW product including: cutting toolaerospace tool .HSS DIN Cutting toolCarbide end millsCarbide cutting toolNAS Cutting toolNAS986 NAS965 NAS897 NAS937orNAS907 Cutting Tools,Carbide end milldisc milling cutter,Aerospace cutting toolhss drillФрезерыCarbide drillHigh speed steelMilling cutterCVDD(Chemical Vapor Deposition Diamond )’PCBN (Polycrystalline Cubic Boron Nitride) Core drillTapered end millsCVD Diamond Tools Inserts’PCD Edge-Beveling Cutter(Golden FingerPCD V-CutterPCD Wood toolsPCD Cutting toolsPCD Circular Saw BladePVDD End Millsdiamond tool Single Crystal Diamond Metric end millsMiniature end millsСпециальные режущие инструменты Пустотелое сверло Pilot reamerFraisesFresas con mango PCD (Polycrystalline diamond) ‘FreseElectronics cutterStep drillMetal cutting sawDouble margin drillGun barrelAngle milling cutterCarbide burrsCarbide tipped cutterChamfering toolIC card engraving cutterSide cutterNAS toolDIN or JIS toolSpecial toolMetal slitting sawsShell end millsSide and face milling cuttersSide chip clearance sawsLong end millsStub roughing end millsDovetail milling cuttersCarbide slot drillsCarbide torus cuttersAngel carbide end millsCarbide torus cuttersCarbide ball-nosed slot drillsMould cutterTool manufacturer.

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弊社は専門なエンドミルの製造メーカーで、客先に色んな分野のニーズ

豊富なパリエーションを満足させ、特にハイテク品質要求にサポート致します。

弊社は各領域に供給できる内容は:

(1)精密HSSエンドミルのR&D

(2)Carbide Cutting tools設計

(3)鎢鋼エンドミル設計

(4)航空エンドミル設計

(5)超高硬度エンドミル

(6)ダイヤモンドエンドミル

(7)医療用品エンドミル設計

(8)自動車部品&材料加工向けエンドミル設計

弊社の製品の供給調達機能は:

(1)生活産業~ハイテク工業までのエンドミル設計

(2)ミクロエンドミル~大型エンドミル供給

(3)小Lot生産~大量発注対応供給

(4)オートメーション整備調達

(5)スポット対応~流れ生産対応

弊社の全般供給体制及び技術自慢の総合専門製造メーカーに貴方のご体験を御待ちしております。

Bewise Inc. talaşlı imalat sanayinde en fazla kullanılan ve üç eksende (x,y,z) talaş kaldırabilen freze takımlarından olan Parmak Freze imalatçısıdır. Çok geniş ürün yelpazesine sahip olan firmanın başlıca ürünlerini Karbür Parmak Frezeler, Kalıpçı Frezeleri, Kaba Talaş Frezeleri, Konik Alın Frezeler, Köşe Radyüs Frezeler, İki Ağızlı Kısa ve Uzun Küresel Frezeler, İç Bükey Frezeler vb. şeklinde sıralayabiliriz.

BW специализируется в научных исследованиях и разработках, и снабжаем самым высокотехнологичным карбидовым материалом для поставки режущих / фрезеровочных инструментов для почвы, воздушного пространства и электронной индустрии. В нашу основную продукцию входит твердый карбид / быстрорежущая сталь, а также двигатели, микроэлектрические дрели, IC картонорезальные машины, фрезы для гравирования, режущие пилы, фрезеры-расширители, фрезеры-расширители с резцом, дрели, резаки форм для шлицевого вала / звездочки роликовой цепи, и специальные нано инструменты. Пожалуйста, посетите сайт www.tool-tool.com для получения большей информации.

BW is specialized in R&D and sourcing the most advanced carbide material with high-tech coating to supply cutting / milling tool for mould & die, aero space and electronic industry. Our main products include solid carbide / HSS end mills, micro electronic drill, IC card cutter, engraving cutter, shell end mills, cutting saw, reamer, thread reamer, leading drill, involute gear cutter for spur wheel, rack and worm milling cutter, thread milling cutter, form cutters for spline shaft/roller chain sprocket, and special tool, with nano grade. Please visit our web www.tool-tool.com for more info.

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想 象一下,有这么一个破坏者,它能以各种不同的方式,在你不经意甚至充分准备的情况下随时潜入到你身边。它的唯一目的就是从每个从事模具制造的人手里盗取 时间、金钱及生产效率。那么这个破坏者究竟是谁?谁会做这种事情呢?它就是腐蚀。了解电蚀产生的常见原因,也许将来能使你节省模具修复和返工的成本。

如果制模商和模具精修商没有了腐蚀的问题,那么电镀厂家可能会无所事事。如果给你的制件涂一层保护层的话,给你带来的益处绝对要比防腐多,如光滑性和脱模性的增强。但是,由于许多问题产生于腐蚀并且还会损害你的工具,所以你应该首先关注防腐。

腐蚀有各种不同形式。大多数人都知道孔蚀,也就是在金属表面形成小坑而出现问题。另一种腐蚀类型就是全面侵蚀,比如,铁暴露在空气和水中时生锈;银暴露在空气中失去光泽。还有一种腐蚀叫应力腐蚀,是拉伸应力与腐蚀环境相结合的产物。

何谓电蚀

常 被制模业忽视的一种腐蚀叫电蚀,通常被人们误当作电解作用。电蚀指的是两种不同的金属在一种腐蚀性电解液中耦合时所产生的损害。出现这种情况时,反应中惰 性(不太能抵抗这种腐蚀)差的金属变为阳极(正极),它此时腐蚀的速度要比金属平时腐蚀的速度快得多;而惰性好的金属变成阴极(负极),它此时腐蚀的速度 要比金属平时腐蚀的速度慢得多。

仔细想想下列各种条件,考虑一下电池的工作原理。通常情况下,多数电池具备下列三个条件才能获得预期的反应:

● 一个正极电棒,当电池放电时用来获得来自外部电路的电荷。对于电蚀而言,这指的是两种金属中惰性较好的金属。
● 一个负极电棒,当电池放电时用来向外部电路释放电荷。这指的是惰性较差的金属或阴极。
● 一种电解液,为电荷在正极电棒与负极电棒之间游动提供一种机理。这可以是电镀中的水溶液、或者应用的塑料、或者所有其他物质。即便是空气中的水分也能在反应中起到催化剂的作用。

一旦这三种因素同时存在,电池就会释放能量,这全部是电蚀作用的结果。当这种反应发生在电池以外时,比如发生在模具厂,电蚀所产生的能量出现在两种不同金属间,并将其中惰性较差的一种金属腐蚀掉。

发生原理

当 一个制件开始腐蚀的速度比你预料的还要快、不能与你的工作很好配合时,你可能会思考这个问题。电蚀发生的可能原因有多个。金属的惰性需要考虑,因此排除故 障的最佳起点便是基质金属。如果你长时间使用一种模具,并且经过多次加工、再加工,这时你使用的可能不止一种金属——很像是在生产一种电池。另一点需要考 虑的是处理工具时所用的电镀槽的纯度。假如你将一个铝质制件置入一个电镀槽中,而槽中漂浮着处理上个工件时遗留的一些铜碎料,其中一些碎料被电镀在要处理 的工件上。一旦发生了这种事情,如果待处理工件的惰性不如铜的话,工件便会开始腐蚀。之所以会这样是因为电解液中出现了两种不同的金属。在这样的环境下, 铜碎料和金属制件便会通过电镀液发生电蚀。

制件没做电镀保护处理是发生电蚀的另一个原因。铝材的惰性性能极差,因此铝腐蚀的速度极快。将 镍基镀层涂刷在制件上可能是防止制件电蚀的必要步骤。这也许对所有情况未必都有效,但是如果制件与另外一种惰性较好的金属接触,而且又暴露于水或另一种电 解液中时,镀层对于保护制件免遭电蚀被证明是很有益处的。

如何预防

首先,要确保自己对电蚀应有所了解。避免电蚀最常用的 一个方法叫牺牲阳极法,其逻辑原理是:假定你正用镍溶液电镀一件铝制品。如果那件铝材制件有缺陷的话,比如坑,就会有一种可能性:电镀过程中,溶液或水分 子将会留在要处理的制件缺陷内。水分子最终将成为生成电池所需的电解液。铝材的惰性比镍材差,所以在电镀过程中被用于防腐和延长制件的使用寿命,但实际中 却加快了腐蚀、缩短了制件的寿命。解决方法是使用牺牲阳极法。

为了防止电蚀的发生,甚至是有缺陷的铝材也不会发生电蚀,你应将一种惰性比铝和镍都差的金属放入电解液中,用来牺牲本该传给铝的电荷,承受过程中所发生的腐蚀反应。这并非适用于所有的场合,但是一旦适用,实践证明这种方法非常有益。

模 具从电镀槽里取出后所发生的电蚀是最常见的腐蚀之一。例如,将铝制品置入一种镍电镀液里。该铝件仍有一些小坑并且没做表面重整处理。铝和镍这两种显然不同 的金属被绑在了一起。然而在铝件坑凹处所沉淀的镍要比铝件其它地方沉淀的镍少,因此坑凹处就暴露给了镍,现在只差一种电解液就会发生电蚀了。

当 然了,你可以在空气里大量自由漂浮的氧气中找到这种电解液。空气中的冷凝液与两种不同的金属耦合就可以完成这个等式,创造一个电池,这样的话腐蚀过程已经 开始了。氧气介入到混合物中,腐蚀扩散的程度及速度要比先前例子中的腐蚀大得多。采用下述两种方法中的任何一种可以避免电镀过程中的这种反应:

严格检查模具上的任何小坑和表面缺陷,在对其进行电镀处理之前先做相应的表面处理;
为确保防止腐蚀,要在模具表面上涂一层至少0.0005in厚的镍层。这个最小厚度的镍层,无论是对完好无缺的模件还是对于可能有坑或者其他缺陷的模件来说都是很有必要的。

几点建议

电蚀是模具和制模工业生产和发展道路上的拦路虎。最难之处在于当大多数人发现它时,模件返工已经不可避免了。任何有关人员都有责任了解电蚀究竟是怎么回事,并在出现腐蚀迹象的时候予以重视。在试图防止电蚀时要谨记以下几点:

● 避免接触电镀桌上的另一种不同的金属;
● 电镀槽中的电镀液要过滤洁净;
● 观察制件上是否有可能暴露原材质的瑕疵或缺陷;
● 不要等到已无法挽救时再研究腐蚀是什么。要切记安全永远比后悔好。


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对 小型圆形刀具进行正确的表面处理可以提高刀具寿命,减少加工循环时间,提升加工表面质量。但是,根 据加工需要正确选择刀具涂层有可能是一件令人困惑和费劲的工作。每一种涂层在切削加工中都既有优势又有缺点,如果选用了不恰当的涂层,有可能导致刀具寿命 低于未涂层刀具,有时甚至会引出比涂层以前更多的问题。

目前已有许多种刀具涂层可供选择,包括PVD涂层、CVD涂层以及交替涂覆 PVD和CVD的复合涂层等,从刀具制造商或涂层供应商那里可以很容易地 获得这些涂层。本文将介绍一些刀具涂层共有的属性以及一些常用的PVD、CVD涂层选择方案。在确定选用何种涂层对于切削加工最为有益时,涂层的每一种特 性都起着十分重要的作用。

1.涂层的特性

(1)硬度

涂层带来的高表面硬度是提高刀具寿命的最佳 方式之一。一般而言,材料或表面的硬度越高,刀具的寿命越长。氮碳化钛(TiCN)涂层比氮化钛 (TiN)涂层具有更高的硬度。由于增加了含碳量,使TiCN涂层的硬度提高了33%,其硬度变化范围约为Hv3000~4000(取决于制造商)。表面 硬度高达Hv9000的CVD金刚石涂层在刀具上的应用已较为成熟,与PVD涂层刀具相比,CVD金刚石涂层刀具的寿命提高了10~20倍。金刚石涂层的 高硬度和切削速度可比未涂层刀具提高2~3倍的能力使其成为非铁族材料切削加工的不错选择。

(2)耐磨性

耐磨性是指涂层抵抗磨损的能力。虽然某些工件材料本身硬度可能并不太高,但在生产过程中添加的元素和采用的工艺可能会引起刀具切削刃崩裂或磨钝。

(3)表面润滑性

高 摩擦系数会增加切削热,导致涂层寿命缩短甚至失效。而降低摩擦系数可以大大延长刀具寿命。细腻光滑或纹理规则的涂层表面有助于降低切削热,因为光 滑的表面可使切屑迅速滑离前刀面而减少热量的产生。与未涂层刀具相比,表面润滑性更好的涂层刀具还能以更高的切削速度进行加工,从而进一步避免与工件材料 发生高温熔焊。

(4)氧化温度

氧化温度是指涂层开始分解时的温度值。氧化温度值越高,对在高温条件下的切削加工越 有利。虽然TiAlN涂层的常温硬度也许低于TiCN涂层,但事 实证明它在高温加工中要比TiCN有效得多。TiAlN涂层在高温下仍能保持其硬度的原因在于可在刀具与切屑之间形成一层氧化铝,氧化铝层可将热量从刀具 传入工件或切屑。与高速钢刀具相比,硬质合金刀具的切削速度通常更高,这就使TiAlN成为硬质合金刀具的首选涂层,硬质合金钻头和立铣刀通常采用这种 PVD TiAlN涂层。

(5)抗粘结性

涂层的抗粘结性可防止或减轻刀具与被加工材料发生化学反应,避免工件材料 沉积在刀具上。在加工非铁族金属(如铝、黄铜等)时,刀具上经常会产生积屑 瘤(BUE),从而造成刀具崩刃或工件尺寸超差。一旦被加工材料开始粘附在刀具上,粘附就会不断扩大。例如,用成型丝锥加工铝质工件时,加工完每个孔后丝 锥上粘附的铝都会增加,以至最后使得丝锥直径变得过大,造成工件尺寸超差报废。具有良好抗粘结性的涂层甚至在冷却液性能不良或浓度不足的加工场合也能起到 很好的作用。

2.常用的涂层

(1)氮化钛涂层(TiN)

TiN是一种通用型PVD涂层,可以提高刀具硬度并具有较高的氧化温度。该涂层用于高速钢切削刀具或成形工具可获得很不错的加工效果。

(2)氮碳化钛涂层(TiCN)

TiCN涂层中添加的碳元素可提高刀具硬度并获得更好的表面润滑性,是高速钢刀具的理想涂层。

(3)氮铝钛或氮钛铝涂层(TiAlN/AlTiN)

TiAlN/AlTiN 涂层中形成的氧化铝层可以有效提高刀具的高温加工寿命。主要用于干式或半干式切削加工的硬质合金刀具可选用该涂层。根据涂层 中所含铝和钛的比例不同,AlTiN涂层可提供比TiAlN涂层更高的表面硬度,因此它是高速加工领域又一个可行的涂层选择。

(4)氮化铬涂层(CrN)

CrN涂层良好的抗粘结性使其在容易产生积屑瘤的加工中成为首选涂层。涂覆了这种几乎无形的涂层后,高速钢刀具或硬质合金刀具和成形工具的加工性能将会大大改善。

(5)金刚石涂层(Diamond)

CVD 金刚石涂层可为非铁金属材料加工刀具提供最佳性能,是加工石墨、金属基复合材料(MMC)、高硅铝合金及许多其它高磨蚀材料的理想涂层(注 意:纯金刚石涂层刀具不能用于加工钢件,因为加工钢件时会产生大量切削热,并导致发生化学反应,使涂层与刀具之间的粘附层遭到破坏)。

适用于硬铣、攻丝和钻削加工的涂层各不相同,分别有其特定的使用场合。此外,还可以采用多层涂层,此类涂层在表层与刀具基体之间还嵌入了其它涂层,可以进一步提高刀具的使用寿命。

3.涂层的成功应用

实现涂层的高性价比应用可能取决于许多因素,但对于每种特定的加工应用而言,通常只有一种或几种可行的涂层选择。涂层及其特性的选择是否正确可能就意味着加工性能明显提高与几乎没有改善之间的区别。切削深度、切削速度和冷却液都可能对刀具涂层的应用效果产生影响。

由于在一种工件材料的加工中存在着许多变量,因此确定选用何种涂层的最好方法之一就是通过试切。涂层供应商们正在不断开发更多的新涂层,以进一步提高涂层的耐高温、耐摩擦和耐磨损性能。与涂层(刀具)制造商一起验证最新、最好的刀具涂层在加工中的应用总是一件好事。


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潘晓华 朱祖昌
(艾福表面处理技术(上海)有限公司,上海工程技术大学)

摘要:
应用钢的强韧化设计和金属学原理的相关理论,本文相当详尽地分析了H13钢的化学成分及其对钢的组织结构和性能的影响,同时阐明了近年来国内外对H13钢成分的改进和发展方面的工作,旨在促进人们能更进一步开展开发、制造和处理H13钢的研究。

关键词:H13钢,化学成分,显微组织,工具钢设计

On the Chemical Composition of H13 Hot Work Tool Steel and It’s Development
PAN Xiaohua, ZHU Zuchang

Astract:
In this paper the authors apply relative theories of alloy steel design for strengthening and toughening and principles of physical metallurgy to the analyses in some detail of the chemical compositions of H13 hot work tool steel and the effects of the ones upon the microstructures and properties. In the next place we explain the improvement and development on the chemical composition in recent years. The purpose is in order to better prompt an investigation into the development, manufacture as well as heat treatment of H13 steel.

Keyword: h13 steel, chemical composition, microstructure, tool steel design

1. 前言

热作模具钢要求材料具有高的淬透性、高的高温强度、高的耐磨性、高的韧度、高的抗热裂能力和高的耐熔损性能等。在美国,热作模具钢分为三种:铬热作模具 钢、钨热作模具钢和钼热作模具钢,都冠以H字母,分别表示为H10~H19、H21~H26和H42、H43等。其中前两种钢的含碳量在 (0.30~0.50)﹪范围,后种钢的含碳量在(0.50~0.70)﹪范围内,三种钢的Cr、W、Mo和V合金元素的总含量在(6~25)﹪范围。

H13钢是使用最广泛和最具代表性的热作模具钢种,它的主要特性是[1]:(1)具有高的淬透性和高的韧性;(2)优良的抗热裂能力,在工作场合可予以 水冷;(3)具有中等耐磨损能力,还可以采用渗碳或渗氮工艺来提高其表面硬度,但要略为降低抗热裂能力;(4)因其含碳量较低,回火中二次硬化能力较差; (5)在较高温度下具有抗软化能力,但使用温度高于540℃(1000℉)硬度出现迅速下降(即能耐的工作温度为540℃);(6)热处理的变形小; (7)中等和高的切削加工性;(8)中等抗脱碳能力。更为令人注意的是,它还可用于制作航空工业上的重要构件。

航空及宇航工业发展要 求其构件采用具有高强度、高韧度和高屈强比的材料,人们已经知道[2],钢铁材料要能与钛合金相竞争,其拉伸强度必须达到1600~1700MPa,其断 裂韧度KIC≥125MPa√m 的水平。对飞行器,随飞行速度与音速的比值(称为马赫数,Ma,)的增加,要求构件能承受500℃或更高温度的能力,为此须采用具有二次硬化能力的钢材。 人们正是从热作模具钢受到启发,将之作为一种超高强度钢加以应用和开展相当类型的超高强度钢的研究。

本文将结合钢的强韧化理论和金属学原理来对H13钢的化学成分进行分析,并阐明目前在国际上其发展的概況。由于篇幅所限,关于本文中涉及的更详尽技術资料可以登陆我们公司网站 www.hefchina.com.cn 搜索。

2. H13钢的化学成分的分析

H13钢是C-Cr-Mo-Si-V型钢,在世界上的应 用极其普遍,同时各国许多学者对它进行了广泛的研究,并在探究化学成分的改进。钢的应用广泛和具有优良的特性,主要由钢的化学成分决定的。当然钢中杂质元 素必须降低,有资料表明,当Rm在1550MPa时,材料含硫量由0.005%降到0.003%,会使冲击韧度提高约13 J[2]。十分明显,NADCA 207-2003标准就规定:优级(premium)H13钢含硫量小于0.005%,而超级(superior)的应小于0.003%S和0.015%P。下面对H13钢的成分加以分析。

2.1 碳:美国AISI H13,UNS T20813,ASTM(最新版)的H13和FED QQ-T-570的H13钢的含碳量都规定为(0.32~0.45)%,是所有H13钢中含碳量范围最宽的。德國X40CrMoV5-1和1.2344的 含碳量为(0.37~0.43)%,含碳量范围较窄,德國DIN17350中还有X38CrMoV5-1的含碳量为(0.36~0.42)%[3]。 日本SKD 61的含碳量为(0.32~0.42)%[3,4]。我国GB/T 1299和YB/T 094中4Cr5MoSiV1和SM 4Cr5MoSiV1的含碳量为(0.32~0.42)%和(0.32~0.45)%,分别与SKD61和AISI H13相同。特别要指出的是:北美压铸协会NADCA 207-90[5]、207-97[6]和207-2003[7]标准中对H13钢的含碳量都规定为(0.37~0.42)%。

钢中含碳量决定淬火钢的基体硬度,按钢中含碳量与淬火钢硬度的关系曲线可以知道,H13钢的淬火硬度在55HRC左右[8]。 对工具钢而言,钢中的碳一部分进入钢的基体中引起固溶强化。另外一部分碳将和合金元素中的碳化物形成元素结合成合金碳化物。对热作模具钢,这种合金碳化物 除少量残留的以外,还要求它在回火过程中在淬火马氏体基体上弥散析出产生两次硬化现象。从而由均匀分布的残留合金碳化合物和回火马氏体的组织来决定热作模 具钢的性能。由此可见,钢中的含C量不能太低。

含5%Cr的H13钢应具有高的韧度,故其含C量应保持在形成少量合金C化物的水平上。Woodyatt 和Krauss[9]指出在870℃的Fe-Cr-C三元相图上,H13钢的位置在奥氏体A和(A+M3C+M7C3)三相区的交界位置处较好。相应的含C量约0.4%(见图1)[9]。 图上还标出增加C或Cr量使M7C3量增多,具有更高耐磨性能的A2和D2钢以作比较。另外重要的是,保持相对较低的含C量是使钢的Ms点取于相对较高的 温度水平(H13钢的Ms一般资料介绍为340℃左右),使该钢在淬冷至室温时获得以马氏体为主加少量残余A和残留均匀分布的合金C化物组织,并经回火后 获得均匀的回火马氏体组织。避免使过多残余奥氏体在工作温度下发生轉变影响工件的工作性能或变形。这些少量残余奥氏体在淬火以后的两次或三次回火过程中应 予以转变完全[2]。这儿顺便指出,H13钢淬火后得到的马氏体组织为板条M+少量片状M+少量残余A。经回火后在板条状M上析出的很细的合金碳化物的照片可见图2[9],国内学者也作了一定工作[14]


图1 Fe-Cr-C系870℃水平截面部分相图

图2 H13钢淬火回火的TEM组织



众所周知,钢中增加碳含量将提高钢的强度,对热作模具钢而言,会使高温强度、热态硬度和耐磨损性提高,但会导致其韧度的降低。 学者在工具钢产品手册文献[11]中将各类H型钢的性能比较很明显证明了这个观点。通常认为导致钢塑性和韧度降低的含碳量界限为0.4%。为此要求人们在 钢合金化设计时遵循下述原则:在保持强度前提下要尽可能降低钢的含碳量,有资料已提出:在钢抗拉强度达1550MPa以上时,含C量在0.3%-0.4% 为宜[2]。H13钢的强度Rm,有文献介绍为1503.1MPa(46HRC时)和1937.5MPa(51HRC时)。

查阅FORD和GM公司资料[12,13]推荐的TQ-1、Dievar和ADC3等钢中的含C量都为0.39%和0.38%等,相应的韧度指标等列于表1,其理由可由此管窥所及。

对要求更高强度的热作模具钢,采用的方法是在H13钢成分的基础上提高Mo含量或提高含碳量,这将在后面还会论及,当然韧度和塑性的略为降低是可以预料的。

表1 FORD、 GM公司推荐的部分H13钢

2.2 铬: 铬是合金工具钢中最普遍含有的和价廉的合金元素。在美国H型热作模具钢中含Cr量在2%~12%范围。在我国合金工具钢(GB/T1299)的37个钢号 中,除8CrSi和9Mn2V外都含有Cr。铬对钢的耐磨损性、高温强度、热态硬度、韧度和淬透性都有有利的影响,同时它溶入基体中会显著改善钢的耐蚀性 能,在H13钢中含Cr和Si会使氧化膜致密来提高钢的抗氧化性。再则以Cr对0.3C-1Mn钢回火性能的作用来分析,加入﹤6% Cr对提高钢回火抗力是有利的,但未能构成二次硬化;当含Cr﹥6%的钢淬火后在550℃回火会出现二次硬化效应。人们对热作钢模具钢一般选5%铬的加入 量。

工具钢中的铬一部分溶入钢中起固溶强化作用,另一部分与碳结合,按含铬量高低以(FeCr)3C、(FeCr)7C3和M23C6形式存在,从 而来影响钢的性能。另外还要考虑合金元素的交互作用影响,如当钢中含铬、钼和钒时,Cr>3%[14]< /sup>时,Cr能阻止V4C3的生成和推迟Mo2C的共格析出,V4C3和Mo2C是提高钢材的高温强度和抗回火性的强化相<>[14],这种交互作用提高该钢耐热变形性能。

铬溶入钢奥氏体中增加钢的淬透性。Cr﹑Mn﹑Mo﹑Si﹑Ni都与Cr一样是增加钢淬透性的合金元素。人们习惯用淬透性因子加以表征,一般国 内现有资料[15]还只应用Grossmann等的资料,后来Moser和Legat[16,22]的更进一步工作提出由含C量和奥氏体晶粒度决定基本淬 透性直径Dic和合金元素含量确定的淬透性因子(示于图3中)来计算合金钢的理想临界直径Di,也可从下式作近似计算:
Di=Dic×2.21Mn×1.40Si×2.13Cr×3.275Mo×1.47Ni (1)
(1)式中各合金元素以质量百分数表示。由该式,人们对Cr﹑Mn﹑Mo﹑Si和Ni元素影响钢淬透性有相当明确的半定量了解。


图3 钢中常用合金元素的淬透性因子

Cr对钢共析点的影响,它和Mn大致相似,在约5%的含铬量时,共析点的含C量降到0.5%左右。另外Si﹑W﹑Mo﹑V﹑Ti的加入更显著降低共析点含 C量。为此可以知道:热作模具钢和高速钢一样属于过共析钢。共析含C量的降低,将增加奥氏体化后组织中和最后组织中的合金碳化物含量。

钢中合金C化物的行为与其自身的稳定性有关,实际上,合金C化物的结构、稳定性与相应C化物形成元素的d电子壳层和S电子壳层的电子欠缺程度相关 [17]。随着电子欠缺程度下降,金属原子半径随之减小,碳和金属元素的原子半径比rc/rm增加,合金C化物由间隙相向间隙化合物变化,C化物的稳定性 减弱,其相应熔化温度和在A中溶解温度降低,其生成自由能的绝对值减小,相应的硬度值下降。具有面心立方点阵的VC碳化物,稳定性高,约在 900~950℃温度开始溶解,在1100℃以上开始大量溶解(溶解终结温度为1413℃)[17];它在500~700℃回火过程中析出,不易聚集长 大,能作为钢中强化相。中等碳化物形成元素W 、Mo形成的M2C和MC 碳化物具有密排和简单六方点阵,它们的稳定性较差些,亦具较高的硬度、熔点和溶解温度,仍可作为在500~650℃范围使用钢的强化相。M23C6(如 Cr23C6等)具有复杂立方点阵,稳定性更差,结合强度较弱,熔点和溶解温度较低(在1090℃溶入A中),只有在少数耐热钢中经综合合金化后才有较高 稳定性(如(CrFeMoW)23C6,可作为强化相。具有复杂六方结构的M7C3(如Cr7C3、 Fe4Cr3C3或Fe2Cr5C3)的稳定性更差,它和Fe3C类碳化物一样很易溶解和析出,具有较大的聚集长大速度,一般不能作为高温强化相 [17]。

我们仍从Fe-Cr-C三元相图可以简便了解H13钢中的合金碳化物相。按Fe-Cr-C系700℃[18~20]和870℃[9]三元等温 截面的相图,对含0.4%C钢中,随Cr量增加会出现(FeCr)3C(M3C)和(CrFe)7C3(M7C3)型合金碳化物。注意在870℃图上,只 有含Cr量大于11%才会出现M23C6)。另外根据Fe-Cr-C三元系在5%Cr时的垂直截面,对含0.40%C的钢在退火状态下为α相(约固溶1% Cr)和(CrFe)7C3合金C化物。当加热至791℃以上形成奥氏体A和进入(α+A+M7C3)三相区,在795℃左右进入(A+M7C3)两相 区,约在970℃时,(CrFe)7C3消失,进入单相A区。当基体含C量﹤0.33%时,在793℃左右才存在(M7C3+M23C6和A)的三相区, 在796℃进入(A+M7C3)区(0.30%C时),以后一直保持到液相。钢中残留的M7C3有阻止A晶粒长大的作用。Nilson提出,对1.5%C -13%Cr的成分合金,欠稳定(CrFe)23C6不形成[20]。当然,单以Fe-Cr-C三元系分析会有一些偏差,要考虑加入合金元素的影响。

提醒注意:国内有些作者对于这点的看法尚有不足[21]。

对H13改进型热作模具钢,含Cr成分有两种范围:低Si高Mo的 Cr5.0%型和Cr2.6%型,下面还会论述。

顺便提一下,较高含铬的钢淬火并在550~450℃回火后慢冷会具有第二类回火脆性,所以对回火后的冷却要予以充分注意。

2.3 Mn:几乎所有商业用钢都含一定数量的Mn。钢中含有Mn可以改变钢在凝固时所形成的氧化物的性质和形状。同时它与S有较大的亲合力,可以避免在晶界上形 成低熔点的硫化物FeS,而以具有一定塑性的MnS存在,从而消除硫的有害影响,改善钢的热加工性能[18]。在美国热作模具钢中H21~26和 H41~43的含锰量均在(0.15~0.40)%范围内,H10~19的含锰量高于该范围。

Mn具有固溶强化作用,从而提高铁素体和奥氏体的强度和硬度,虽然其固溶强化效果不及碳、磷和硅,但其对钢的延展性几乎没有影响。在铁素体-珠光体型钢中Mn是唯一可使屈服强度增加又使冷脆转变温度变化最小的合金元素。

锰是弱碳化物形成元素,它可溶入渗碳体中形成合金渗碳体(Fe,Mn)3C,其形成可降低系统的自由能,即取于更稳定状态(注意Fe3C中的Fe可全部为Mn所取代,而Cr只可在Fe3C中固溶18%~20%(原子分数))。

锰溶入奥氏体中能强烈增加钢的淬透性,同时强烈减低钢的Ms点。Andrewn[9]提出的Ms(℃)公式(适用于~0.6%C,~4.9%Mn,~5%Cr,~5%Ni和~5.4%Mo钢)为:
Ms(℃)=539-423C-30.4Mn-12.1Cr-17.7Ni-7.5Mo (2)

关于淬透性的提高,已在前节作了说明。降低Ms点和增加淬火钢中的残余奥氏体量相联系,从而 为设计微变形钢提供途徑。有报道,高精度冷作模具钢CrMn2SiWMoV中Mn的量为(2.10~2.40)%。

Mn加入钢中使Ac1、Ac3、Ar1和Ar3降低,这与细化铁素体和珠光体相联系,又会减薄碳化物片, 对F-P型钢的强化起积极作用。同时有资料介绍Mn和Ni类似有提高钢的韧度的作用。

H13型二次硬化型模具钢,其含Mn量在(0.20~0.60)%范围。对改进型热作模具钢(如QRO90 super,Super Me和HOTVAR)含Mn在0.75%,处于较高的水平,与低Si高Mo型H13型钢Mn含量在(0.40~0.55)%范围(如ASSAB公司的 Dievar钢)成明显对照。

2.4 Si: 硅是一个对铁素体进行置换固溶强化非常有效的元素,仅次于磷,但同时在一定程度上降低钢的韧度和塑性。一般都将Si限制在钢脱氧需要的范围内。如果将Si作为合金元素加入钢中,其量一般≮0.40%。

置换固溶强化一般引起铁的球面对称畸变,它能与刃形位错产生弹性交互作用,一般不与螺形位错产生交互作用而阻止其运动。这样它与C、N原子的间隙固溶强化相比属于弱强化。人们已经知道:置换固溶的抗拉强度增值ΔRm为[17]:
ΔRm = K×(X)n (3)
式中 X为溶质原子的质量百分数,n为系数,一般n≈0.75,K为强化系数,它反映合金元素的强化能力,对Si Ksi=75850 MPa;而KMn=48260MPa;KMo=61190MPa。

Si的固溶使铁素体基体的点阵常数变小,其原子半径0.118nm,α-Fe为0.126nm,由此可见,使点阵常数缩小的固溶合金元素具有较有效的强化作用。

Si也为提高回火抗力的有效元素。Si降低碳在铁素体中的扩散速度,使回火时析出的碳化物不易聚集,增加回火稳定性。另外,Si虽然不推迟ε 碳化物的生成,但它可固溶于ε碳化物,并提高其稳定性,延迟ε→θ转变。第一类回火脆性与ε→θ转变和沿马氏体条间界分布形成连续薄膜有关,延迟ε→θ转 变便意味着提高第一类回火脆性发生温度或抬高回火温度-硬度曲线,可使回火马氏体的ε碳化物与基体保持共格和均勻分布,使回火马氏体保持有良好的强韧性配 合[17]。有资料表明,含1%Si相应可提高回火温度30~50℃,对0.45C-5Cr-2Mn钢,Si量从0.07%提高至1.0%可在 (550~650)℃回火时获得较高硬度。但是,Si加入量过多,会使碳化物聚集的过时效速度增大,以至于难以控制,这样,其加入量限制在0.75%是比 较合适的。

另外,Si易使钢呈现带状组织,使钢的横向性能比纵向性能差,也使钢的脆性转折温度升高;Si还具有促进钢的脱碳敏感性;但Si有利于高温抗氧化性的提高。

美国H型热作模具钢中H21~26和H41~43以及H19的Si含量最大为0.40%或略高,而H10~14钢的含Si量为(0.80~1.25)%,属含较高Si量的钢。

2.5 Mo:Mo溶于Fe中也具固溶强化的作用,Mo溶解于A中能提高钢的淬透性,这在前面已有论述。

这儿应明确指出,Mo明显推迟珠光体转变,但对贝氏体转变的影响不大,具体表现为:在钢中只要加入0.25~1.0%的Mo量,便足以使珠光体转变和贝氏体转变的区域分开,(Cr﹥ 2%和 V﹥ 0.5%也有相类似的作用)。

Mo是作为使钢具有二次硬化的主要合金元素加入的,现在普遍认为,这是由于在回火时马氏体中析出Mo2C造成。Mo可与C形成Mo2C和MoC 合金碳化物,还可随回火温度升高转变为M6C。具有密排六方点阵的Mo2C在马氏体板条内,亚晶界上以平行的细针状(二维为层片状)析出,显然,这种析出 必须按单独形核机制(separate nucleation)。TEM研究指出,析出的位向关系为:(1102)Mo2C∥(010)α,[1101]Mo2C∥[100]α,[1120] Mo2C∥[001]α 。Mo2C和基体共格,从而导致二次硬化。Honeycombe认为,Mo2C形成初期是Mo和C原子沿马氏体的﹛100﹜面偏聚,形成象Al-Cu合金 时效时出现的G-P区相似的组织[2]。钢中加入W和V形成W2C,VC的合金碳化物,也會具有二次硬化作用。另外再加入Cr和Co可以强化二次硬化效 应。但要注意,为使钢中W和V的碳化物溶解进入A中,需要采用较高的奥氏体化温度,易引起奥氏体晶粒粗化而带来不良影响。所以常以优选Mo为最佳的二次硬 化合金化元素。一般为了产生二次硬化效应,要求Mo的加入量不低于1.0%,加入3%Mo时可取得接近极值的效果。当加入量为2.0%~2.5%时,可获 得最合经济和有效的效果[17]。Mo具有比Cr更强烈的碳化物形成倾向,在5%Cr的热作模具钢中,Mo2C先于Cr7C3形成。前已述,M7C3不能 作为二次硬化的高温强化相,而且它在回火马氏体中的形成是以原位析出(in-situ)机制,不会发生弥散析出。为此,Mo的二次硬化的硬化强度和其最大 硬化强度对应的温度皆高于Cr的相应值,同时,Mo2C的过时效速度亦较低(即不易聚集长大)。这三个条件是衡量二次硬化有效性的三个主要指标。

Mo会提高钢的脱碳氧化敏感性,一般认为含3% Mo是使钢发生脱碳敏感的临界加入量。

对含(2~3)% Mo的钢,为了提高钢的淬透性,常常还得加入(1~2)%的铬。

2.6 V:V是置换固溶强化铁素体和形成奥氏体圈的元素。它和C,N的亲和力强。人们已知过渡族金属与C的亲和力因为其d电子壳层电子未填满,碳原子将其价电子 填入过渡族金属d电子壳层。对VC,rc/rm =0.57( ﹤0.59),形成间隙相化合物,具有FCC点阵结构,但在点阵的正八面体间隙并不都有碳原子,即存在碳原子缺位,这样,碳化钒并不严格按化学式,一般表 示为V4C3(VC0.98~0.75),所以其点阵常数和硬度在一定范围内变化。VC的ΔG298O为‐83.7kJ∕mol[25],熔点为 2830℃,硬度为2400HV,其残留在钢内将有利于耐磨性提高。其全部溶于A的温度为1413℃。

V在工具钢中的主要作用是细化 钢的晶粒和组织,增加钢的回火稳定性和增强二次硬化效应。一般介绍,V加入0.05%可细化晶粒,随加入量增加, 细化效果加强。因为既使温度趋近700℃ ,V的碳化物稳定性仍高,仍能保持细小,所以V是有效阻止A晶粒粗化的元素,也是在高温下服役的钢的重要合金化元素,下文还有论述。

V和Mo,W一样溶入基体中提高 α–Fe的自扩散激活能,另外它偏聚在位错线附近形成气团,与位错产生交互作用阻止其滑移,阻止位错网絡的重新排列形成胞状亚结构,增加马氏体的回复再结 晶抗力,增加回火稳定性。再则,加入0.5%V,依籍V4C3的沉殿亦可产生二次硬化效应,且随V量增加有向高温推移的趋势,硬化强度提高,过时效速度亦 较低,但要使V4C3溶入A中,加热温度要较高,(有介绍对含V的低合金及微合金低碳F-P型钢在950 ℃奥氏体化后正火便能产生有效的沉殿硬化和在1150℃正火显示最佳的沉殿硬化,这点可籍以参考)。需要采用高的奥氏体化温度会引起A晶粒粗化,及钢的缺 口冲击韧度降低,如V在0.5%附近时。在2%Mo钢中加入0.5%V尚不足构成V4C3,而V会固溶于Mo2C。V原子半径为0.135nm(Mo为 0.145nm),不增大点阵错配度,但因为V和C的亲和力大,会提高Mo2C的稳定性,即增加二次硬化的有效性,使二次硬化的峰值温度提高。

V的碳化物形成为小的细片,起始片宽﹤5nm,厚不大于1nm,在550~650℃ 范围析出于F晶粒内的位错线上,产生明显的二次硬化作用,在550℃ 早期沉殿阶段,碳化物与基体共格,在<010>α 和<110>vc之间的错配度仅为3%,位向关系为{100}VC∥{110}α(Baker/Nutting)然而在700℃回火,碳化物 片迅速粗化和开始球化,但马氏体片仍保持着,待700℃长时间回火后才变为等轴状铁素体晶粒[22]。

在钢中加入高于0.5% V可形成稳定V4C3,并引起二次硬化,其峰值温度约为(600~625)℃,(Mo的二次硬化峰值温度约为570℃~580℃),对0.40%C- 2Cr-2Mo-0.5V钢的回火,由于Mo量较高最终会形成M6C(如Fe3Mo3C),M6C为原位形核机制析出,二次硬化作用不明显。

3. H13钢的发展

由上面的分析,人们对0.4%C-5%Cr-1%Mo-1%Si-V的H13钢的化学成分会有较明确的认识,同时也对目前国际上对其成分向低Si高Mo的发展有进一步了解。

日本田部博辅[4]明确指出SKD61(相当于H13钢)的发展的第一阶段是对该钢由常规熔炼方法向真空脱气,炉外精炼和电渣重熔(ESR)发 展,并采用均匀化处理方法来改善钢材内部质量,减少偏析,致在追求H13钢材质和性能的提高;同时在热处理方法上改进来提高工具和模具制品的性能和减少变 形,采用真空高压气淬(如10bar 氮气)和油冷或阶段淬火等防止晶界C化物的析出和发生贝氏体转变以求得韧度的改善。发展的第二阶段是对SKD61钢进行成分改进,其主要是向低Si高Mo 方向发展。低Si化方向最初是从对大型钢块内部偏析大大改善的低Si-VCD炼钢技术受到启发;另一方面高Mo化方向是由德国X40CrMoV5-3 (1.2367)和3Cr型SKD61钢具有优良的高温强度和淬透性来确定的。在这两种技术背景下进行研究开发低Si(<0.25%)高Mo (2~3.5%)的H13改进的热作模具钢。

对于Si量降低的作用有:1)∨形或∧形偏析减轻;2)宏观组织均匀化;3)微观凝固组 织的树枝晶细化;4)减少凝固时凝固界面上的成分过冷;5)共晶碳化物的减少6)奥氏体结晶细化;7)塑性和韧度提高;8)高温疲劳裂纹扩展速度减小; 9)蠕变裂纹扩展速度减低;10)淬火冷却抑制贝氏体转变;11)抗热裂性提高,但带来的不足是切削性能降低,有关改良的方法在继续研究中。

对于高Mo的优点有:1)提高淬透性,抑制晶界碳化物的析出和贝氏体转变;2)提高回火抗力;3)提高高温强度和高温蠕变强度;4)提高抗热裂 能力;5)提高韧度;6)共晶碳化物细化和碳化物分布均匀。关于抑制贝氏体转变有资料报道,对610×203×500mm的H13模块经3bar(约 3atm)氮气气淬后心部和表面的贝氏体量达70%和40%,而对低Si高Mo SKD61钢相应仅有2%和1%。

共晶碳化物的细化和碳化物分布均匀与Mo加入钢中可降低钢的结晶温度以及使钢的凝固温度区间变窄有关,这与W高速钢改成Mo高速钢不出现鱼骨状共晶C化物和锻后可获得满意的碳化物分布很相似。
钢凝固中液相线与固相线之间温度区间的变窄能减小凝固时液固界面上的成分过冷。对合金凝固中的液固相界面前沿处不出现成分过冷的临界温度梯度Gc可用下式表示[23]:
Gc=(-mR/D)(1-Ko)(CL)x (3)

式中D为液相中溶质原子的扩散系数,m为液相线斜率,R为液固界面移动速度,Ko为x处固相和液相中溶质的浓度Cs和CL的比值,即Ko= (Cs/CL)x,称为平衡分配系数,Cs和CL可以从平衡相图上查得,如果Cs<CL则Ko<1,对Fe-Si和Fe-Mo相图均属于Ko<1的情况 [24],这时液相线和固相线的斜率均为负数。因为要了解低Si高Mo型H13钢的液相线和固相线区间变窄对凝固组织和偏析的影响,我们在这儿可假设认为 原H13钢和低Si高Mo H13钢的液相线斜率和 CL 值相差不大,又将 R 看作为近似相等,仅只考虑变化的是 Ko 。由上述已知(Cs)Ⅱ>(Cs)Ⅰ,则KoⅡ>KoⅠ,按式(3)可知(Gc)Ⅱ<(Gc)Ⅰ,其中Ⅰ和Ⅱ分别表示原H13型钢和低Si高Mo H13型钢相应的液固相凝固情况。人们已经知道,Gc小的话,这种合金在凝固时液固相界面附近不易出现成分过冷。根据这一观点显然可以推知:低Si高Mo 的H13型钢在凝固时不易出现成分过冷现象。它和原H13型钢的Gc和成分过冷范围的比较示意表示于图4中。液固界面上成分过冷区很小,则不易出现树枝晶 或会出现胞状柱晶,当然就可避免严重的枝晶偏析,而胞状晶的偏析程度是较轻微的。


图4 H13钢(Ⅰ)和低Si高MoH13钢(Ⅱ)凝固时的成分过冷示意图

以合金元素Cr,Mo和V加入钢中,对钢二次硬化峰值温度来看,相应为500℃,(570~580)℃和(600~625)℃。为此,为了让 H13钢的使用温度进一步提高,必须以V进行合金化,让原来以Mo2C引起的二次硬化作用改变为以V4C3引起的二次硬化。但前面的分析已明确指出,虽然 高于0.5%V可形成高稳定性的V4C3合金碳化物,依赖V4C3在回火马氏体基体上的共格弥散析出产生明显的二次硬化,但要让V4C3合金碳化物溶入A 中,需采用1050℃以上的奥氏体化温度,这会导致A晶粒的粗化,不利于工件的塑性和韧度的提高。为了克服A晶粒粗化的弊病,必定要使钢内存在稳定性更高 的细小颗粒的碳化物来足以阻止A晶界的迁移。这样,人们自然想到了Nb和Ti,依靠稳定性比V4C3高的NbC和TiC。又由于Ti有一定的弊病,面心立 方结构的NbC就作为首选,这是国内学者合金化设计的主要思路。俞德刚[17]指出:Nb的加入量达0.04%便表现出有效的晶粒细化能力。NbC合金碳 化物的有效程度首先取决Nb在奥氏体中的溶解度,Nb在奥氏体化温度下的溶解度用下式表示:
log[Nb]×[C]=2.96-7510/T ⑷

奥氏体中NbC的溶解度比VC和TiC低。
其次取决于NbC的低的形成自由能值,我们可以查得NbC的形成标准自由能ΔG2980=-139.2KJ/mol[25]。由金属学原理知道,随ΔG的降低(绝对值的增大),均匀形核r*或非均匀形核的临界核心尺寸r*非变小[23]:

r*非=-2γ/ΔGv ⑸

式中γ为界面能,ΔGv这儿可看作为碳化物的形成自由能。请注意r*值小是弥散析出强化的前提要求。有报导,质点直径达10-10m数量级会有 制止变形后亚结构的恢复和奥氏体再结晶的作用[26]。同时NbC在奥氏体中的溶解终结温度为2876℃,即说明NbC在一般的奥氏体化温度(如 1070℃)是不会全溶解掉的,能确实起到制止A晶粒粗化的作用。

我国早在上世纪80年代开展研究,并列入航空部标准的 3Cr3Mo3VNb钢[27]中加入V的量为(0.60~0.80)%,加入Nb的量约 (0.08~0.15)%。该钢具有降低加热时的过热敏感性,高温强度高,热稳定性高,塑性韧度高,耐冷热疲勞性好和耐热磨损性优良特点,可用于制作铝合 金、铜合金压铸模、不锈耐热钢和高温合金精锻模具等。我们认为,上述的分析将提供了有力的说明。李麟和吴晓春[28]对新型模具钢合金成分设计中也考虑加 入铌,指出4Cr5Mo3SiVNb钢在650℃回火时仍保持45HRC硬度和能进一步提高综合机械性能。

Uddeholm公司为了开发耐温度达650℃时具有高寿命的热作模具钢,提出含碳含硅较高的低Cr高Mo的HOTVAR专利钢。该钢同时兼 具优良的耐热磨损性、高温强度和热态硬度,特别适用于制作易于在热磨损或塑性变形条件下失效的模具。这些模具有铝管挤压模具,热弯曲、热校正模,进级锻 打、摆锻、滚锻和温锻(在650℃~950℃范围内锻造)条件下工作的模具等。该钢相应的化学成分为:0.55C-1.0Si-0.75Mn-2.6Cr -2.25Mo-0.85V[29]。这也是具有特色的工作。

本文相当详尽从钢的强韧化设计和金属学原理相关理论出发分析H13钢的化学成分及其对钢的组织结构和性能的影响,阐明近年来国内外H13钢的 成分改进和发展,以使人们能更好研究开发、制造和处理H13钢,并生产出高质量、低成本的模具制成品,走向国际,创建名牌。为了更进一步提高模具使用寿 命,对模具的表面进行改性[30],已愈来愈得到人们的青睐。

4. 结束语

H13热作模具钢属于具有二次硬化效应的超高强度钢。应用钢的强韧化设 计和金属学原理相关理论可以相当完善的分析和确定H13钢的化学成分,并了解化学成分对钢的组织结构和性能的影响。在此基础上,国内外很多学者正在努力探 究和拓展H13钢,以获得具有较低冶煉成本、合金化最合理的、又具有最佳组织结构和优良性能的钢种。现在,低Si高Mo的合金化途径和加入Nb合金化的方 法是H13钢成分设计上的两种趋势。经合理合金化的高性能材料,采用优化的热处理方法和表面改性方法,一定能确保制造出高服役寿命的模具。


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摘要:纳米材料复合涂层的结构和特性是纳米科技中的重要研究课题,本文重点讨论了制造技术的新观念,纳米材料的完美定律,涂层材料的发展前景,纳米场发射特性等。进而,讨论重要的物理理论研究的热点-电子强关联体系和软凝聚态问题。展现了涂层材料科学与技术的深刻理论内容和重要的发展前景。
关键词:纳米涂层;场发射;电子强关联;软凝聚态物质
中图分类号TB43TB383 文献标识码A 文章编号1002-0322(2004) 04-0021-06

2003年在国际和中国都发生了具有突发性的灾难事件,但中国的GDP仍以9.1%的高速度在增长,达到了人民币11.6万亿元,其中第二产业贡献4万多亿元。中国现今的第二产业主要领域是冶金、制造和信息,在世界的地位是大加工厂,也是大市场。在国际竞争中所以有优势是中国的劳动力廉价,这个优势我们能保持多久?我们还注意到与化工有关的产品中,我们的生产效率是国际发达国家的5%,能耗是3倍,环境的破坏是9倍。这就是我们所付出的代价。不论形势如何严峻,21世纪是中华民族振兴的机遇期,制造业绝对是一个极其重要的领域,是个急速发展变化的领域。20033月国际真空学会执委会在北京举行,会议上讨论了将原来的冶金专委会改名为“表面工程专委会”,当时也考虑了另一个名字“涂层专委会”,我想用涂层材料更合适,含有继承性和变革性。20世纪70年代曾经说成是塑料年代,此后塑料科技和工业迅速崛起,极大地改变了人类社会。继而是信息时代,通信网、计算机网、万维网、智能网,信息流,日新月异地改变着人类的生活和观念。我们这个时代是高速发展的时代,技术和观念都在与时俱进地改变着。

本世纪初兴起了纳米科技,促进其到来的是由于微电子小型化的发展趋势,推动科技发展进入纳米时代[1], 不仅电子学将进入纳电子学领域,物理学进入介观物理领域,各类科技,包括生物医学等都在探索纳米结构与特性。涂层和表面改性越来越多地增加了纳米科技的内 容,这是一种低维材料的制造和加工科技,将是制造技术的主流,将迅速地改变传统制造技术的方法、理论和观念,作为现今国际上的制造大国,世界加工厂,我们 更应该注意研究制造技术的发展和未来。

1
突破传统制造技术的观念

纳 米科技研究的内容主要是在原子、分子尺度上构造材料和器件,测量表征其结构和特性,探索、发现新现象、新规律和应用领域。与我们熟悉传统的相比,纳米材料 和器件具有显著的维数效应和尺寸效应。近几年来,在纳米材料制造方面做了大量的研究工作,在纳米粒子粉材的制造,以及材料结构和特性测量、表征上取得了显 著成果[27]。接下来深入到纳米线、纳米管和纳米带的研究[814],出现了一些成功有效的制造方法,发现了一些惊人的结构和特性。在此基础上,发展了纳米复合材料的研究,展现了非常有希望的应用前景[1517]。近来人们在纳米科技初期成果的基础上挑战某些产品的传统加工技术,比如Al组件的快速加工。

T.B.Sercombe
等人报道了快速加工铝(Al)组件的新方法[18],这个方法的主要特征是用快速成型技术先形成树脂键合件,然后在氮气氛中分解其键和第二次渗入铝合金。在热处理过程中,铝与氮反应形成氮化铝骨架,在渗透过程中得到刚体结构。与传统制造工艺相比,这个过程是简单的快速的,可以制造任何复杂组件,包括聚合物、陶瓷、金属。图1是过程示意和原型样品,(a)是尼龙巾镶嵌铝粒子的SEM像,中心有结构细节的是Mg粒子,白色是Al粒子,加入少量的Mg是为还原氧化铝,它将不是铸件中的成分。在尼龙被烧去时,这个结构基本保持不变。(b)是氮化物骨架,围绕Al粒子的一些环状结构的光学显微镜像,再渗入Al时将形成密实结构。(c)是烧结的氮化铝和渗铝组件,小柱的厚为0.5 mm 其密度和强度都达到了传统铸造技术的水平。他们还制作了公斤重量多种结构的样品。这是一种冶金技术的探索,开辟了一种新的冶金和制造技术途径。

2 纳米材料的完美定律

描 述材料结构的常用术语是原子结构和电子结构。原子结构的主要参量是晶格常数、键长、键角;电子结构的主要参量是能带、量子态、分布函数。对于我们熟悉的宏 观体系,这些参量多是确定的常数,但对于纳米体系,多数参量随着原子数量的改变而变化。这是纳米材料和器件的典型特征,它决定了纳米材料的多样性。其中有 个重要规律,我们称之为纳米材料的完美定律,用简单语言表述:“存在是完美的,完美的才能存在”。它包括了纳米晶粒的魔数规则,即含有1355147…等数量原子的原子团是稳定的,对于富勒烯碳60和碳70存在的几率最大,而对于碳59或碳71等结构体系根本不存在。这就是为什么斯莫利(Smmolley)他们当初能在大量的富勒烯中首先发现碳60和碳70,从而获得了诺贝尔奖。对于一维纳米结构,包括纳米管和纳米线,存在类似的规则。可以模型上认为是由壳层构成的,每个壳层中更精细的结构称为股,每一股是一条原子链,中心为1股包裹壳层为7股的表示为7-1结构,再外壳层为11股的,表示为11-7-1 结构,等等,构成最稳定的结构,这是一维纳米结构的魔数规则。对二维纳米膜存在类似的缺陷熔化规则,即不容许存在很多缺陷,一旦超过临界值,缺陷自发产生,完全破坏二维晶态结构。上述这些低维结构特征是完美定律的具体表述,进步普遍表述理论是正在研究中的课题。

完 美定律是我们讨论涂层材料的出发点,因为纳米材料有更多的人造品格,是大自然很少存在或者不存在的,需要人工大量制造。在制造过程中,方法简单、产额高、 成本低是最有竞争力的。可以想象,制造成本很高的材料和器件能有市场,一定是不计成本的特殊需要,有政治背景或短期的社会需求。因此在我们探索纳米材料制 造时,首先考虑的应是满足完美定律的技术,如用甲烷电弧法制备纳米金刚石粉技术[1],电化学沉积法制备金属纳米线阵列技术[19],以及电炉烧结法制造氧化物纳米带技术[20]等等。

3
涂层纳米材料将给我们带来什么?

涂层纳米材料是纳米科技领域具有代表的材料,或是低维纳米材料的有序堆积结构,或者是低维纳米材料填充的复合结构。两者都比传统材料有惊人的结构和特性。如新型高效光电池[21]、各向异性结构材料[19]、新型面光源材料[22]等,这里举例介绍基于热电效应的新型纳米热电变换材料。

热 电效应器件的代表是热电偶,即利用不同导体接触的温差电现象进行温度测量的器件。基于热电效应可以制成两类器件:热产生电和电产生温差。前者可以用于制造 焦电器件,即用热直接发电,如将焦电材料涂于内燃机缸表面,利用缸体温度高于环境几百度的温差发电,将余热变作电能回收。后者可以做成电致冷器件。这类的 直接热电变换器件具有无污染,没有活动部件,长寿命,高可靠性等优点,但块体材料制成器件的效率低,限制了它的应用。纳米科技兴起以后,人们探索利用纳米 晶或纳米线结构能否解决热电效应的效率问题。认为用量子点超晶格材料有希望显著提高热电器件的效率,这是由于纳米材料显著的能级分裂,有利于载流子的共振 输运和降低晶格热传导,从而提高了器件的效率。T.C.Harman等人[23]报告了量子点超晶格结构的热-电效应器件,他们制备了PbSeTePbTe量子点超晶格(QDSL)结构,用其制造了热电器件(Thermo-electricsTE),图2(a)是纳米超晶格TE致冷器件的结构和电路图,(b)电流-温度曲线。将TE超晶格材料,其宽11 mm ,长5 mm ,厚0.104 mmn-型的TE片,一端置于热槽,另一端置于冷槽,为了减小冷槽热传导而形成这同结接触,用一根细金属线与热槽连接。当如图2(a)所示加电流源时,将致冷降温。对于这种纳米线超晶格结构,由于量子限制效应,发生间隔很大的能级分裂,从而得到很高的热电转换效率。图2(b)TE器件的电流-温度曲线,实验点标明▲为热与冷端温差(T )与电流(I )关系,电流坐标表示相应通过器件的电流。■为热端温度Th与电流I 的关系,其温度对于流过器件的电流不敏感。◆为冷端温度Tc与电流I 的关系,其温度对于电流是敏感的。图中A是测得的最大温差,43.7 KB是块体(BiSb)2(SeTe)3固溶合金TE材料最大温差,30.8 K。从图中可以看出,在较大电流时,冷端温度趋于饱和。采用这种致冷器件由室温降至一般冰箱的冷冻温度是可能的。

电热效应的逆过程的应用就是焦电器件,即利用热源与环境的温差发电。对于内燃机、锅炉、致冷器高温热端等设备的热壁,涂上超晶格纳米结构涂层,利用剩余热能发电,将是人们利用纳米材料和组装技术研究的重要课题。

类似面致冷、取暖,面光源,面环境监测等涂层功能材料,将给家电产业带来革命性的影响,将会极大地改变人类的生活方式和观念。

4
含铁碳纳米管薄膜场发射

碳纳米管阵列或含碳纳米管涂层场发射被广泛研究,以其为场发射阴极做成了平板显示器。研究结果表明碳管的前端有较强的场发射能力,因此碳管涂层膜中多数碳管是平放在基底上的,场电子发射能力很差。我们制备了含有铁(Fe)纳米粒子的碳纳米管,它的侧向有更大的场发射能力,有利于用涂层法制造平板场发射阴极。图3(a)是含铁粒子碳纳米的TEM像,碳管外形发生显著改变。(b)是碳管场发射I-V特性曲线,ICVD生长的竖直排列碳纳米管的场发射曲线,II是含铁粒子碳纳米管竖直阵列的场发射曲线,III是含粒子碳纳米管躺在基底上的场发射曲线,有最强的场发射能力。根据此结果,将含铁的碳纳米管用作涂层场发射阴极,有利于研制平板显示器。

5 电子强关联体系和软凝聚态物质

上面所讲到的涂层纳米功能材料和器件是当今国际上研究的热门课题,会很快取得重要成果,甚至有新产品进入市场。当我们在讨论这个纳米科技中的重要方向时,不能不考虑更深层的理论问题和更长远的发展前景。这就涉及到物理学的重要理论问题,即电子强关联体系(electron strong correlation system)与软凝聚态物质(soft condensation matter)

在量子力学出现之前,金属材料电导的来源是个谜,20世纪初量子力学诞生后,解决了金属导电问题。基于Bloch假设:晶体中原子的外层电子,适应晶格周期调整它们的波长,在整个晶体中传播;电子-电子间没有相互作用。这是量子力学的简化模型,没有考虑电子间的相互作用,特别是在局域态电子的强相互作用。2003年又有人提出了金属导电问题,Phillips和他的同事以“难以琢磨的Bose金属”为题重新讨论了金属导电问题[24]。当计入电子间的相互作用时,可能产生的多体态,超导和巨磁阻就是这种状态。晶体中的缺陷破坏了完善导体,导致电子局域化。电子与核作用的等效结果表现为电子间的吸引作用,导致电荷载流子为Cooper对。但这个对的形成,不是超导的充分条件。当所有Cooper对都成为单量子态时,才能观察到超导性。这样,对于费米子由于包利(Paulii)不相容原则,不可能产生宏观上的单量子态。Cooper对的旋转半径小于通常两个电子相互作用的空间,成为Bose子。宏观上呈现单量子态,Bose子的相干防止了局域量子化。在局域化电子范围内,超导性可能认为是玻色-爱因斯坦凝聚,这个观点现今被很多人接受。从20世纪初至今,对于基本粒子的量子统计有两种,一是Fermi统计,遵从Paulii不相容原理,即每个能量量子态上只能容纳自旋不同的2个电子,而Bose子则不受这个限制。在凝聚态物质中有两个基态:即共有化Bose子呈现超导态,局域化Bose子呈现绝缘态。然而,在几个薄合金膜的实验中,观察到金属相,破坏了超导体和绝缘体之间直接转换。经分析认为这是玻色金属态,参与导电的是Bose子。推断这个金属相可能是涡流玻璃态,这个现象在铜氧化物超导体中得到了验证。

软凝聚态物质研究的对象是原子、分子间不仅存在短程作用力,而且存在长程作用力,表观上呈现的粘稠物质形态,称为软凝聚态。至今,人类对于晶体和原子存在强相互作用的固体已经知道得相当透彻了,但对软凝聚态的很多科学问题还没有深入研究,21世 纪以来,引起了科学家的极大兴趣。软凝聚态物质包括流体、离子液体、复合流体、液晶、固体电解、离子导体、有机粘稠体、有机柔性材料、有机复合体,以及生 物活体功能材料等。这其中的液晶由于在显示器件上的很大市场需求,是被研究得相当清楚的一种。其他软凝聚态结构和特性的科学问题和应用前景是目前被关注的 研究课题。这其中主要有:微流体阀和泵、纳米模板、纳米阵列透镜、有机半导体、有机陶瓷、流体类导体、表面敏感材料、亲水疏水表面、有机晶体、生物材料(人造骨和牙齿)、柔性集成器件,以及他们的复合,统称为分子调控材料(materials of molecular manipulation)。 其主要特征是原子结构的多变性和柔性,研究材料的设计、制造、结构和特性的测量、表征,追求特殊功能;理论上探讨原子结构的稳定体系,光、电、热、机械特 性,以及载流子及其输运。关于软凝聚态物质,有些早已为人类所用,电解液、液晶等,但对其理论研究处于初期阶段。科学的发展和应用的需求促进深入的理论研 究,判断体系稳定存在的依据是自由能最小,体系自由能可表示为F=E-TS,其中S是熵。对于软凝聚态物质体系,S是重要参量。其中更多的缺陷,原子、分子运动的复杂行为,更多的电子强关联,不再是单粒子统计所能描述,需要研究粒子间存在相互作用的统计理论。多样性是这个体系的突出特征,因此其理论涉及广泛、复杂问题。

物 理学是探索物态结构与特性的基础学科,是认识自然和发展科技的基础,其中以原子间有较强作用的稠密物质体系为主要研究对象的凝聚态物理近些年有了迅速进 展,研究范围不断扩大,从固体结构、相变、光电磁特性扩展到液晶、复杂流体、聚合物和生物体结构等。几乎每一二十年就有新物质状态被发现,促进了人类对自 然的认识和对其规律把握能力,推动了科学和技术的发展。21世纪仍有一些老的科学问题需要深入研究,一些新科学问题已提到人们的面前。特别是低维量子限域体系和极端条件下的基本物理问题。20世纪80年 代出现的介观物理,后来发展成为纳米科技所涉及的学科领域。与宏观体系和原子体系相比,低维量子限域体系,还有很多物理问题有待解决,人们熟悉的宏观体系 得到的规则和结论有些不再有效,适用于低维量子限域体系的处理方法和理论需要探索,特别是将涉及到多层次多系统问题的描述和表征,将会有更多的新现象、新 效应、新规律被发现。在纳米尺度,研究原子、分子组装、测量、表征,涉及有机材料、无机/有机复合材料和生物材料,这将大大的扩展了物理学研究的范围和深 度。涉及的重大科学前沿问题和重点发展方向有①强关联和软凝聚态物质,及其他新奇特性凝聚态物质;②低维量子限域体系的结构和量子特性,包括纳米尺度功能 材料和器件结构和特性;③粒子物理,描述物质微观结构和基本相互作用的粒子物理标准模型和有关问题,以及复杂系统物理;④极端条件下的物理问题,探索高能 过程、核结构、等离子体、新物理现象和核物质新形态等;⑤生命活动中的物理问题,物理学的基本规律、概念、技术引入生命科学中,研究生物大分子体系特征、DNA、蛋白质结构和功能等,其研究关键将在于定量化和系统性,必然是多学科的交叉发展,成为未来科学的重要领域。

6
结论

本文讨论了纳米线涂层的结构和特性,重点是纳米线的复合涂层和其电学特性、光电特性。其中包括制造技术新观念,纳米材料的完美定律,纳米涂层的热-电效应,碳纳米管的侧向场发射,以及电子强关联体系和软凝聚态物质,展示了涂层科学与技术的发展前景。


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吕反修
(北京科技大学,北京100083)

摘要:CVD 和PVD TiN,TiC,TiCN,TiAlN等硬质薄膜涂层材料已经在工具、模具、装饰等行业得到日益广泛的应用,但仍然不能满足许多难加工材料,如高硅铝合 金,各种有色金属及其合金,工程塑料,非金属材料,陶瓷,复合材料(特别是金属基和陶瓷基复合材料)等加工要求。正是这种客观需求导致了诸如金刚石膜、立 方氮化硼(c-BN)和碳氮膜(CNx)以及纳米复合膜等新型超硬薄膜材料的研究进展。本文对这些超硬材料薄膜的研究现状及工业化应用前景进行了简要的介 绍和评述。

关键词:超硬材料薄膜;研究进展;工业化应用
中图分类号:TIM3 文献标识码:A 文章编号:1008-1690(2004)04-0001-006

1 超硬薄膜

超硬薄膜是指维氏硬度在40GPa以上的硬质薄膜。不久以前还只有金刚石膜和立方氮化硼(c-BN)薄膜能够达到这个标准,前者的硬度为50- 100GPa(与晶体取向有关),后者的硬度为50~80GPa。类金刚石膜(DLC)的硬度范围视制备方法和工艺不同可在10GPa~60GPa的宽广 范围内变动。因此一些硬度很高的类金刚石膜(如采用真空磁过滤电弧离子镀技术制备的类金刚石膜(也叫Ta:C))也可归人超硬薄膜行列。近年来出现的碳氮 膜(CNx)虽然没有像Cohen等预测的晶态β-C3N4那样超过金刚石的硬度,但已有的研究结果表明其 硬度可达10GPa~50GPa,因此也归人超硬薄膜一类。上述几种超硬薄膜材料具有一个相同的特征,他们的禁带宽度都很大,都具有优秀的半导体性质,因 此也叫做宽禁带半导体薄膜。SiC和GaN薄膜也是优秀的宽禁带半导体材料,但它们的硬度都低于40GPa,因此不属于超硬薄膜。

最近出现的一类超硬薄膜材料与上述宽禁带半导体薄膜完全不同,他们是由纳米厚度的普通的硬质薄膜组成的多层膜材料。尽管每一层薄膜的硬度都没有达到超硬的 标准,但由它们组成的纳米复合多层膜却显示了超硬的特性。此外,由纳米晶粒复合的TiN/SiNx薄膜的硬度竟然高达105GPa,创纪录地达到了金刚石 的硬度。

本文将就上述几种超硬薄膜材料一一进行简略介绍,并对其工业化应用前景进行评述。

2 金刚石膜

2.1金刚石膜的性质

金刚石膜从20世纪80年代初开始,一直受到世界各国的广泛重视,并曾于20世纪80年代中叶至90年代末形成了一个全球范围的研究热潮(Diamond fever)。这是因为金刚石除具有无与伦比的高硬度和高弹性模量之外,还具有极其优异的电学(电子学)、光学、热学、声学、电化学性能(见表1)和极佳 的化学稳定性。大颗粒天然金刚石单晶(钻石)在自然界中十分稀少,价格极其昂贵。而采用高温高压方法人工合成的工业金刚石大都是粒度较小的粉末状的产品, 只能用作磨料和工具(包括金刚石烧结体和聚晶金刚石(PCD)制品)。而采用化学气相沉积(CVD)方法制备的金刚石膜则提供了利用金刚石所有优异物理化 学性能的可能性。经过20余年的努力,化学气相沉积金刚石膜已经在几乎所有的物理化学性质方面和最高质量的IIa型天然金刚石晶体(宝石级)相比美(见表 1)。化学气相沉积金刚石膜的研究已经进人工业化应用阶段。

表 1 金刚石膜的性质
Table 1 Properties of chamond film


CVD 金刚石膜

天然金刚石

点阵常数 (Å)

3.567

3.567

密度 (g/cm3)

3.51

3.515

比热 Cp(J/mol,(at 300K))

6.195

6.195

弹性模量 (GPa)

910-1250

1220*

硬度 (GPa)

50-100

57-100*

纵波声速 (m/s)


18200

摩擦系数

0.05-0.15

0.05-0.15

热膨胀系数 (×10 -6-1)

2.0

1.1***

热导率 (W/cm.k)

21

22*

禁带宽度 (eV)

5.45

5.45

电阻率 (Ω.cm)

1012-1016

1016

饱和电子速度 (×107cms-1)

2.7

2.7*

载流子迁移率 (cm2/Vs)



电子

1350-1500

2200**

空隙

480

1600*

击穿场强 (×105V/cm)


100

介电常数

5.6

5.5

光学吸收边 (□ m)


0.22

折射率 (10.6 □ m)

2.34-2.42

2.42

光学透过范围

从紫外直至远红外 ( 雷达波 )

从紫外直至远红外 ( 雷达波 )

微波介电损耗 (tan □)

< 0.0001


注:*在所有已知物质中占第一,**在所有物质中占第二,***与茵瓦(Invar)合金相当。

2.2金刚石膜的制备方法

化学气相沉积金刚石所依据的化学反应基于碳氢化合物(如甲烷)的裂解,如:
热高温、等离子体CH4(g)一C(diamond)+2H2(g) (1)

实际的沉积过程非常复杂,至今尚未完全明了。但金刚石膜沉积至少需要两个必要的条件:(1)含碳气源的活化;(2)在沉积气氛中存在足够数量的原子氢。除 甲烷外,还可采用大量其它含碳物质作为沉积金刚石膜的前驱体,如脂肪族和芳香族碳氢化合物,乙醇,酮,以及固态聚合物(如聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯),以 及卤素等等。

常用的沉积方法有四种:(1)热丝CVD;(2)微波等离子体CVD;(3)直流电弧等离子体喷射(DC Arc Plasma Jet);(4)燃烧火焰沉积。在这几种沉积方法中,改进的热丝CVD(EACVD)设备和工艺比较简单,稳定性较好,易于放大,比较适合于金刚石自支撑 膜的工业化生产。但由于易受灯丝污染和气体活化温度较低的原因,不适合于极高质量金刚石膜(如光学级金刚石膜)的制备。微波等离子体CVD是一种无电极放 电的等离子体增强化学气相沉积工艺,等离子体与沉积腔体没有接触,放电非常稳定,因此特别适合于高质量金刚石薄膜(涂层)的制备。微波等离子体CVD的缺 点是沉积速率较低,设备昂贵,制备成本较高。采用高功率微波等离子体CVD系统(目前国外设备最高功率为75千瓦,国内为5千瓦),也可实现金刚石膜大面 积、高质量、高速沉积。但高功率设备价格极其昂贵(超过100万美元),即使在国外愿意出此天价购买这种设备的人也不多。直流电弧等离子体喷射(DC Arc P1asma Jet)是一种金刚石膜高速沉积方法。由于电弧等离子体能够达到非常高的温度(4000K-6000K)。因此可提供比其它任何沉积方法都要高的原子氢浓 度,使其成为一种金刚石膜高质量高速沉积工艺。特殊设计的高功率JET可以实现大面积极高质量(光学级)金刚石自支撑膜的高速沉积。我国在863计划 "75”和"95”重大关键技术项目的支持下已经建立具有我国特色和独立知识产权的高功率De Are Plasma Jet金刚石膜沉积系统,并于1997年底在大面积光学级金刚石膜的制备技术方面取得了突破性进展。目前已接近国外先进水平。

2.3金刚石膜研究现状和工业化应用

20余年来,CVD金刚石膜研究已经取得了非常大的进展。金刚石膜的内在质量已经全面达到最高质量的天然IIa型金刚石单晶的水平(见表1)。在金刚石膜 工具应用和热学应用(热沉)方面已经实现了,产业化,一些新型的金刚石膜高技术企业已经在国内外开始出现。光学(主要是军事光学)应用已经接近产业化应用 水平。金刚石膜场发射和真空微电子器件、声表面波器件(SAW)、抗辐射电子器件(如SOD器件)、一些基于金刚石膜的探侧器和传感器和金刚石膜的电化学 应用等已经接近实用化。由于大面积单晶异质外延一直没有取得实质性进展,n一型掺杂也依然不够理想,金刚石膜的高温半导体器件的研发受到严重障碍。但是, 近年来采用大尺寸高温高压合成金刚石单晶衬底的金刚石同质外延技术取得了显著进展,已经达到了研制芯片级尺寸衬底的要求。金刚石高温半导体芯片即将问世。

鉴于篇幅限制,及本文关于超硬薄膜介绍的宗旨,下面将仅对金刚石膜的工具(摩擦磨损)应用进行简要介绍。

2.4金刚石膜工具和摩擦磨损应用

金刚石膜所具有的最高硬度、最高热导率、极低摩擦系数、很高的机械强度和良好化学稳定性的异性能组合(见表1)使其成为最理想的工具和工具涂层材料。

金刚石膜工具可分为金刚石厚膜工具和金刚石薄膜涂层工具。

2.4.1金刚石厚膜工具

金刚石厚膜工具采用无衬底金刚石白支撑膜(厚度一般为0.5mm~2mm)作为原材料。目前已经上市的产品有:金刚石厚膜焊接工具、金刚石膜拉丝模芯、金刚石膜砂轮修整条、高精度金刚石膜轴承支架等等。

金刚石厚膜焊接工具的制作工艺为:金刚石自支撑膜沉积→激光切割→真空钎焊→高频焊接→精整。金刚石厚膜钎焊工具的使用性能远远优于PCD,可用于各种难 加工材料,包括高硅铝合金和各种有色金属及合金、复合材料、陶瓷、工程塑料、玻璃和其它非金属材料等的高效、精密加工。采用金刚石厚膜工具车削加工的高硅 铝合金表面光洁度可达V12以上,可代替昂贵的天然金刚石刀具进行“镜面加工"。金刚石膜拉丝模芯可用于拉制各种有色金属和不锈钢丝,由于金刚石膜是准各 向同性的,因此在拉丝时模孔的磨损基本上是均匀的,不像天然金刚石拉丝模芯那样模孔的形状会由于非均匀磨损(各向异性所致)而发生畸变。金刚石膜修整条则 广泛用于机械制造行业,用作精密磨削砂轮的修整,代替价格昂贵的天然金刚石修整条。这些产品已经在国内外市场上出现,但目前的规模还不大。其原因是: (1)还没有为广大用户所熟悉、了解;(2)面临其它产品(主要是PCD)的竞争;(3)虽然比天然金刚石产品便宜,但成本(包括金刚石自支撑膜的制备和 加工成本)仍然较高,在和PCD竞争时的优势受到一定的限制。

高热导率(≥10W/em.K)金刚石自支撑膜可作为诸如高功率激光二极管阵列、高功率微波器件、MCMs(多芯片三维集成)技术的散热片(热沉)和功率半导体器件(Power ICs)的封装。在国外已有一定市场规模。
在 国内,南京天地集团公司和北京人工晶体研究所合作在1997年前后率先成立了北京天地金刚石公司,生产和销售金刚石膜拉丝模芯、金刚石膜修整条和金刚石厚 膜焊接工具及其它一些金刚石膜产品。该公司大约在2000年左右渡过了盈亏平衡点,但目前的规模仍然不很大。国内其它一些单位,如北京科技大学、河北省科 学院(北京科技大学的合作者)、吉林大学、核工业部九院、浙江大学、湖南大学等都具有生产金刚石厚膜工具产品的能力,其中有些单位正在国内市场上小批量销 售其产品。

2.4.2金刚石薄膜涂层工具

金刚石薄膜涂层工具一般采用硬质合金工具作为衬底,金刚石膜涂层的厚度一般小于30lxm。金刚石薄膜涂层硬质合金工具的加工材料 范围和金刚石厚膜工具完全相同,在切削高硅铝合金时一般均比未涂层硬质合金工具寿命提高lO~20倍左右。在切削复合材料等极难加工材料时寿命提高幅度更 大。金刚石薄膜涂层工具的性能与PCD相当或略高于PCD,但制备成本比PCD低得多,且金刚石薄膜可以在几乎任意形状的工具衬底上沉积,PCD则只能制 作简单形状的工具。金刚石薄膜涂层工具的另一大优点是可以大批量生产,因此成本很低,具有非常好的市场竞争能力。

金刚石薄膜涂层硬质合金工具研发的一大技术障碍是金刚石膜与硬质合金的结合力太差。这主要是由于作为硬质合金粘接剂的Co所引起。碳在Co中有很高的溶解 度,因此金刚石在Co上形核孕育期很长,同时Co对于石墨的形成有明显的促进作用,因此金刚石是在表面上形成的石墨层上面形核和生长,导致金刚石膜和硬质 合金衬底的结合力极差。在20世纪80年代和90年代无数研究者曾为此尝试了几乎一切可以想到的办法,今天,金刚石膜与硬质合金工具衬底结合力差的问题已 经基本解决。尽管仍有继续提高的余地,但已经可以满足工业化应用的要求。在20世纪后期,国外出现了可以用于金刚石薄膜涂层工具大批量工业化生产的设备, 一次可以沉积数百只硬质合金钻头或刀片,拉开了金刚石薄膜涂层工具产业化的序幕。一些专门从事金刚石膜涂层工具生产的公司在国外相继出现。

目前,金刚石薄膜涂层工具主要上市产品包括:金刚石膜涂层硬质合金车刀、铣刀、麻花钻头、端铣刀等等。从目前国外市场的销售情况来看,销售量最大的是端铣 刀、钻头和铣刀。大量用于加工复合材料和汽车工业中广泛应用的大型石墨模具,以及其它难加工材料的加工。可转位金刚石膜涂层车刀的销售情况目前并不理想。 这是因为可转位金刚石膜涂层刀片的市场主要是现代化汽车工业的数控加工中心,用于高硅铝合金活塞和轮毂等的自动化加工。这些全自动化的数控加工中心对刀具 性能重复性的要求十分严格,目前的金刚石膜涂层工具暂时还不能满足要求,需要进一步解决产品检验和生产过程质量监控的技术。

目前国外金刚石膜涂层工具市场规模大约在数亿美元左右,仅仅一家只有20多人的小公司(美国SP3公司),去年的销售额就达2千多万美元。

国内目前尚无金刚石膜涂层产品上市。国内不少单位,如北京科技大学、上海交大、广东有色院、胜利油田东营迪孚公司、吉林大学、北京天地金刚石公司等都在进 行金刚石膜涂层硬质合金工具的研发,目前已在金刚石膜的结合力方面取得实质性进展。北京科技大学采用渗硼预处理工艺(已申请专利)成功地解决了金刚石膜的 结合力问题,所研制的金刚石膜涂层车刀和铣刀在加工Si-12%AI合金时寿命可稳定提高20-30倍。并已成功研发出“强电流直流扩展电弧等离子体 CVD"金刚石膜涂层设备(已申请专利)。该设备将通常金刚石膜沉积设备的平面沉积方式改为立体(空间)沉积,沉积空间区域很大,可容许金刚石膜涂层工具 的工业化生产。该设备可保证在工具轴向提供很大的金刚石膜均匀沉积范围,因此特别适合于麻花钻头、端铣刀之类细长且形状复杂工具的沉积。目前已经解决这类 工具金刚石膜沉积技术问题,所制备的金刚石膜涂层硬质合金钻头在加工碳化硅增强铝金属基复合材料时寿命提高20倍以上。目前能够制备的金刚石膜涂层硬质合 金钻头最小直径为lmin。目前正在和国内知名设备制造厂商(北京长城钛金公司)合作研发工业化商品设备,生产能力为每次沉积硬质合金钻头(或刀片) 300只以上,预计年内可投放国内外市场。

3 类金刚石膜(DLC)

类金刚石膜(DLC)是一大类在性质上和金刚石类似,具有8p2和sp3杂化的碳原子空间网络结构的非晶碳膜。依据制备方法和工艺的不同,DLC的性质可 以在非常大的范围内变化,既有可能非常类似于金刚石,也有可能非常类似于石墨。其硬度、弹性模量、带隙宽度、光学透过特性、电阻率等等都可以依据需要进行 “剪裁”。这一特性使DLC深受研究者和应用部门的欢迎。

DLC的制备方法很多,采用射频CVD、磁控溅射、激光淀积(PLD)、离子束溅射、真空磁过滤电弧离子镀、微波等离子体CVD、ECR(电子回旋共振)CVD等等都可以制备DLC。

DLC的类型也很多,通常意义上的DLC含有大量的氢,因此也叫a:C—H。但也可制备基本上不含氢的DLC,叫做a:c。采用高能激光束烧蚀石墨靶的方 法获得的DLC具有很高的sp3含量,具有很高的硬度和较大的带隙宽度,曾被称为“非晶金刚石”(Amorphorie Diamond)膜。采用真空磁过滤电弧离子镀方法制备的DLC中sp3含量也很高,叫做Ta:C(Tetragonally Bonded Amorphous Carbon)。

DLC具有类似于金刚石的高硬度(10GPa-50GPa)、低摩擦系数(0.1一0.3)、可调的带隙宽度(1_2eV~3eV)、可调的电阻率和折射 率、良好光学透过性(在厚度很小的情况下)、良好的化学惰性和生物相容性。且沉积温度很低(可在室温沉积),可在许多金刚石膜难以沉积的衬底材料(包括钢 铁)上沉积。因此应用范围相当广泛。典型的应用包括:高速钢、硬质合金等工具的硬质涂层、硬磁盘保护膜、磁头保护膜、高速精密零部件耐磨减摩涂层、红外光 学元器件(透镜和窗口)的抗划伤、耐磨损保护膜、Ge透镜和窗口的增透膜、眼镜和手表表壳的抗擦伤、耐磨掼保护膜、人体植入材料的保护膜等等。

DLC在技术上已经成熟,在国外已经达到半工业化水平,形成具有一定规模的产业。深圳雷地公司在DLC的产业化应用方面走在国内前列。不少单位,如北京师 范大学、中科院上海冶金所、北京科技大学、清华大学、广州有色院、四川大学等都正在进行或曾经进行过DLC的研究和应用开发工作。

DLC的主要缺点是:(1)内应力很大,因此厚度受到限制,一般只能达到lum~21um以下;(2)热稳定性较差,含氢的a:C-H薄膜中的氢在400℃左右就会逐渐逸出,sp2成分增加,sp3成分降低,在大约500℃以上就会转变为石墨。

4 立方氮化硼(c-BN)薄膜

立方氮化硼的硬度仅次于金刚石,但却比金刚石具有更高的热稳定性和化学稳定性,因此作为切削工具材料比金刚石更为优越,金刚石不能厢于加工钢铁材料,而立 方氮化硼工具胜任包括钢铁材料在内的几乎任何材料的加工。此外,立方氮化硼具有很大的禁带宽度,热导率很高,绝缘性好,容易掺杂成n型和p型半导体,和金 刚石一样具有从紫外到红外宽广范围的良好光学透过性能,因此在光学应用及半导体应用亦有很好的应用前景。

立方氮化硼薄膜的制备方法也不少,采用溅射沉积、离子束辅助沉积、离子镀、等离子体辅助CVD等物理和化学气相沉积方法都可以制备立方氮化硼。这些制备方 法的一个共同的特点是离不开离子的轰击,所制备的立方氮化硼大都具有非晶态结构,应力非常大,与衬底的结合力很差。c-BN的制备在很多方面与DLC的制 备相似。BN有两种晶体形态,一为立方结构的e-BN(与金刚石结构和性能类似),另一种为六方结构的h-BN(与石墨结构和性能类似)。目前的研究结果 倾向于认为离子轰击有利于c-BN的沉积,这和DLC的制备需要离子轰击是类似的。文献中曾报道采用电子辅助的热丝CVD制备具有择优取向的晶态c-BN 的研究结果,但其它研究者未能很好地重复这一结果。国外也有采用直流电弧等离子体喷射方法制备c-BN的研究报道,但所得到的薄膜是c-BN和h-BN的 复相薄膜,不是纯相的c-BN膜。

c-BN薄膜仍然处于研究阶段,目前研究的焦点是寻求控制和降低c-BN薄膜内应力的技术途径和制备高质量晶态c-BN薄膜的方法。

5 碳氮膜

自从Cohen等人在20世纪90年代初预言在C-N体系中可能存在硬度可能超过金刚石的β-C>3N4相以后,立即就在全球范围内掀起了一股合成β-C3N4的研究狂潮。国内外的研究者争先恐后,企图第一个合成出纯相的β-C3N4晶体或晶态薄膜。但是,经过了十余年的努力,至今并无任何人达到上述目标。在绝大多数情况下,得到的都是一种非晶态的CNx薄膜,膜中N/C比与薄膜制备的方法和具体工艺有关。尽管没有得到Cohen等人所预测超过金刚石硬度的β-C3N4晶体,但已有的研究表明CNx薄膜的硬度可达15GPa-50GPa,可与DLC相比拟。同时CNx薄膜具有十分奇特的摩擦磨损特性。在空气中,cNx薄膜的摩擦因数为O.2-O.4,但在N2,CO2和真空中的摩擦因数为O.01-O.1。在N2气氛中的摩擦因数最小,为O.01,即使在大气环境中向实验区域吹氮气,也可将摩擦因数降至0.017。因此,CNx薄膜有望在摩擦磨损领域获得实际应用。除此之外。CNx薄膜在光学、热学和电子学方面也可能有很好的应用前景。

采用反应磁控溅射、离子束淀积、双离子束溅射、激光束淀积(PLD)、等离子体辅助CVD和离子注人等方法都可以制备出CNx薄膜。在绝大多数情况下,所 制备薄膜都是非晶态的,N/C比最大为45%,也即CNx总是富碳的。与C-BN的情况类似,CNx薄膜的制备需要离子的轰击,薄膜中存在很大的内应力, 需要进一步降低薄膜内应力,提高薄膜的结合力才能获得实际应用。至于是否真正能够获得硬度超过金刚石的B-C3N4,现在还不能作任何结论。

6 纳米复合膜和纳米复合多层膜

以纳米厚度薄膜交替沉积获得的纳米复合膜的硬度与每层薄膜的厚度(调制周期)有关,有可能高于每一种组成薄膜的硬度。例如,TiN的硬度为2l GPa,NbN的硬度仅为14GPa,但TiN/NbN纳米复合多层膜的硬度却为5lGPa。而TiYN/VN纳米复合多层膜的硬度竞高达78GPa,接 近了金刚石的硬度。最近,纳米晶粒复合的TiN/SiNx薄膜材料的硬度达到了创记录的105GPa,可以说完全达到了金刚石的硬度。这一令人惊异的结果 曾经过同一研究组的不同研究者和不同研究组的反复重复验证,证明无误。这可能是第一次获得硬度可与金刚石相比拟的超硬薄膜材料。其意义是显而易见的。

关于为何能够获得金刚石硬度的解释并无完全令人信服的定论。有人认为在纳米多层复合膜的情况下,纳米多层膜的界面有效地阻止了位错的滑移,使裂纹难以扩 展,从而引起硬度的反常升高。而在纳米晶粒复合膜的情况下则可能是在TiN薄膜的纳米晶粒晶界和高度弥散分布的纳米共格SiNx粒子周围的应变场所引起的 强化效应导致硬度的急剧升高。

无论上述的理论解释是否完全合理,这种纳米复合多层膜和纳米晶粒复合膜应用前景是十分明朗的。纳米复合多层膜不仅硬度很高,摩擦系数也较小,因此是理想的 工具(模具)涂层材料。它们的出现向金刚石作为最硬的材料的地位提出了严峻的挑战。同时在经济性上也有十分明显的优势,因此具有非常好的市场前景。但是, 由于还有一些技术问题没有得到解决,目前暂时还未在工业上得到广泛应用。

可以想见随着技术上的进一步成熟,这类材料可能迅速获得工业化应用。虽然钠米多层膜和钠米晶粒复合膜已经对金刚石硬度最高的地位提出了严峻的挑战,但就我 所见,我认为它们不可能完全代替金刚石。金刚石膜是一种用途十分广泛的多功能材料,应用并不局限于超硬材料。且金刚石膜可以做成厚度很大(超过2mm)的 自支撑膜,对于纳米复合多层膜和纳米复合膜来说,是无论如何也不可能的。


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