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潜水艦 USS Grayling(1909年進水)

潜水艦 USS Grayling(1909年進水)

潜水艦(せんすいかん、Submarine)とは、水上のみならず、水中も航行することのできる軍事作戦用の船舶を指す。第二次世界大戦においてはサイズに応じて潜水艦、潜水艇特殊潜航艇と様々に呼ばれた。民間で使用される海底探査や水中遊覧用の船舶は「潜水艇」や「潜水船」と呼ばれる。

軍備は、その大小を問わず安全保障上の問題から性能や仕様などには不明な点が多いが、その中でも隠密行動を身上とする潜水艦は機密事項が多い。最大潜航深度は最たる軍事機密事項である。

[編集] 機能と任務

巡航ミサイルを発射する改オハイオ級巡航ミサイル原子力潜水艦

巡航ミサイルを発射する改オハイオ級巡航ミサイル原子力潜水艦

潜水艦は最大で水深300~800m程度に潜航し、好きな時に好きなところから攻撃できる隠密兵器である。潜航した状態で巡航する場合は、水上船舶との衝突を防ぐため水深約100m付近を航行している。この隠密性を利用して下記内容の任務が与えられる。

  • 敵に気付かれずに監視網を突破できる。 第一次第二次世界大戦ではドイツの潜水艦が、水上兵力では圧倒的に優勢であったイギリス海軍の警戒線を突破して大西洋地中海へ進出した。第二次大戦中にドイツへ往復した日本潜水艦もある。
  • 敵対国の港湾に接近・侵入し、偵察・情報収集を行う。
  • 敵の予想進路上に潜み、待ち伏せ攻撃を行う。
  • 戦略ミサイル搭載原子力潜水艦による核抑止力。原子力潜水艦は浮上することなく行動しつづけることができ、その行動の隠密性は非常に高い。この原子力潜水艦に長距離核ミサイル (SLBM) を搭載すれば、万一核戦争が勃発し地上基地が敵の先制攻撃で壊滅した場合でも、無傷で強力な反撃力を温存できる。自国がこのような反撃力を保有すれば敵は先制攻撃を決断できず、核戦争は起こらないというのが核抑止力の理論。
  • 隠密性の高い潜水艦を探知し攻撃するのは、やはり潜水艦が有利であると言われている。そこで敵の戦略ミサイル潜水艦を攻撃する任務や、自国の艦隊を敵の攻撃型潜水艦から護衛する任務を与えられている。アメリカ合衆国機動部隊には必ず攻撃型原子力潜水艦が1隻ないし2隻随伴していると言われている。
  • 特に小型の潜水艇は、外洋航行力には欠けるものの、沿岸など地形の複雑な場所に隠れると極めて探知されにくい。このため、敵の支配水域に侵入して情報収集に当ったり、スパイを送り込んだり、捕えた敵を海岸付近で収容して誘拐したりすることに用いられる場合もある。

[編集] 種類

[編集] 攻撃潜水艦

おやしお型攻撃潜水艦

おやしお型攻撃潜水艦
アクラ級攻撃原潜

アクラ級攻撃原潜

厳密には、任務や大きさ等に応じ、艦隊型潜水艦、航洋潜水艦、沿岸哨戒潜水艦、対潜潜水艦(SSK)などに分けられるが、全て敵の水上艦艇や潜水艦などを探知し撃沈する事を任務とする潜水艦であるので、本項では一括して扱う。

攻撃潜水艦は米海軍式にSSと略される事が多い。原子力機関を搭載した物は、この後ろに原子力(Nuclear)を表すNを付けてSSN(攻撃型原子力潜水艦/攻撃原潜)と呼ばれる(ロシア海軍式に略すとそれぞれPL、PLAになる)。

かつては敵水上艦に速力・防御力・探知能力などで劣ったため、敵の巡洋艦駆逐艦とまともに戦うには分が悪く、主に待ち伏せ攻撃や港湾での情報収集、特殊部隊投入、物資輸送、商船を相手とする通商破壊などに投入された。

隠密性に優れる潜水艦は敵に気付かれずに監視網を突破できる。その利点を生かし、第一次・第二次大戦ではドイツの潜水艦が、水上兵力では圧倒的に優勢であったイギリス海軍の警戒線を突破して大西洋や地中海へ進出した。第二次大戦中にドイツへ往復した日本潜水艦もある(遣独潜水艦作戦)。

大日本帝国海軍は艦隊決戦用に潜水艦を建造・整備し、太平洋戦争中は敵主力艦攻撃へ重点的に投入したが、やはり目だった戦果が上げられないまま多くが撃沈されていった。

しかし第二次大戦以降、ソナーや各種電子機器、通信装置の性能向上、さらに原子力機関の登場により画期的に性能が向上し、現在では強力な戦闘力を持つ最強の軍艦として、かつての戦艦に匹敵する地位を獲得した。

ま た、攻撃目標は水上艦船から主に敵潜水艦を攻撃目標とするようになった。隠密性の高い潜水艦を探知し攻撃するのは、やはり潜水艦が有利だからであ る。そこで敵の戦略ミサイル潜水艦を攻撃する任務や、自国の艦隊を敵の攻撃型潜水艦から護衛する任務を与えられている。米海軍の空母機動部隊には必ず攻撃 型原子力潜水艦が1隻ないし2隻随伴していると言われている。

また、冷戦終結後はソ連海軍の脅威が無くなったため、米海軍の潜水艦は主任務を潜水艦の攻撃及び護衛から、巡航ミサイルを用いての対地攻撃や、敵対国の港湾に侵入しての偵察・情報収集、特殊部隊の投入・回収などに主眼を移すようになった。

映画では潜水艦同士の戦いがよく描かれるが、今のところ現実には潜水艦同士が水中で戦闘を行ったケースは記録されていない。厳密には第二次大戦時、浅深度を航行中のUボートの、水上に突き出したシュノーケル潜望鏡で目視して雷撃したケースがあるが、実質水上艦艇に対する雷撃と変らないため、潜行中の艦同士の戦闘とは言いがたい。ホーミング魚雷実用以前の潜水艦は、水中を三次元に移動する目標を攻撃することが困難であり、また現代でも潜水艦を保有する国同士の本格的な戦闘例が少ないためといえる。

[編集] 弾道ミサイル潜水艦

オハイオ級SSBNのアラバマ(SSN-731)

オハイオ級SSBNのアラバマ(SSN-731)

潜水艦発射弾道ミサイル(SLBM)を搭載し、敵国への核攻撃を目的とする。略称はSSBであるが、その性質上、原子力推進が取られるので、SSBNの略称しか見られない。米俗語で「ブーマー」と呼ばれる。通常動力型の弾道ミサイル潜水艦(SSB)は一時期は存在したが(ソ連海軍ゴルフ級)、原子力推進が普及した現代では見られない。

弾道ミサイルの射程が短かった冷戦初期はともかく、現代でもわざわざ潜水艦にSLBMを搭載する目的は、

  • 原子力潜水艦は浮上することなく行動しつづけることができ、その行動の隠密性は非常に高い。この原子力潜水艦にSLBMを搭載すれば、万一核戦争が勃発し地上基地が敵の先制攻撃で壊滅した場合でも、無傷で強力な反撃力を温存できる。

と言う理由から。自国がこのような反撃力を保有すれば敵は先制攻撃を決断できず、核戦争は起こらないとされる(相互確証破壊戦略)。このための核抑止力を保持する目的がある。

任 務上、核戦争が始まると真っ先に敵が攻撃して来るので、極めて生存性・静粛性が重視される。このため、定期的な浮上を必要とする通常動力推進は使 えず、原子力推進が取られる。従来はSLBMの発射時に浮上する必要があったが、最近のものは潜航したまま発射できるものが増えている。

[編集] 誘導ミサイル潜水艦

誘導ミサイル潜水艦(SSG)は、巡航ミサイルを搭載しての対地攻撃を目的としたもの。冷戦終結による核抑止力の重要性が低下したため、米海軍では一部のSSBNを対地攻撃用に改造した改オハイオ級などが現れた。 ソ連海軍も冷戦期にSSGを保有していたが、こちらは米空母機動部隊攻撃用に対艦ミサイルを搭載していた。

[編集] 特殊潜航艇

ドイツ海軍の特殊潜航艇ゼーフント

ドイツ海軍の特殊潜航艇ゼーフント

排水量数十トン、乗員数名程度の超小型潜水艦。

兵装搭載力や航続力が小さく外洋航行力には欠けるものの、小型のため探知され難く、特に水深が浅く障害物の多い海域では探知・攻撃される可能性が低い。そのため、沿岸警備や待ち伏せ攻撃に使用される。第二次大戦時には真珠湾攻撃に使用された日本海軍の甲標的や、戦艦ティルピッツ攻撃に使用された英海軍のX型潜航艇などを始めとして各国で特殊潜航艇が製造され、それなりに活躍した。

現 代でもその利点を生かして、敵の支配水域に侵入して情報収集に当ったり、スパイを送り込んだり、捕えた敵を海岸付近で収容して誘拐したりすること に用いられる場合もある。平時にも特殊潜航艇は領海に不法侵入して活動を行うので、冷戦期のソ連特殊潜航艇は西側諸国にとって厄介な敵であった。特に旧ソ連、旧ユーゴスラビアでの開発が著しく、北朝鮮は旧ユーゴスラビアから技術を移入して潜航艇建造に努めてきた経緯がある。一方で、イタリアにおいても一部企業が特殊作戦用の潜航艇を建造しており、同海軍は採用していないものの、旧ユーゴスラビアや中近東諸国、コロンビアなどに輸出された実績がある。

1996年韓国江陵浸透事件では、北朝鮮工作員がサンオ級潜航艇による韓国国内侵入に成功しており、侵入作戦用器材としての潜航艇の有用性を証明している。

[編集] 構造

[編集] 船体形状

ドイツ海軍のU-VIIC型。水上航行に適した船型。船体中央部の張り出しは非耐圧構造の海水・燃料槽

ドイツ海軍U-VIIC型。水上航行に適した船型。船体中央部の張り出しは非耐圧構造の海水・燃料槽
海上自衛隊のゆうしお型。水中での航行に適した涙滴型。

海上自衛隊ゆうしお型。水中での航行に適した涙滴型。
アメリカ海軍のシーウルフ級。葉巻型の船体で、涙滴型よりも船体中央が膨らんでいる。

アメリカ海軍シーウルフ級。葉巻型の船体で、涙滴型よりも船体中央が膨らんでいる。

潜水艦の船体は、水上航行に適した船型のものと、水中航行に適した涙滴型・葉巻型・鯨型の外形をしたものに分けられる。第二次大戦頃までの潜水艦は水中行動力が低く、水上航行をしている事が多かったので水上で航海しやすい船型の船体をしていた。

しかし第二次大戦以降は、電動機蓄電池な ど推進装置の大幅な性能向上や、原子力機関の登場により潜水艦の水中行動力が画期的に上昇したために、水中航行に適した円筒型の形状となった。 世界で初めて円筒型船体になったものは、1953年にアメリカが建造した水中高速試作実験艦アルバコアで、その効果が確認されて以後、バーベル級から涙滴 型船体が採用されていった。

円筒型の船体は水中での抵抗が少なく、また強度も高いので、船体に高い圧力がかかる深海での潜航には不可欠な 形状である。円筒型の中でも、最も抵抗 が少ないのは涙滴型であるが、艦内空間の大きさや建造のし易さでは葉巻型に分がある。また、水上航海し易いように浮上時の乾舷確保を狙った形状が鯨型であ る。

[編集] 船体構造

潜 水艦の船体構造は、大きく単殻式と複殻式に分けられる。単殻式は、船体そのものを耐圧構造としたもの。複殻式は、乗員が乗り込み、兵装や機関など の主要部品を搭載する部分(内殻)の外部を外殻で覆って、魔法瓶のように二重構造としたもの。内殻と外殻の間を海水や燃料などの液体で満たしておけば、水 圧は内殻にそのまま伝わり、外殻には伝わらない。したがって、内殻のみを耐圧構造とすればよい。単殻式船体と比べ、複殻式の特徴は、

  • 外殻と内殻の間を燃料や海水を入れるスペースにできるので、航続力や予備浮力を大きくすることができる。
  • 外殻と内殻が離れているため、外部に漏れる騒音を減らす事ができる。また、被弾時に外殻や間の海水・燃料が爆圧を吸収するので、内殻へのダメージが少なくなり、艦の耐久力を上げる事ができる。
  • 単殻式より船体が大型化し、複雑な構造になりやすい。
  • 船体側面部のソナー(コンフォーマル・ソナーフランク・アレイ・ソナー)を取り付けるのが難しくなる。

な どである。他に、単殻式船体の側面に非耐圧構造の張り出しを設けて、そこを海水や燃料を入れるタンクとした半殻式(サドル・タンク式及び部分複殻 式)と呼ばれる、両者の中間を取ったものも造られ、第二次大戦時の潜水艦に多く見られる。 他に特殊な船体形状として、外殻の内部に2つの内殻を連結したような形状の、伊四〇〇型潜水艦タイフーン級SSBNなどがある。

[編集] 材料

艦体構造材(船殻材)には深深度への潜航を可能とするため主に高張力鋼が用いられ、材質自体も絶えず改良が加えられている。一方ロシア(旧ソ連)で1970年代から1980年代にかけて建造されたアルファ級をはじめとするいくつかの艦級で、潜航深度の一層の増大と磁性を持たないという特徴を生かしてチタニウム合金が使用された。しかし加工が困難であることや音波の反射性が高いこと、そして高張力鋼を使用した場合に比べて格段にコストが高いことなどから一般化していない。

[編集] 潜水・浮上機構

潜水艦は、浮上している時は浮力が船体重量(重力)を上回っている状態で、潜航したい時は船体のタンクに海水を注入することで船体重量を増加させ、浮力と船体重量を等しくさせることで沈降する。

海水を入れるタンクにはメイン・バラスト・タンク(メイン・タンク、バラスト・タンクなどと略される)、ネガティブ・タンクトリム・タンクが ある。メイン・タンクは、海水や空気を注排出することで艦の浮力を調整するタンクで、ネガティブ・タンクは潜行時の補助に使う耐圧構造のタンクである。ト リム・タンクは前後に二箇所あって、前部タンクと後部タンクの水量を変えることで艦前後の重量バランスを変化させ、艦の前後の傾き(トリム)を調整する。

潜航時はまず、メイン・タンクの上部にあるベント弁(タンク内の空気を排出する弁)を開く。すると、メイン・タンク下部にあるフラッドホールと呼ばれる穴から海水がタンク内へ流入し、メイン・タンク内が海水で満たされ、潜水艦は浮力重力が釣り合った状態になり海面下に沈下する。その後、トリム・タンクや舵を操作して艦首を下げ、目標深度まで前進する。

目 標深度到達後は、水中で艦を水平状態に保つ(トリムをとる)必要がある。つまり、潜舵・横舵を水平に保った状態で、艦体の水平がとれるようにす る。具体的には、トリム・タンク内の海水の注出入して艦のトリムをとることになる。同じ潜水艦でも、個々の場合で積載状態が異なり重量バランスが変わるた め、こうした操作が必要になる。

なお、潜水艦の潜航深度能力は最重要機密であり、一般に公開するときは深度計が見えないように目張りをし てしまうほどである。一般に発表される潜航 深度は参考程度の価値しかないが、それらのデータによれば、攻撃型潜水艦の潜航深度は300~600m程度、戦略ミサイル原潜が100~500m程度であ る。武装した潜水艦の潜航深度記録は、1985年にチタン合金船殻の旧ソ連原潜K-278が記録した1027mで、K-278はこの深度で魚雷発射が可能であったと言われている。当時このような深度に潜む潜水艦を探知し攻撃する能力はアメリカも有していなかった。

軍事以外の潜水艇の深度世界記録は、1960年にアメリカのトリエステ2号が出した深度10,916mである。トリエステは深海での調査研究を目的としており、防御面やソナー対策など様々な性能が外殻に求められる軍事用の潜水艦に、当然ながらこれほどの潜航深度能力をもつものはない。

[編集] 舵・スクリュー

潜水艦は海中で三次元の運動を行う必要があるため、水上艦と違って縦舵の他に横舵潜舵を付けている。第二次大戦時頃までの潜水艦は、水上航行している時間が長かったことから水上航行に適した配置であった。また、水中での最高速度が低かったため、大型の舵を付けていた。

その後、潜水艦は殆ど水中航行するようになり、水中での最高速度も大幅に向上したため、縦舵や横舵は水中航行に適した十字型やX字型の配置になった。また、潜舵は従来艦首部に配置されていたが、艦首部はソナーをはじめ音響装置のスペースになったために、騒音を減らすため艦橋側面に付けられるようになった(セイル・プレーン式)。ただし、ロシアは北極海などでの作戦を考慮して、艦首部に取り付けていた(バウ・プレーン式)。

潜水艦のスクリュープロペラは、 水上航行を中心とした時代は小口径のプロペラを複数付ける形式がとられていた。効率を考えると、小口径プロペラを高速回転させるより大口径プロペラを低速 回転させる方が、同じエネルギーでも推進効率が高い。しかし、大口径プロペラでは水上航行時に空回りしてしまうので、小口径プロペラを使わざるを得なかっ た。後、潜水艦が水中航行を中心とするようになってからは涙滴型船体を採用したため、大口径プロペラを装備するようになった。

潜水艦の推進器に関する問題で最も厄介なものが、キャビテーションと呼ばれる現象(プロペラ、特に周速が速い先端部付近の海水の圧力が低下することで海水が気化し、水蒸気の気泡が発生する現象)である。キャビテーションが起こると、プロペラ付近で水蒸気の気泡が破裂し、その音を敵に探知されてしまうからである。この現象を抑えるために、ハイスキュー・プロペラと呼ばれる特殊なプロペラや、ポンプジェット式推進装置を採用している。

プロペラの加工には高度な工作機械が必要とされるが、冷戦時代、東芝グループ企業である東芝機械ソ連に輸出した工作機械が、ソ連原潜用プロペラの加工に使われ、それによってソ連原潜の静粛性が向上したのではないか、との疑惑が持ち上がった(東芝機械ココム違反事件)。このため東芝がアメリカで糾弾の対象となり、東芝製ラジカセをハンマーで叩き壊すデモが行なわれたり、同社製品の不買運動が行われた。

だが、1990年代初 めのソ連崩壊以降の情報公開により、これは「濡れ衣」であったことが明らかにされた。旧ソ連の潜水艦のプロペラ音の静穏化は、アメリカの潜水艦探知能力を ソ連海軍が過小評価していたことを、ソ連の情報機関が確認したので改善された、という実に単純な理由からであった。工作機械の納入先も明らかになってお り、プロペラとは無関係な部署であることもはっきりしている(にも関わらず、未だに、この「静粛化神話」を信じている者は多い)。軍事オタクの間では、これは当時日本が開発中であったFSXの設計に横槍を入れるためにアメリカが仕組んだ陰謀であると囁かれている。

[編集] 機関

潜水艦は、登場以来長らくディーゼル機関電動機を併用していた。この方式には直結式ディーゼル・エレクトリック方式がある。直結式はディーゼル機関、電動機(発電機兼用)、スクリューを直結したもので、水上航行時にはディーゼル機関を、水中航行時は電動機で航行する。ディーゼル・エレクトリック方式は、水上航行時はディーゼル機関で発電機を回してその電力で電動機を動かし、水中航行時は蓄電池の電力で電動機を動かす。前者は水上航行時に高速が出せるが充電効率が低かった。そのため、潜水艦の水中航行が主流となった第二次大戦後には、充電効率に優れる後者が主流となった。

世界で初めて原子力機関を搭載した、米海軍原潜ノーチラス(SSN-571)

世界で初めて原子力機関を搭載した、米海軍原潜ノーチラス(SSN-571)

第二次大戦後は、原子力機関の 登場により潜水艦の水中速力は大きく上昇、航続力は無限大にまで拡大した。原子力機関は有り余る出力を生かして海水を電気分解し、艦内へ常時新鮮な酸素を 提供する。このため、燃料と排気の匂い(ディーゼル・スメル)で充満した通常動力潜水艦の艦内に比べ、原子力潜水艦は「世界一空気がきれい」と言われるほ ど艦内は快適である。

常に蓄電池の残量を気にしながら、定期的な浮上を必要とする通常動力潜水艦と、無限の航続力を持ち氷の下の北極海すら航行可能な原子力潜水艦との間には、可潜艦(submersible)と潜水艦(submarine)ほどの差がある。こうして見ると、原子力潜水艦は圧倒的に優位と思われるが、欠点も幾つかある。原子力推進は、減速ギアの擦れる音や原子炉冷却水循環ポンプの騒音が発生するので、ディーゼル・エレクトリック式よりも静粛性に劣る。また、技術的水準や建造費、維持費が高く、保有できる国は限られる。日本等は技術上の問題の他、政治上の都合により保有していない。

他に近年、燃料電池スターリングエンジンなど、通常動力潜水艦の水中行動力向上を狙った非大気依存推進(AIP)が登場している。

原子力原子炉、および 原子力潜水艦も参照

[編集] 乗組員

第二次大戦時の潜水艦は、居住性が劣悪であった。元々軍艦の居住性は良いとは言えないが、潜水艦は特に酷かった。船内は湿気だらけで洗濯物が乾かせず、艦内は燃料と排気とカビの臭気が充満して嗅覚がおかしくなり、就寝用のスペースが限られたため、寝台は数人で共有、弾薬庫の中で魚雷と一緒に寝ていた乗組員もいた程であった。このような環境で毎日単調な任務が延々と続くため、ブリキ病に掛かる者もいた。

そのためか、他の軍艦と比べて食事だけは恵まれており、食料不足に悩んでいた大戦末期の日本やドイツでも、潜水艦には優先的に食料が配給された。ただし、狭く環境の悪い潜水艦では新鮮な食べ物は出航後数週間で消費され、その後は似たような保存食がずっと出される事になる。

原子力機関の登場後は、居住環境は以前よりも改善された。前述のように大出力の原子力機関は電力に余裕があり、電気分解海水蒸留を行えるので酸素真水の確保には困らない。タイフーン級SSBNでは、プールサウナまである。

しかし、一度出航したら数ヶ月間帰還出来ない原潜クルーは、家族との関係を保つのが困難である。米海軍では、原潜は一回の航海に付き一組は離婚するクルーが出ると言う。パートナーと関係を保つのに最も効果的な方法は性行為だとして、米海軍では妻の下着を持たせて夜のおかずにさせていると言う。

[編集] 水中音響戦

初期の聴音機

初期の聴音機

通常の艦艇と異なり、潜水艦は海中で行動する。このため、他の艦艇と戦闘システムは大きく異なっている。空気中と違って、水中では電磁波の減衰が著しいため、電波を用いるレーダーや可視光域・不可視光域での光学的捜索といった手段は使えない。その代わり、主となるのが、海洋中における音波の性質を利用した捜索・攻撃である。その主たる手段がソナーであり、ソナーによる探知と回避をめぐる技術的な蓄積と、それらを用いた対峙を総称して水中音響戦hydroacoustic battle)と称する。この点について前提となる音波の性質や海中における音波伝播について説明する。

[編集] 音波の性質

ソナーで使われる音波(超音波)は、低周波のものと高周波のものとに大分される。

  • 低周波の音波は、水中で減衰しにくいので遠くまで伝わるが、波長が長いために分解能が低く、指向性も広いので探知精度が低い。
  • 高周波の音波は、水中で減衰しやすいために近距離の目標しか探知できない。しかし、波長が短いため分解能に優れ、直進性が高く指向性が狭い、そのため高い精度での測定が可能になる。

以上の理由により、両者の長短をそれぞれ補うように、高周波ソナー低周波ソナーを両方装備するのが一般的である。

音波の伝播は、海域の地形・海水の成分・温度・海流などによって複雑に変化する。そのため、日頃から海洋観測によってその海域についてのデータを集めて置くことが、水中音響戦に於ける勝利の鍵を握る事となる。

参照:ス�

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Un sottomarino, a differenza del sommergibile, è un mezzo navale adatto a navigare prevalentemente sott'acqua.

Sottomarino Sea Owl (SS-405), della II guerra mondiale

Sottomarino Sea Owl (SS-405), della II guerra mondiale

Il primo sottomarino, con il nome di American Turtle (Tartaruga Americana, a causa della sua forma), venne costruito nel 1775 dall'ingegnere navale David Bushnell, e si ha il suo primo impiego un anno dopo, durante la Guerra di indipendenza americana, nella quale il sergente Ezra Lee cercò inutilmente di agganciare un esplosivo nello scafo di una nave inglese ormeggiata nel porto di New York.

Nel 1800 l'americano Robert Fulton costruì in Francia il Nautilus, lungo 6 metri e largo 1,80 metri, che poteva contenere fino a 8 persone. Il Nautilus poteva sia navigare in superficie che immergersi sott'acqua per otto ore, grazie ad un serbatoio posizionato al suo interno.

Nel 1801 Napoleone Bonaparte, a quel tempo Primo Console, fu entusiasta del progetto e decise di finanziarlo. Una commissione della marina francese decise di assistere una prova del nuovo sottomarino, il quale riusci ad affondare una nave nel porto di Brest, in Francia. La prova venne ritenuta comunque negativa dalla marina, a causa della poca governabilità del mezzo e della poca profondità raggiunta da esso.

Il primo sottomarino in grado di affondare una nave era mosso a mano e fu quello costruito dal capitano sudista Hunley nel 1864 durante la Guerra di secessione americana, ed era armato di un palo al quale era assicurata la carica. In effetti, lo Hunley (che prese il nome dal suo ideatore) affondò lo sloop Housatonic, che stava bloccando con altre navi la baia di Mobile, ma affondò nel tentativo con tutto l'equipaggio. Il suo relitto fu ritrovato una ventina di anni fa dal noto scrittore ed archeologo subacqueo Clive Cussler, e l'episodio dell'attacco, così come la storia del ritrovamento, sono descritti nel suo libro Cacciatori del Mare.

Fino al 1877 i sottomarini non avevano motori al loro interno, ma potevano spostarsi solo grazie a pedali o a mano. Il primo a sfruttare motori a petrolio fu l'americano Holland. Ma il salto di qualità si ebbe nel 1888 grazie allo spagnolo Isaac Peral che provò ad utilizzare motori elettrici come alimentazione e costruì finalmente un sottomarino realmente efficiente, lungo più di 22 metri e che poteva raggiungere una velocità di 10,9 nodi in superficie e 6 in immersione. Fu il primo ad utilizzare il Tubo lanciatorpedini.


I motori elettrici utilizzati durante l'immersione dai sommergibili, non permettevano una lunga autonomia in quanto ricavavano la loro energia da batterie elettriche. Nel secondo dopoguerra fu introdotta la propulsione nucleare che permise di aumentare a dismisura il tempo di permanenza sott'acqua e quindi si cominciò a parlare di sottomarini.

Il primo sottomarino nucleare fu costruito nel 1958 con il nome di Nautilus (SSN-571) dalla marina degli Stati Uniti. Questo sommergibile dimostrò di avere una grandissima capacità di permanenza sott'acqua compiendo la traversata sotto i ghiacci della calotta artica, e fu il primo di un ambizioso programma nucleare legato al nome dell'ammiraglio Hyman Rickover.

Importante storia di un sottomarino è quella dell'U 234, della Kriegsmarine (la marina da guerra della Germania nazista), che si dice portò negli Stati Uniti oltre a molti progetti delle nuove armi naziste, anche un notevole quantitativo di uranio. La storia però manca di conferme ufficiali.

Negli anni furono creati sottomarini il cui scopo non era tanto di combattere sui mari, quanto di costituire basi mobili di lancio per missili nucleari.

Il 23 gennaio 1963 il Trieste I riuscì ad ottenere il primato mondiale di profondità, scendendo a 11.521 metri (poi rettificato per merito di misurazioni più precise a 10.916 metri), grazie soprattutto alla resistenza del suo batiscafo.

Un sottomarino classe Los Angeles naviga a quota periscopio

Un sottomarino classe Los Angeles naviga a quota periscopio

I sottomarini sono caratterizzati dal fatto di poter navigare anche a grande profondità restando immersi teoricamente finché dura la carica nucleare dei reattori di bordo, cioè al massimo della loro autonomia che varia, a seconda dei tipi, da 150.000 a oltre 300.000 miglia. In pratica, i sottomarini devono ritornare in superficie molto più spesso (tra 30 e 60 giorni) e vi restano per un periodo più o meno lungo onde evitare pericolose turbe psico-fisiche dell’equipaggio. Inoltre, poiché la loro azione contro obiettivi di superficie viene condotta mediante missili, sono costruiti in modo da poter lanciare i loro ordigni anche da parecchie decine di metri di profondità.

Costruttivamente, la struttura dei sottomarini è di tipo resistente, priva di doppio scafo (presente in alcuni solo in piccole zone della prora e della poppa), in quanto sfruttano il proprio peso per scendere in profondità aiutandosi con la manovra delle casse di zavorra principali e di quelle di assetto, compenso ed emersione. Anche la vela, di norma situata verso prora, è a struttura resistente, dato che sono in grado di scendere a profondità superiori ai 400 metri.

L’architettura dello scafo è realizzata per offrire minor resistenza all’attrito con l’acqua (a goccia, a squalo) e per sopportare le elevate pressioni dell’acqua alle grandi profondità.

L’apparato motore è schematicamente costituito da un reattore nucleare ad acqua pressurizzata che cede calore, tramite un circuito separato, ai generatori di vapore, i quali alimentano le turbine (di solito due) con gruppo turboriduttore che fornisce potenze tra 20.000 e oltre 60.000 cavalli a un unico asse azionante un’elica a passo variabile e con 5-7 pale uncinate, la cui forma viene studiata per garantire la massima silenziosità possibile.

Tutti i sottomarini sono dotati di motori Diesel-elettrici e di batterie di accumulatori ausiliari, da poter usare in caso di emergenza. Inoltre, dato il notevole pericolo per l’equipaggio dovuto alla presenza del reattore nucleare, questo viene collocato nella zona poppiera, debitamente schermato contro l’emissione di radiazioni e ulteriormente isolato dagli altri compartimenti, insieme con l’apparato motore, nei cui locali si può accedere solo con speciali tute protettive.

Dalla parte opposta si trovano tutti i compartimenti in cui può circolare l’equipaggio. Tra zona reattore e zona abitata si trovano i pozzi in cui vengono alloggiati i missili a lunga gittata, sia balistici, sia antinave, nonché le rampe per i missili mare-aria. A prora sono presenti, in alcuni tipi, tubi lanciasiluri.

Formalmente si distinguono due classi di sottomarini:

  • sottomarini d’attacco, il cui esponente più rappresentativo può essere considerato lo statunitense Los Angeles;
  • sottomarini lanciamissili, i più sofisticati e di maggiori dimensioni, potendo superare dislocamenti superiori alle 25.000 t, come i sovietici della classe Typhoon, che attualmente sono stati quasi tutti dismessi dal servizio, e quelli americani della classe Ohio.

Armamenti [modifica]

L'arma principale di cui sono dotati i sottomarini è il siluro, anche se ormai tutte le attuali classi di sottomarini d'attacco possono lanciare le versioni a cambiamento d'ambiente di missili antinave, come l'UGM-84 Harpoon (Sub-Harpoon).

Voci correlate [modifica]


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Kapal selam nuklir Angkatan Laut Amerika Serikat.

Kapal selam nuklir Angkatan Laut Amerika Serikat.

Kapal selam adalah kapal yang bergerak di bawah permukaan air, umumnya digunakan untuk tujuan dan kepentingan militer. Sebagian besar Angkatan Laut memiliki dan mengoperasikan kapal selam sekalipun jumlah dan populasinya masing-masing negara berbeda. Selain digunakan untuk kepentingan militer, kapal selam juga digunakan untuk ilmu pengetahuan laut dan air tawar dan untuk bertugas di kedalaman yang tidak sesuai untuk penyelam manusia.

Jerman memiliki kapal selam yang populer dengan sebutan U-Boat yang merupakan ringkasan bagi Unterseeboot, mulai ditugaskan dalam Perang Dunia I sebagai sistem senjata yang mematikan bagi Angkatan Laut lawan terlebih-lebih pada Perang Dunia II. Sehingga terkenal dengan sebutan U-Class. Selain Jerman, negara yang populer menggunakan kapal selam sebagai kekuatan utama Angkatan Laut adalah Uni Soviet/Rusia

Salah satu pesawat selam yang lain adalah loceng selam.

[sunting] Kapal selam militer

Kapal selam Norwegia kelas Ulla.

Kapal selam Norwegia kelas Ulla.

Kapal selam militer digunakan untuk kepentingan perang atau patroli laut suatu negara, berdasarkan jenisnya setiap kapal selam militer selalu dilengkapi dengan senjata seperti meriam kanon, torpedo, rudal penjelajah / anti pesawat dan anti kapal permukaan, serta rudal balistik antar benua.

[sunting] Jenis Jenis Kapal Selam

A. Berdasarkan Tenaga Penggerak (propulsion)

  1. Kapal Selam Nuklir
  2. Kapal Selam Diesel
  3. Kapal Selam Engineless

B. Berdasarkan Fungsi

  1. Kapal Selam Militer
  2. Kapal Selam Non Militer


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A Wikipédiából, a szabad lexikonból.

A tengeralattjáró egy tartós víz alatti tevékenységre alkalmas hajó, amelyet elsősorban katonai feladatokra alkalmaznak. Léteznek kutatási és mentési feladatokra épített tengeralattjárók is. Jelentős számban az 1900-as évek elején jelent meg.

[szerkesztés] Története

A II. világháborús német U–995 tengeralattjáró (VII-es típus)

A II. világháborús német U–995 tengeralattjáró (VII-es típus)

Hosszas kísérletezések, tervezések után a 19. század végére megszületett egy vadonatúj fegyvernem a tengeralattjáró. Ezzel a tengeri hadviselésben a felszínről fokozatosan a felszín alá is kiterjedt a küzdelem. Az 1890–1900 között a tengeralattjárók két fő csoportját alakították ki, a tengeralattjáró naszádot (Unterseeboote), amelyet célpontvédelmi és kikötővédelmi feladatokra alkalmaztak és csak rövid utakra használhattak, valamint tengerbe merülő hajó (Tauchboote), amely már külső hajótesttel is rendelkezett és hosszú óceáni utakra is alkalmas volt. Ez utóbbi a felszínen hajózott és csak a támadás idejére merült le.

Ekkor még 100–300 tonnás hajók épültek, merülési mélységük 40 m körül mozgott, meghajtásukat gőzgép, vagy más vegyes tüzelésű erőgép biztosította. 1914-re kialakult az egységes tengeralattjáró-naszád fogalma (Unterseeboote, vagy Uboot). A tengeralattjárókat a felszínen petróleum- vagy benzinmotorral hajtották, a víz alatt pedig akkumulátorokról táplált elektromos motorok. Legfontosabb fegyvere a 450 mm-es torpedó lett, ágyút csak ritkán, és akkor is csak kiegészítő fegyverzetként vittek magukkal. Az első világháború folyamán a tengeralattjárók súlyos veszteségeket okoztak elsősorban a kereskedelmi hajózásban. 19171939 között új torpedókat kísérleteztek ki, de a technikai nehézségeken csak részben tudtak változtatni. A tengeralattjárók építésében elterjedt a hegesztési technológia. Eltűntek a szögletes formák és lépcsőzetes tornyok. Visszatértek a konzervatív szemlélethez és a tengeralattjárót csak sokoldalú kisegítő szerepkör betöltésére tartották alkalmasnak, aminek sok altípust alakítottak ki, anélkül, hogy bármelyikkel átütő sikert értek volna el. A fejlesztések során kialakították a repülőgép-hordozó, a desszantszállító, a partvédelmi, a nyílt tengeri, a víz alatti cirkáló és a szállító típusú tengeralattjárókat. Az 1930-as években az ívhegesztés lehetővé tette a hengeres nyomásálló testtől való eltérést, növekedhetett a szilárdság, és a teljesítmény. Az 1940-es évek elején megjelent az ellipszis keresztmetszetű test, majd az osztott és 2 ellipszoid szekrényes test. 1944 tavaszára a Schnorchel-levegőcső megoldotta a víz alatti hajózást a főmotorokkal 5–6 m mélységig.

Regulus–II robotrepülőgép a USS Growler tengeralattjárón
Regulus–II robotrepülőgép a USS Growler tengeralattjárón

A tengeralattjáró elleni harcban megjelent a radar, a szonár, rakétafegyverek és a reaktív vízibombák. A háború folyamán az erősödő légi tevékenység arra kényszeríttette a németeket, hogy a fedélzetre 2–4 csövű 20, majd 37 mm-es gépágyúkat telepítsenek. A távolharc követelményeinek megfelelően a 88 mm-es löveget 105–120 mm-re növelték. A torpedóknál az elektromos és turbinás meghajtást használták.

A legjelentősebb minőségi változás 19451954 között zajlott le. Kevesebb tengeralattjáró készült, de növekedtek a méretek. Újra többféle különleges típus jelent meg. Helikoptert, mini tengeralattjárót, partraszállító csónakokat, rakétákat, robotrepülőgépeket helyeztek el a fedélzeti hangárban. Alkalmaztak vízvédett lövegeket, majd később teljesen elhagyták ezeket. Készült üzemanyag-szállító, aknatelepítő, rádió- és lokátor-relé, ellátó, anyagraktár és javító-tengeralattjárók, vízkiszorításuk az 1945-ös 1200 t-ról 2300 t-ra növekedett. A Szovjetunió hatalmas dízel-elektromos tengeralattjáró-flottát kezdett el kiépíteni, amely a flottája gerincét képezte. 1954-től megjelent a nukleáris meghajtás, amelyre először az Egyesült Államok kezdett el fokozatosan átállni (és mára már nincs hagyományos meghajtású tengeralattjárója). A vízkiszorítás az 1950-es években már elérte 3300 t-t. A feljődés újabb állomása volt az áramvonalas csepp-forma megjelenése 1959-től, amikor már a víz alatti menet gyorsabb lett, mint a felszíni. A méretnövekedés tovább folytatódik. Alapvetően háromféle nukleáris meghajtású típus készül a flottáknak.

[szerkesztés] Típusai

[szerkesztés] Vadász-tengeralattjáró

A USS Virginia a hajógyári sólyán

A USS Virginia a hajógyári sólyán

Az 1950-es években a katonai szakértők úgy vélték, hogy lejárt a dízel-elektromos tengeralattjárók kora. Még a kisebb államok haditengerészete is az atommeghajtású tengeralattjárók rendszeresítése mellett döntött, de idővel belátták, hogy túl drága a beszerzése és az üzemeltetése. Mára sokkal kiforrottabb és kifinomultabb formában még mindig rendszerben maradtak a hagyományos vadász-tengeralattjárók is. Az USA haditengerészetén kívül minden tengeralattjárókkal rendelkező tengerészetnél üzemel, kizárólagosan, vagy vegyesen a nukleáris meghajtásúakkal. A hagyományos tengeralattjáróknak három fő változata van jelenleg, plusz a nukleáris meghajtású vadász-tengeralattjárók.

  • Parti őrszolgálatot ellátó vadász-tengeralattjárók. Ezek kisméretűek 400–600 t vízkiszorítással, csekély fegyverzettel és erősen korlátozott hatótávolsággal, kevés műszerezettséggel. Pl. az olasz Toti-osztály, német Type 205/206-osztály
  • Közepes hatótávolságú vadász-tengeralattjárók. 900–1300 t vízkiszorítással, előbbinél nagyobb fegyverzeti terhelhetőséggel, de még mindig korlátozott hatótávolsággal és műszerezettséggel. Pl. német Type 209-osztály, jugoszláv Sava-osztály, a svéd Nacken-osztály és Sjöormen-osztály.
  • Nagy hatótávolságú vadász-tengeralattjárók. A jelenlegi típusok többsége ide tartozik. 1600–3700 t közötti vízkiszorítással. Ilyen pl. a japán Uzushio és Yuushio-osztályok, a brit Type 2400 és a holland Walrus-osztályok, a szovjet Foxtrot és Tango-osztályok.
  • Nukleáris meghajtású vadász-tengeralattjárók. Gyakorlatilag korlátlan hatótávolsággal rendelkeznek. Az 1954-es megjelenésük óta a nagyobb államok haditengerészeteiben alkalmazott jelentős erőt képviselő fegyverrendszer. Jelenleg az Egyesült Államok, Oroszország, Nagy-Britannia, Franciaország és Kína üzemeltet ilyen tengeralattjárókat. Vízkiszorításuk 2500–9000 t.

[szerkesztés] Hadászati ballisztikusrakéta-hordozó tengeralattjárók

A USS George Washington baliisztikusrakéta.hordozó tengeralattjáró

A USS George Washington baliisztikusrakéta.hordozó tengeralattjáró

1955-ben a Szovjetunió a hagyományos meghajtású Zulu-osztályú tengeralattjáró átalakította és a torny hátsó eészébe két indítócsövet helyeztek el, ezzel megkezdődött a ballisztikus rakéta-hordozó tengeralattjárók építése. Mára már valamennyi ilyen típusú tengeralattjáró kizárólag nukleáris meghajtású. Fedélzetükön 16–20–24 db rakétát hordoznak, mindegyik rakéta akár több nukleáris töltetet képes célba juttatni, töltetenként különböző városokra, ez a nyilvánvaló erőkoncentráció hatalmas fenyegetést jelent. A tengeralattjárók a víz alól indíthatják a rakétáikat, felderítésük és ellenőrzésük igen nehéz, ezért a szinte tökéletes fegyverrendszer megvalósulásai. Jelenleg (2007-ig)az USA, Oroszország, Nagy-Britannia, Franciaország és Kína üzemeltet ilyen típusú tengeralattjárókat. Vízkiszorításuk: 2 850-25 000 t (alámerülve).

[szerkesztés] Harcászati robotrepülőgép-hordozó-tengeralattjárók

Egy Antyej-osztályú orosz robotrepülőgép-hordozó tengeralattjáró

Egy Antyej-osztályú orosz robotrepülőgép-hordozó tengeralattjáró

Szokás tengerészeti hadműveleti rakétahordozó-tengeralattjárónak, vagy szárnyasrakéta-hordozó tengeralattjárónak is nevezni, de mindkettő helytelen. Ugyanis a robotrepülőgépek, amiket hordoznak és be is vethetnek gázturbinával működnek, míg a rakéta magával hordozza a tüzelőanyagát és a környező levegőtől függetlenül működik. A robotrepülőgépek és az ezeket hordozó tengeralattjárók fejlesztése 35 évre nyúlik vissza. Az amerikaiak az 1950-es években készítettek néhány kifejezetten erre a célra szolgáló tengeralattjárót a saját fejlesztésű Regulus–I, majd a Regulus–II jelzésű robotrepülőgépek kiszolgálására, de a programot törölték. 1974-ben újra elővették az ötletet, de már a fejlettebb Tomahawk rendszerrel. Ezt a Los Angeles-osztályú vadász-tengeralattjáróra telepítették és a szabványos 533 mm-es torpedóvetőből konténerrel együtt, indíthatták. A korszerűsített Los Angeles-osztály újabb egységeinél, már a külső ballaszttartályokba építettek külön indító állásokat, hogy ne a torpedók rovására keljen szállítani a robotrepülőgépeket. Ezzel a megoldással kiküszöbölték egy külön osztály építésének költségét és egy többcélú és nagyon hatásos osztályhoz és rendszerhez jutottak. Az oroszok teljesen más úton indultak el. Az eleinte igen testes és nagyméretű robotrepülőgépeiket külön erre a célra tervezett dízel-elektromos tengeralattjárókra telepítették, hasonlóan, mint a ballisztikus rakétákat. A kezdetben csak a felszínről indítható robotrepülőgépeket mára már a felszín alól biztonságosan indítható változatokra cserélték és a hordozó tengeralattjárók is igen sokat fejlődtek, mára már nukleáris meghajtásúak. Az oroszoknál ezen tengeralattjárók legfőbb célpontjai a repülőgép-hordozó kötelékek, bármi áron el kellett volna süllyeszteni a hordozókat és a kíséretüket pusztítani. Vízkiszorításuk 3000–14 000 t.

[szerkesztés] Különleges tengeralattjárók

Az Egyesült Államok haditengerészetének DSRV-típusú mentő-tengeralattjárója

Az Egyesült Államok haditengerészetének DSRV-típusú mentő-tengeralattjárója

Természetesen igen sokféle különleges tengeralattjárót lehetne megemlíteni, de különösen két típus van, ami külön szót érdemel. Állatában ezeket a tengeralattjárókat kiöregedő vadász-, vagy rakétahordozó-tengeralattjárókból alakítják át. Az első a DSRV és a hordozó tengeralattjárója. A hordozó tengeralattjáró az amerikaiaknál és az oroszoknál is átalakított vadász-tengeralattjáró. A DSRV (Deep Submergence Recovery Vessel) mély merülésű mentő-tengeralattjáró feladata a sérült tengeralattjáróhoz jutni, rácsatlakozni, és a személyzetet kimenteni. Az amerikaiak DSRV-je egy merüléssel 24 főt tud kimenteni és bármilyen menekülő kijáratra, rá tud csatlakozni. Az oroszok is készítettek ilyen eszközt, de üzemeltetési problémái lehetnek, mivel a Kurszk katasztrófájánál meg sem próbálták bevetni. Ilyen eszközöknek igen nagy nyomást kell kibírni, nagyobbat, mint a menteni kívánt tengeralattjárók szolgálati merülése, különleges kialakításúak és igen drága a fenntartási és előállítási költségük. A második az SDV és hordozó tengeralattjárója, ami általában szintén kivonás előtt álló átalakított tengeralattjáró, főként ballisztikus rakétahordozó. Az SDV (Swimmer Delivery Vechile) úszókat célba juttató törpe-tengeralattjáró. Kisméretű, amelyet a hordozó tengeralattjáró a célkörzetbe szállít. Az SDV-t felderítő és szabotőr kommandó partközelbe juttatására használják, a kommandósok az utolsó szakaszt úszva teszik meg. Észak-Korea használ nagy mennyiségben ilyen törpe-tengeralattjárókat déli szomszédja ellen, többnyire sikertelenül.


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超音波加工 ( Ultra Sonic Machining 簡稱 USM )

東京大學生產技術研究所曾經用超音波加工,在玻璃、矽膠及陶瓷等硬脆材料上,成功鑽取了直徑5μm的微細孔穴(請參閱圖一)

首先是用線放電研磨法(WEDG)在加工機具上形成微細的圓柱狀工具,接著讓該工具旋轉時,加工物件端會產生振幅1μm的超音波振動,最後再以次微米鑽石磨粒控制加工作用力。因而藉由本加工方法可從事縱比2 之鑽孔加工。線放電研磨法(WEDG)是能夠製作微細工具的製作方法,它的精緻是能讓在加工機具上製作之工具自動的調整中心點,故發生偏心的機會極小。本方法不僅能夠從事圓孔穴加工,亦可從事異形孔或三維形狀加工,應用範圍極為廣泛。

目前日本九州大學正在從事附有超音波振動小徑鑽孔加工之切削機構,超音波振動對加工精度的影響效果,在傾斜面上孔穴加工的適用性,各種展延性材料上的適用性及直徑50μm等極小徑鑽頭適用效木進行研究,以下是較為明確的研究成果。

  1. 由於有超音波振動的關係,除了因摩擦降低使切屑變薄並增加切排出速度外,更會因為鑽頭中心側及稜角側之切屑排出速度差減少,故橫向捲繞切屑會變小,而且會形成平滑螺旋狀或帶狀的切屑,使切屑排出更為順暢,因而不需要分級進目即可從事深孔加工。
  2. 因有超音波振動,故對仰制孔穴入口處鑽頭振韻振動有相當程度的效果。因此也不易產應變圓( Strain round )藉著鑿尖鎚繫作用限制鑽頭,鑽頭笸加工物件間歇性接觸,降低鑽頭彈性變形恢復力及摩擦力,相對的也能減少徑向作用力的變動。
  3. 因增加了超音波振動,在傾斜孔加工裡孔穴的應變也變小了。
  4. 藉由超音波振動,使用直徑60μm極小徑鑽頭從事不鏽鋼鑽孔加工變得更容易。

() 利用線放電研磨法()製作之微米刀具及在石英玻璃上加工成內徑5μm之微細孔的情形


5-2 微放電加工 ( Micro Electrical Discharge Machining, 簡稱U-EDM )
一、加工原理
放電加工以一極當作電極工具,加一極當作被加工的工件,兩極在保持微小的間隙中產生放電行為,藉由放電所引發的熱作用(電離、熔融、蒸發)及力學作用(放 電、爆發力)以達到加工的目的。目前,廣泛被應用於複雜3D形狀之模穴加工及特定形狀之加工(如齒形、尖角形狀、小R角形狀等?),通常放電加工可概分為 幾種型態,其一為單純之孔加工,其二為仿形加工(Sinking),其三為路徑加工(Scanning)。在應用為於精微產品或精微模具加工時,所應用的 微放電加工主要是微細孔放電及路徑加工為主。
將放電加工技術導入應用於微細加工之始祖為日本東京大學生產技術研究所之增澤隆久教授,他首創WEDG(Wire Electrical Disch-arge Grinding)之微細電極成形加工法,並以此微細電極搭配EDM機台之2.5D及3D CAD/CAM控制,使此一微細電極可經由每一切層之2D路徑加工而達到加工3D形狀模穴之目的,其原理如圖(一)、圖(二)所示。
圖(一)WEDG示意圖 圖(二)微放電加工(μ-EDM)構造
二、實用實例
(一)微細孔加工
要 以微放電加工完成微細孔加工,首先需以WEDG加工微細電極,WEDG之加工方式與車床類似,wire類似於車刃 而電極相當於工件,以wire對電極本身進行放電加工,使電極尺寸縮小,而藉著電極之迴轉,形成一圓形斷面且具極小斷面之圓形細棒形電極,再以此電極進行 微細孔放電加工,目前前此種作法可達成之最小微細孔徑φ20μm之微細孔,而其深徑比則達10:1以上。
(二)微細溝槽加工
同 樣以WEDG加工完成之微細電極當做類似銑削之銑目,可做兩種方式之溝槽加工,其一為直接以此微細電極進行路徑式放電加 工,其二則為利用做成具平切面之微細電極當做微細銑目,一面旋轉切削,一面依路徑行進,而形成類似銑削加工之方式基本上這兩種方式皆可達成微細溝槽之加 工,但在實用上或量產上而言,這兩種加工方式,都有其待克服的問題,仍待後續研發去克服。
(三)3D形狀模具加工
有了2D之溝槽加工經驗之後,其本上3D模穴之加工就工應用層切法之方式來達成,但在實用上仍有電極消耗補償,加工效率低等問題亟待克服,此外,如何製作 更小直徑電極來加工以達到更小圓角之模穴形狀,亦是有待努力之處。最近美國Nebraska-Lincoln大學即針對3D微放電加工進行一系列研究,並 提出將均勻消耗法( Uniform Wear Method )整合於CAD/CAM系統之作法,期使層切法之電極均勻消耗,並保持切削形狀之正確性。
5-3 線放電研磨加工( Wire Electrical Discharge Machining 簡稱WEDM )
要解決這種電極消耗問題的方法之一,就是開發以行走的線來取代傳統以金屬塊做為電極的新方法。這就是線放電研磨(WEDG)
如圖(三)所示為線放電研磨的原理。用直徑50μm~200μm的細金屬線來取代以往做為電極的金屬塊。金屬線在與紙面垂直的方向慢慢行走,被加工軸則一面回轉,一面往軸方向送入。
此方法和線切割一樣,由於金屬線連續地被送出,形成經常以新的電極面來加工,即使電極消耗實際上是存在,對精度的影響還是很小到可以忽略的程度。
圖(三)微細電極製作法及利用放電來研磨電極的方法
如果一開始將金屬線設定在所定的位置,軸徑也會自動地加工至所希望的值。也就是說,不必要像以往那樣經過反覆測家,以接近所希望的尺寸,現在利用此研磨技術,已經可以加工直徑5μm電極。
WEDG之應用功能有:
(一)微放電加工(μEDM)用電極:通常採用逆放電加工法(電極限制ψ50mm),材質大多使用鎢、超硬合金等。線放電研磨加工可容易加工ψ10mm以下之鎢或超硬合金電極。
(二)微鑽頭或微端銑刀:微鑽頭之加工大多利用磨輪研磨製作,材質愈硬,其製作果難度愈高。線放電研磨加工可容易完成超硬合金微鑽頭或微端銑目之製作。
(三)微沖切模具之微沖頭及母模加工,使用線放電研磨加工可容易達成,沖頭材質依其用途有工具鋼、超硬合金、燒結鑽石等。
5-4 微雷射加工( Micro Laser Machining )
一、加工原理
如圖四所示為一典型雷射加工設備示意圖,由其中床台控制X-Y軸之位置,Z軸透鏡之升降則可控制其聚焦深度。至於其加工方式概可分為兩大類:
(一)紅外線雷射:將材料表面物質加熱汽化(蒸發),以除去材料之加工方式,故稱為熱加工。
1. CO2雷射(波長10.6μm)
2. Nd:YAG雷射(波長1.064μm)
圖(四)微雷射加工示意圖
(二)紫外線雷射:直接將材料之分子鍵打斷,使分子脫離本體之加工方式,不會產生高熱,故習稱為冷加工。
1. UV-YAG雷射:係將Nd:YAG雷射經非線性倍頻晶體轉換為波長532、355、266、213nm的紫外線雷射。
2. 準分子雷射( Eximer laser )
二、特性
不同之雷射加工方式,其所顯示之不同技術能力如下:
(一)深徑比:
1. CO2雷射:0.4~0.9:1,用於盲孔。
2. UV-YAG:0.25~10:1,通孔、盲孔皆可。
(二)孔徑:
1. CO2雷射:150~350μm
2. UV-YAG雷射:25~150μm
(三)加工精度:以圓孔為例
1. CO2雷射:150μm(誤差5μm)
2. UV-YAG雷射:25μm(誤差2μm)
(四)加工速度:
1. CO2雷射:300孔/min
2. UV-YAG雷射:24000孔/min
(五)適用對象:
如表(一)所示,各種不同之雷射加工方式,各有其不同之適用對象,對精微模具之3D加工而言,以ND:YAG(532nm)較適合。
表(一)不同雷射源適用對象
雷射
工件材質
深徑比
最小橫向尺寸
結構高度
對應產品
[μm]
[μm]
Nd:YAG(連續波)
不鏽鋼
>5
30
>150
生物晶片點片針
Nd:YAG(脈衝)
鎳鈦合金,矽
3-4
40~50
150
網套,植入物,儀器,致動器
Q-switch Nd:YAG
董青石cordierite
10
50
500
電路板鑽孔
Nd:YAG(532nm)
碳化鎢
10
50
400
模仁
準分子雷射
聚碳酸酯polycarbonate
50
2
100
細胞培養器鑽孔
圖(五) 雷射微加工實例
5-5 電子束加工( Electro Beam Machining, 簡稱EBM )
利 用電子束來加工,除了焊接之外,還有鑽孔及表面處理等,無論那一種都是屬於利用高電功來加速電子束的熱加工。其中,鑽孔加 工為將高能量密度的電子束照射在材料上,利用當時所產生的熱將材料熔融、蒸發,並加以排除的加工法。這種加工法和其它加工法比,是一種相當優良的高速加 工,同時具有高度的控制性及斜孔加工的特徵,可望代替現有的鑽孔加工,甚至能發展出更新的用途。
利用電子束鑕孔,由開始直至鑽透為止。如圖(六)所示,其中有幾個過程存在。同時,電子鑽孔法為了獲得漂亮的貫穿孔,在工件底下還敷有持定的輔助材料(墊襯)。
l 大約10KW/cm的,具有高密度集中能量的電子束照射在工件上開始先將局 部熔解。
l 塞滿蒸發物的空洞愈來愈深,並在其周圍產生熔融層。
l 電子束貫穿工件,一直到達輔助材料處為止。
l 輔助材料於瞬間氣化,產生很高的蒸氣壓,將貫穿孔的蒸發物及熔融層向外部飛散出去以完成鑽孔。
為了能正確鑽出特定孔徑以及深度的孔,通將加速電功設為一定,而調整電子束電流(脈衝電流)以及照射時間。同時,加速度依孔經以及孔深來決定其上限,而孔徑、孔深愈增加,加工速度就愈降低。
電子束鑽孔的特徵
電子束對材料的侵透力強,並富控制性,具有焦點深度深等特性,同時利用加工操控軸移動的自動控制,工以獲得如下的優點:
l 鑽孔非常快(最14000孔/秒)
l 孔的節距正確,可以獲得相當漂亮的孔。
l 可以鑽出斜角度的孔(對工件表面而言,最低可至20度)。
l 即使是複雜形狀的孔也能鑽。
l 幾乎所有的材料都能鑽孔。
電子束鑽孔之應用
l 大型微細過濾器
l 真空滾子
l 軟燥室
l 工業用微細濾網
此外,使用微細孔濾網的離心分離機、脫水機、自動過濾器、造粒機等都是電子束的用途。以往,孔徑0.3mm以下,而且板厚0.5mm以上的濾網是不可能加工的。現在,利用電子束鑽孔就可以做到因此,電子束還可望開發更多新的用途。
圖(六)電子束鑽孔過程
5-6 電射加工(Laser Machining)
雷射加工在國內工業界的應用上已經相當廣逤,但使用的範圍多限制在以熱加工方式的紅外線雷射上,本文探討紫外光雷射冷加工模式的技術,如微細鑽孔。
所謂的紫外光指的是波長約分佈在150~400奈米之間的光源,目前被使用在工業應用上的紫外光雷射主要有兩種,第一種是氣態的準分子雷射 (Excimer Laser)另一種是利用Nd:YAG電射的光源經過非線性倍頻晶體轉換技術(nonlinear crystal conversion)而將紅外光波長轉換成紫外光波長。
準分子雷射是利用兩種在常態下不起反應的氣體,但在激發能會結合成不穩定分子後迅速解離而放出紫外光,取其『excited dimer』的字面而成之為excimer雷射。一般工業上常用的種類主要包括XeC1(308nm),KrF(248nm),ArF(193nm)三種 波長的準分子雷射。準分子雷射是一種脈衝式的雷射,每個脈衝所能攜帶的電子束鑽孔加工成品如圖(七)所示。能量是目前所有紫外光雷射中最高的。從準分子雷 射是一種多模(Multi-mode)的雷射,一般輸出的雷射光束截面積約在數十個平方毫米,因此非常適合利用光罩做投影式的加工(Image projection system)方式。
圖(七)電子束鑽孔加工成品
Nd: YAG本身的波長為1064奈米(nanometer),利用倍頻技術可將頻率做2倍、3倍、4倍甚至5倍的轉換,由 於波長和頻率成反比,因此分別可得到532、355、266及213奈米的雷射光波長,其中532為綠光,其餘的皆為紫外光,一般簡稱為UV YAG。UV YAG和準分子雷射光的主要別在於倍頻技術是相當低效率的能量轉換方式,因此每個脈衝的能量通常都在1mJ以下,所能攜帶的能量相當的低,但由於UV YAG 每個脈衝的時間比excimer小一個order(約4~7ns),因此還是有足夠高的尖峰脈衝功率來工作,再加上UV YAG的脈衝頻率可達到1KHZ以上,因此適合用在單點鑽孔(single hole drilling)或直接刻寫(Direct writing)的工作模式上。
紫外光在鑽孔上的應用隨著電子工業越來越要求微小化的趨勢,因其可達10μm直徑,1μm精度的鑽孔能力而越來越受重視。以目前印刷電路板的鑽孔而言,已 經有很大的比例由UV YAG的鑽孔機來取代,鑽孔速度快而精確。另外許多微小的過濾板,醫療用導管上的鑽孔等,都必須利用紫光雷射才能達到其要求。
以準分子雷射而言,其最成功的鑽孔應用為噴墨頭上的噴墨板(inkjet nozzle plate)的噴孔鑽孔應用。噴孔的要求要在Polyimide的TAB電路板上鑽出300個50μm或更小的微孔,利用準分子雷射的光罩投影式加工可以 在12秒內完成一組噴孔片的加工,而且良率可高達98%以上。
圖(七)準分子電射在Kapton-E上所鑽出的噴墨孔
CO2雷射加工與印刷基板
圖(八)所示為加工機的概念圖以及裝置例。由雷射振盪器來的雷射光束照射在光罩上,藉助控制鏡掃描,並利用具有F-☉特性的轉映透鏡,使投影在印刷基板上,加工出依光罩上孔徑所規定的BVH。
鑽孔之際,工作台為靜止狀態,藉由控制鏡與f☉透鏡進行某一區域的鑽孔。所採用的方式是鑽完該區域的孔後,再驅動工作口依序加工下一掃描區域的逐步與反覆 (Step and Repear)的方式,控制掃描的高速化:現在1000孔/秒的系統已經實用化。而且,藉由全像光學系統之採用,可編用4552孔/秒的速度做定形圖樣的 超高速加工。
圖(八)短脈衝CO2雷射鑽孔加工機概念圖
圖(九)BVH多層基板構造例
5-7 超精密加工( Ultra Precision Machining )
(一)加工原理
超精密加工主要係以超精密切削刀具( Ultra Precision Cutting Tool, UPC )來進行切削加工,通常此類目具係以單晶鑽石製成,單晶鑽石具有高硬度、優越的熱擴散性和被切削材之低親和性,可做成非常鋒利之切刃等優可適用於鋁、銅等 非鐵金屬或非金屬之超精宓切削。至於單晶鑽石之加工方法則有研磨、超音波加工、劈切割( Cleaving)、鋸切(Sawing)、胴削(Bruting, Girdling)、放電加工及雷射加工等不同方法,其加工原理及應用領域如表(二)所示。
(二)加工設備
目 前所使用的超精密加工,主要分為工件旋轉的車床型和目具旋轉的銑削型,兩者基本上都使用氣/液靜壓軸承、線性滑軌來做為旋 轉部及直線移動部之結柟。並加裝雷射干涉或光學尺的測長器,再配合精密控制器及滾珠導螺桿或線性馬達等驅動系統,才可成為高精度加工之超精密切削加工機。 當然,此類機器要達到其加工精度,必須在防振及溫度控制等方面特別加強。加工技術領域之比較如表(二)所示。
如表(二)加工技術領域之比較
加工種類
應用領域
微放電加工
1.WEDG:微電極、微目具、微軸、微螺桿、微探針?
2.微孔加工:微噴嘴、濾光板、光罩?
3.Micro Milling:微模具(模穴、模仁、沖頭)。
4.微沖壓:可整合微沖壓模具與沖頭成形、微沖壓製程於同一機台上。
5.電鍍成形:微細噴嘴等管狀微結構製作。
微雷射加工
1.微鑽孔:印刷電路板(PCB)、濾網、冠狀動脈網套?
2.微切割:冠狀動脈網套光罩、導線架?
3.微雕刻:醫療器材標記、導線標記?
4.微細加工:3D立體模穴、微軸?
5.微焊接:二極體
超精密加工
1.光電元件:平面透鏡、繞射鏡片、LCD導光板與菱鏡片、光纖連接器、微光柵
2.超精密模具:鏡片射出模?
3.精密軸加工:車用傳動軸、工具機主軸
4.微細加工:3D立體模穴、微軸?
5.脆性材料加工:磁碟基板加工、晶圓切割?
(三)高速鑽削( High Speed Milling, 簡稱HSM )
高 速銑削是一項倍受矚目的潛力技術,這項技術從1990年日本理化學研究所發表每分鐘超越1000m的切削試驗成果以來,即 致力於模具生產現場的實用化而一直持續到現在。最近,使用直徑0.1mm以下之微小徑端銑刀的高速銑削被視為前途看好的加工技術,而且已進入實用化,其切 削加工面目前已經達到足以實現Ry1μm以下之高精度化的階段了。
然而,在提高切削加工之超精密化與微細化方面,還有許多應該解決的問題點,例如具有數μm以下之振動精度的小徑端銑刀、在每分鐘超過100,000min-1之高速旋轉下具有高夾具剛性與振動精度的夾治具系統、以及在綜合加工機方面,具有高熱位移特性與振動精度等的高速旋轉主軸、動作靈敏的高速進刀機構、以及高定位精度等都是被要求的項目。
在 應用微小切削刀具於模具部品加工方面,若CNC加工機也能夠相對地適度縮小規格的話,將有利於達成包括讓進目動作敏捷以及 因應熱影響等高速與高精度化的目標,因此日本理化學研究所已開發出桌上型高速CNC銑床,圖(十)即是理化學研究所使用直徑0.6mm之端銑目的微細形狀 之切削加工實例。這些場合所使用的切削刀具其所要求的是像超硬合金、cBN燒結體、鑽石燒結體及單結晶鑽石等目具材質,以及目具的最適化設計。
圖(十) 小徑端銑刀之微細形狀加工例
(四)微型工廠( Micro Factory )
讓機械微型化則是近年來全球努力的方向。為了因應環境的變化,使得微型工廠( Micro factory )和狹小部的點檢機械手臂等機械的微型化的需求由此而生,不只是這種新的需求,傳統的精密機器部品也開始訴求更高精度及更低成本的新製造法。
日本通產省工業技術院機械技術研究院目前開發出的微車床32mm、深25mm、高30.5mm的製品,如圖(十一)所示。重量約100g,主軸驅動用馬達的額定功率為1.5W,比起平常用的車床,尺寸約為1/50,重量在1/50000以下,額定功率在1/500以下。
它是由主軸驅動元件、X-Y移動元件、刀架等3個元件組成。主軸驅動元件則是早個內徑4mm的滾動軸承所支撐主軸和DC微型馬達組入穀內後,所形成的構造。加工部品是利用和主軸一起的夾具來夾持,刀具位置是固定的,加工時只需移動加工部品即可。
切 削加工實例如圖(十二)所示,右側的黃銅棒其先端直徑為100μm。左側黃銅棒的切削面表面粗度約1.5μm、圓度 2.5μm,和普通的車床比較之下,大致都可以得同等的加工精度。相對於普通車床的主軸驅動用馬達,其額定功率為1~3KW,本微型車床可以達到 1.5W,可以節省很多的能源,而這也是它的優點之一。
圖(十一) 微車床之外觀
圖(十二) 微車床之切削加工實例
四、微型工廠(Micro Factory)(MEL、FANUC集團及其他)
在「小東西讓小機械製作」的概念下,通產省的產技策劃(產業科學技術研究開發制度)相關部門已著手研究「微型工廠(Micro Factory)」等開發技術,也就是讓小型部品或設計,藉由小型生產系統來製作。以現在的生產系統而立,不管尺寸多小的產品,原則上還是由非常大的機械 在生產。例如手義、相機等小型精密機器都是由毫米級的部品所構成,可是這些產品卻是由公尺級的工作機械製造,生產線的長度竟也長達數十公尺。如果小型產品 可以用跟它差不多大尺寸的小型生產系統來製造,不但可以省下很多的能源、空間、資源、設備投資等,而且對於產品種類的變化也有對應的彈性,而這些都是小型 生產系統的優點。根據估算,如果將生產機械尺寸縮小為1/100左右。假設在保養品或化妝品店裡設置微型化學工廠,就可以立即製作客石所需要的化妝品和醫 藥品,由此可知微型工廠具有很大的彈性,而這也是一般工廠所沒有的。
圖(十三)為桌上型微型工廠的概念圖。它是由三個元件所柟成:以放電或雷射光來進行微細部品加工,簡單組立的「加工組立平台」;在系統外則有供給加工部品 的「部品供給平台」;以及組立這些部品的精密組立平台,而這些平台皆由外部電腦所控制,系統大小大約是可以擺在桌上的尺寸。
日本工業技術院機械技術研究所已有試作過這樣的系統,尺寸為50cm?/span>70cm 的桌面,幾英吋 的車床、銑床、沖壓機、搬送手臂、組立裝置等所配置的系統。此外,FANUC、SEIKO Instruments Inc.等機械公司和7家電機公司也共同開發出微型工廠。在長約86cm、寬約1m的桌面,使用7個機械手臂(Robot Arm)等超小型機械,製作直徑約1cm的小型齒輪箱(Gear Box)。圖(十四)是機械技術研院所提供的微型工廠照片。
圖(十三) 桌上型微型工廠概念圖
圖(十四) 所提供的微型工廠照片
結語
生產機械和動力機械的微小化是為了達到省能源、省資源、省空間等。很多微細機械雖然都有被試作過,但幾乎都還不能實現實用化,只到用單體的機械來確認動作 的階段。雖然要達到實用化將有更多的問題有待解決,而如何使其運用在實際的系統上,是今後待解決的課題。
在微細機械方面,有尺寸效應等特殊問題,為了能克服這樣的問題,有效發展微細機械,微型物理學和微型摩擦學等的基礎研究就極為重要。而這些研究仍為起步階 段,無法充分闡釋微觀世界的現象。我們期待今後的研究能有更進一步的發展,讓成果反映在微細機械的設計製作上,也期待能在不久的未來實現微細機械的實用 化。
5-8 電解拋光(Electrolytic Polishing)
所謂電解拋光,即是將工件放置陽極,於電解液中通電,在適當操作參數下,使工件發生電解反應(亦稱反電鍍),工件表面而因電場集中效應而產生溶解作用,因而可達成工件表面平坦與光澤化之加工技術。電解拋光機制示意圖如圖(十五)所示:
圖(十五)電解拋光機制示意圖
電解拋光技術於1931年,由D.A.Jacquet發明採行。「電解拋光」技術可廣泛運用在半導體製程設備、化工、航太以及其他高精密等表面處理加工。
電解拋光應用範圍:
(1) 可處理銅、黃銅、鉛、鎳、鈷、鋅、鍚、鋁、不銹鋼、鐵、鎢等材料。
(2) 電解拋光技術廣泛應用於半導體/LCD等級閥件、管配件、接頭、IGS之表面處理。
(3) 電解拋光可達鏡面級光澤,拋光後產品表面可達Ra=0.2~0.5μm。
(4) 不銹鋼電解拋光表面可生成鈍化層,有效提昇抗腐蝕能力。
電解拋光成品如相片(一)所示:
相片(一)電解拋光成品
工 研院機研所,兩年來,在沒有技術引進情況下,自行設計、開發夾治具、電解液和設立實驗室,摸索出世界最新穎的表面處理「電 解拋光」關鍵技術。機械所目前已建立電解拋光實驗室,擁有內外孔電解拋光設備,除開發閥件內孔電解拋光技術外,更將觸角延伸至管件內孔電解拋光高級技術發 展,期能建立我國紮實的電解拋光加工能力。
近年,國內半導體製造業蓬勃發展,但半導體製程設備工業卻遠遠落後,詳究其原因,主要在於國內缺半導體製程設備所需的精密表面加工技術。電解拋光應用於半 導體製程設備中的控制閥內流道、廠務配管流道、反應腔壁表面之處,凡與製程氣體接觸之處理都需要電解拋光加工處理,應用範圍多且廣。將電解拋光應用於半導 體製程設備的目的有三,一為可生成抗蝕鈍化層,二為可產生高度潔淨表面,三為可鏡面拋光降低粗糙度。為建立電解拋光操作參數,機械所是從電流密度、電壓、 通電時間、溫度、流速、電解液配方、比例、添加劑等,來了解其對鈍化抗蝕性的影響,並委託清華大學進行電解拋光試片抗蝕性研究,已實驗完成且有不錯的成 果。機械所在電解拋光高度潔淨表面研究方面,則從製程和步驟著手,包括前處理溶液清洗、鹼洗除油、酸洗除銹、電解液潔淨和控制、後處理化學清洗,以及在無 塵室進行超化學液配方、溫度、操作時間、角度等研究。
電解拋光效益(創造產值):
(1) 為一具備機械、電控、熱流、材料化工高度整合性技術。
(2) 1999年時國內半導體業者需求與EP有關之閥件、管配件等零組件消耗品總金額為67.5億,其中EP技術產生價值約佔22%,總值約為15億。
5-9 化學機械拋光(Chemical Mechamical Polishing,簡稱CMP)
CMP機器之構造圖及製程示意圖如圖(十六)及圖(十七)所示:
圖(十六)CMP機器構造簡圖
圖(十七)CMP製程示意圖
CMP 是將工件壓在旋轉之彈性襯墊(研磨墊)上,利用相對運動加工之拋光技術。將具有腐蝕性之加工液供給到工件上,當工件進 行腐蝕加工(化學性)時,同時供給超微磨粒(直徑100奈米以下)拋光(機械性)材料,對工件之凸部進行選擇性的拋光操作,故稱機(械)化學拋光或化學機 械拋光。
在LSI往微細、高積體化發展之同時,形成於矽表面之裝置構造也有多層化,其表面凹凸變大之傾向。為了實現多層化裝置之配線的高信賴性、高成功率,在裝置製造之過程中,每一層表面之凹凸必須很平坦化(Planarization)。
平坦化過程之概念圖,如圖(十八)所示:
在矽晶片上所形成內部配線之突出氧化膜部分,利用包含超磨粒拋光材之拋光襯墊進行拋光加工後,便會逐漸平坦。
圖(十八)平坦化過程之概念圖
化學機械研磨(CMP)技術因其擁有全面平坦化(Global Planarization)的優勢,因此在近年來成為各大IC相關產業競相研發之技術。
傳統的平坦化技術以Spin On Glass(SOG)和Resist Etchback(REB)技術為主但在0.25μm以下IC製程SOG及REB技術並無法達到全面平坦化(Global Planarization)的目標,因此極需尋找新平坦化技術,化學機械研磨技術經由IBM及Intel等公司積極研發,在近年來已成為全面平坦化的新 興技術。它不僅可以達成全面平坦化的目標,同時可增加元件設計的多樣性,如可將銅及鎢納入新元件設計中且可減少缺陷。圖(十九)乃各IC平坦化技術之比 較,由此圖可看出CMP在全面平坦化技術的優勢。
圖(十九)平坦化技術
圖 (十五)說明積體電路不同製程的平坦化能力。以積體電路產品16M(百萬)DRAM的晶方邊長在拾厘米以上,因此理想的平 坦化距離也需要拾厘米以上長度,在製程上最早應用的硼磷玻璃回填(BPSG Reflow)平坦化技術,除了高溫限制在金屬化前的使用外,平坦化距離僅能適合數微米長。旋塗玻璃(Spin on Glass)是二層金屬連線製程最常使用的平坦化技術,其平坦化距離僅及10微米長。以沈積/蝕刻交替及電子迴旋電漿(ECR)沈積薄膜非常適合深次微米 製程中的填隙,如搭配化學機械研磨(Chemical Mechanical Polishing)則可完全應用在多層連線的製造,以阻劑填平後蝕刻(Resist Etch Back)的平坦化技術,因沒有塗佈玻璃材質的吸水性及有機物揮發等問題,故為美、日的主要積體電路製造商在高可靠度產品應用的平坦化技術。由於阻劑填平 的平坦化間距僅及百微米範圍,及綜合圖(十九)的比較,化學機械研磨就成為全面平坦化的最佳選擇。
0.25μm 以下製程不可或缺之平坦化設備,化學機械研磨機在中科院主導及相關業者之協又合作F商品化研磨機已進入市場。以 二氧化矽為主要成分的絕緣介質在CMP所使用的研磨劑目前Cabot公司所製造之研磨液系列產品為多數廠商所接受。Cabot公司能佔有研磨液,大部份市 場乃因其能自行製造之高純度且穩定性佳Sio2粉末。同時Cabot公司擁有研磨液所需發展之技術即研磨粉末製造技術,研磨粉末分散技術及研磨液配方投術。
研磨液乃是用來研磨二氧化矽介電層,BPSG介電層、淺溝隔絕層(Shallow Trench Isolation)及Polysillicon薄膜層之研磨液。研磨液一般包含下列組成SiO2研磨粉末(平均粒徑根據不同配方約在100nm左右),固含量約10~30%,PH值約在9.0~11.0(由KOH或NH4OH調整),以及去離子水約70%。
以介電薄膜研磨所使用之SiO2研磨液為例,在PH值固定時,當研磨液的SiO2研磨粉末之含量或粒徑大小增加時,其研磨速率亦相對增加,如圖(二十)所示,然而若其增加比例過高,亦會刮傷薄膜表面。當PH值增加時,研磨速率亦會隨之增加,然而額外之化學反應亦會提高,因而降低研磨薄膜之平坦度。
圖(二十)介電膜研磨速率與SiO2研磨劑組成之關係
而CMP技術所使用之研磨墊-PU Pad,大體來說有兩種功能,一是研磨墊之孔隙度可協助研磨液於研磨過程輸送到不同區域,另一種功能乃是協助將晶片表面之研磨產物移去。研磨墊之機械性質會影響到薄膜表面之平坦度及均勻度,因此控制其結構及機械性質是十分重要的。
研磨墊則是研磨劑外的另一個重要消耗材,由於積體電路製程的目的是平坦化,異於傳統光學玻璃與矽晶圓的拋光作用。圖(十八)平坦化過程的示意圖,平坦化的 作用即要將晶圓表面輪廓凸出部份削平,達到全面平坦化。理想的研磨墊是觸及凸出面而不觸及凹面,達到迅速平坦化的效果。就研磨墊的應用言,其材料的化性需 求較為單純,一般僅具備耐酸鹼,持久穩定即可。但在物性條件則相當複雜。Rodel 的研磨墊Suba系列產品為美國Sematech等所評定,適合CMP製程應用。此Suba系列的材質為Polyurethane Impregnated Polyster Felts。上述的PU材料,具多孔性及一定的硬度。如圖(二十一)所示,研磨墊的壓縮性差異,形成不同的垂直與水平變形,軟性的研磨墊,因變形而容易觸 及凹面,形成平坦度較差的現象。Rodel另一系列的IC(品名)產品,具較低壓縮性,較高硬度的研磨墊,可以有效提昇平坦度的效果,但其均勻度的控制則 變差了。使用IC 1000/Suba IV的組合墊則兼顧了平坦度與均勻度的效果,也就成為今日對氧化矽薄膜在CMP製程的主要研磨墊。穩定的製程除了選擇適當的研磨墊外,適當的保養則是必要 的過程。在研磨過程中,研磨墊表面材質也會耗損,變形。另外表面堆積的反應物也需妥當的排除。因此在使用中,如無適當的處理,研磨墊表面將呈現快速老化, 造成蝕刻率衰退等現象。為了解決研磨墊的老化問題,現代的CMP機台都具備『研磨墊整理器』,具備與研磨過程同步整理或定時整理的功能。
化學機械研磨製程控制
RR=Kp.P.V
其 中RR為蝕刻率,P為晶圓上的施加壓力,而V為相對線性速率。Kp則稱為Preston常數,此簡單的Preston方程式說明蝕刻率與壓 力、線性速度成正比關係外,其他物性、化性及機械參數及特性都隱藏在Preston常數內。在良好的機台參數控制下,一般氧化層膜的製程控制範圍都可適用 Preston方程式。典型的例子如圖十所示。由圖上可以看出氧化矽膜的蝕刻率與施加壓力呈正比的線性關係,另外在不同設定的轉速下亦都呈現正比的線性關 係,其斜率則隨著轉速而增加。圖(二十二)即在固定的施壓下,蝕刻率與平台轉速的關係。一般實驗結果可以得到線性但非正比關係。
圖(二十一)熱氧化矽薄膜的CMP蝕刻率與壓力關係圖
圖(二十二)熱氧化矽的CMP蝕刻率與磨盤轉速的關係圖
5-10 製程中電解削銳(Electrolytic In-Process Dressing,簡稱ELID研磨)
電子零件等功能材料之進步是有目共睹的,但對於各種素材零件之加工精度要求則是愈來愈嚴格。其加工技巧之磨料加工技術的研磨、拋光方面,對於高效率、高精度、高品位、超精密、自動化等之期望也很高,滿足其要求的加工技術之一為ELID研磨法。
ELID研磨法為金屬結合砂輪的削銳方法之一,利用電氣化學作用所產生之電解溶出現象,在研磨加工中也可以連續地進行削銳,以保持穩定的銳利度。
圖(二十三)所示為平面磨床使用ELID研磨法時之示意圖。電解削銳是對與研磨加工無關之砂輪部份,在砂輪和電極之間產生電氣化學反應而進行的。
圖(二十四)所示為ELID研磨時之砂輪表面狀態的示意圖。
(a) 為砂輪剛削正後之狀態。
(b) 為在研磨加工之前僅實施削銳操作,利用電解方式,使砂輪之結合劑溶解的狀態。
(c) 為隨著電解之進行,不導電薄膜產生,結合劑之溶解被抑制。
(d) 是由於加工之進行,磨料發生磨耗,不導電薄膜也被剝離之狀態。
(e) 是不導電薄膜變薄,導電性回復,結合劑之溶解再度開始,而露出磨粒。
由於這些作用之反覆進行,使砂輪可以保持良好的銳利度。
圖(二十三)使用ELID研磨法之平面磨床示意圖
圖(二十四)ELID研磨時之砂輪表面狀態示意圖
依據工研院微機電部H.Y.Lin及F.Y.Chang等人89年11月1~2日發表於第四屆奈米工程暨微系統技術研討會之論文:
The Surface Morphology and Sub-surface Characteristics of ELID-Ground Single Crystal Silicon.
利用ELID鑽石磨輪研磨直徑300-400mm之矽晶圓,可獲得所期望的表面粗度與平坦度(flatness)其研磨結果則視電流、電壓、磨輪轉速、材質、磨粒粗細、進給率及工作台轉速而決定。Nachi RGS20N ELID研磨機之示意圖如圖(二十五)所示:
圖(二十五)Nachi RGS20N ELID研磨機示意圖
通常磨輪之磨粒越細,則研製工件之表面粗度越好,然而磨輪表面越容易被切屑(Chip)堵塞而變成不銳利,因此必需定時停機清理削銳,如此一來就造成加工 不方便及損失,因此Ohmori提供ELID研磨法,使得在研磨過程中,經常保持磨輪在銳利狀態,因即可獲得穩定又理想之工件表面粗度。
相 片(二)(三)(四)(五)(六)為利用AFM(Atomic Force Micro Scope 電子力顯微鏡)、SEM(Scanning Electron Micro Scope 掃描電子顯微鏡)及HRTEM(High Resolution Transmission Electron Micro Scope 高解析度穿透式電子顯微鏡)在不同加工參數條件下所得到之矽晶片表面狀況之相片。
相片(二)ELID研磨之矽晶片 SEM(左) AFM(右)相片
(#6000 Diamond ,Wheel ,30V, 20A,2000/400rpm,2μm/min)
相片(三)ELID研磨之矽晶片 HRTEM相片
(#6000 ,30V, 20A,2000/400rpm,2μm/min[110])
相片(四)ELID研磨之矽晶片 AFM相片
(#6000 ,60V, 10A,3000/100rpm,8μm/min(左),2μm/min(右))
相片(五)ELID研磨之矽晶片 HRTEM相片
(#6000 ,60V, 10A,3000/100rpm,8μm/min[110])
相片(六)ELID研磨之矽晶片 HRTEM相片
(#6000 ,60V, 10A,3000/100rpm,8μm/min[110])
由 於磨輪進給率不同,晶片表面之狀況也稍微不同,如圖(十三)所示,進給率為8μm/min時,在晶片表面產生10-30nm(奈米)之非晶形 薄層(amorphous layer)如圖(十四)所示,當進給率為2μm/min時,因磨耗較大,導致磨擦生熱,因此在晶片表面產生80μm之非晶形薄層,同時在基底下形成 200nm之差排薄層(dislocation layer)
Reference:
(1) 機械所無師自通電解拋光技術 經濟日報(88.11.28)
(2) 微細加工技術 復漢出版社
(3) 電解拋光技術 工研院機研所
(4) The Surface Morphology and Sub-surface Characteristics of ELID-Ground Single Crystal Silicon.
H.Y.Lin and F.Y.Chang 第四屆奈米工程暨微系統技術研討會之論文集
(5) MATERIALS AND PROCESSES IN MANUFACTURING E.Paul De Garmo
(6) VLSI 製程概論 陳志芳 工業技術人才培訓計劃講義


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【聯合晚報╱記者林進修/台北報導】

2007台灣國際奈米週今天舉行,工業技術研院研發成功的「可變形塑膠皂」是今天現場最熱門的產品。工研院表示,任何尚未起化學變化的汙漬,經這種塑膠皂輕輕一擦,都可雪白如新。

工 研院奈米科技研發中心周文漢博士表示,可變形塑膠皂是結合高分子材料、奈米微粒、紙、界面活性劑等製成的高科技清洗用品,由於可隨意揉搓變形,因 而得名。放眼國際,這是全球唯一可用來清潔任何曲面汙漬的奈米產品。周文漢說,灰塵汙漬無所不在,但若黏附在電器產品表面,就不能用含水的清潔劑清洗,以 免短路;若黏附在彎彎曲曲的表面或溝槽內,則難以用紙巾或抹布清潔,造成極大困擾,可變形塑膠皂就沒有這方面的問題。

【2007/06/14 聯合晚報】@ http://udn.com/

周文漢右手拿的可變形塑膠皂,可將滑鼠表面的汙漬擦得乾乾淨淨。
記者林進修/攝影


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光可用來驅動分子機器 2002/05/10


奈 米級元件極可能在未來的電子、醫藥及通訊上扮演重要的角色,然而要發展這類元件的一大挑戰卻是如何找到適當的能量來源。最 近,科學家首度以光來驅使單一分子產生機械功。慕尼黑Ludwig-Maximilians大學的Hermann Gaub等人將光照射在一個聚合物分子上,使其伸張或收縮。分子的一端連接著懸臂樑,用來重覆測量分子在一個週期中所產生的力。T Hugel et al, Science 296, p.1103 (2002).

三明治結構可節省太陽電池成本 2003/02/12


美 國科學家發現,採用三明治結構的太陽能電池將可以大幅降低其製造成本。傳統太陽能電池的設計是利用矽材半導體吸收光能,形成 電子與電洞,並將電荷收集送至電極;然而只有昂貴的純矽才具有較高的光致電(photovoltaic)效應,所以在成本方面太陽電池一直無法與石化燃料 或核能發電相抗衡。加州大學聖塔巴巴拉分校化工系的E. WcFarland與J. Tang所設計的裝置主要包括一層染料分子與其下方的金/二氧化鈦/鈦(Au/TiO2/Ti)多層薄膜結構。染料分子吸收光子後 所釋出的電子,穿過金薄膜後,由二氧化鈦層收集起來,染料分子損失的電子則由金屬材料補充。由於不需要透過半導體材料來吸收太陽能,製程上便可以較便宜的 半導體材料所取代。目前該實驗的光電轉換效率低於1%(標準太陽能電池的效率約為15%),研究人員希望藉由微調結構、尋找新材料與增加表面積來提高其轉 換效率。詳見E. McFarland and J. Tang, Nature 421, p.616 (2003).

微機電系統可望為盲胞帶來光明 2002/09/11


由 微機電(microelectromechanical, MEM)系統組成的電極陣列成為盲人恢復視力的新希望。一些眼疾如視網膜色素病變(retinitis pigmentosa )及黃斑部退化(macular degeneration)只影響病人眼球中負責偵測光線的柱狀及錐狀細胞(rod and cone cells),並未損及大部份的視神經末稍。一個由美國國家實驗室、大學及民間企業組成的研究小組,發展出這個含有1000個電極的陣列。這個裝置一旦植 入視網膜中,便能以電流刺激病人視神經末稍受損的視網膜。美國能源部已撥款9百萬美元支持這項研究計劃。

兩家美國科技公司將合作研發燃料電池 2002/10/14


美 國的Albany NanoTech及Plug Power公司將合作發展燃料電池(fuel-cell)的技術。燃料電池是靠氫與氧的結合反應來產生電力,由於不涉及燃燒,因此被廣泛視為有效又環保的 能源產生方式。根據這項五百萬美元的合作計劃,兩家公司將在未來五年內針對燃料電池的質子交換薄膜(proton-exchange membrane)電極,研究能促進反應效率的奈米結構。該計劃的目標是希望研發出具有奈米結構的電極,以提升電池的性能同時降低成本。

複合電極可大幅提高鋰電池的效能 2003/03/17


鋰離子電池技術的困難度遠高於其他可充電電池,關鍵技術包括材料配方、電池設計、極板製程、電池封裝、活化及安全測試技術等,其中材料配方主要是開發高性能且低成本的正負極材料,若能獲得突破,將可大幅提升鋰離子電池的效能。

科 學家已知道矽-石墨複合材料能提供十倍於單純石墨電極的電池容量,但受制於電池循環中能量快速損耗的問題,一直未能實行。最近,美國Sandia國家實驗 室的科學家在石墨中添加矽微粒,製成一種新的複合陽極材料,可以突破這個瓶頸,預估能使電池容量提升為一般可充電鋰電池的兩倍。研究人員表示,這種複合材 料的優點在於使用的是普遍又便宜的原料,製造方法又簡單,並可以藉由改變加入石墨晶格中的矽微粒數量,來調整電池的效能。這項成果將有助於製造出比現行可 充電式鋰電池壽命更長、體積更小並能提供更大電力的產品。許多行動式電子產品如手機、手提電腦及個人數位助理(PDA)等,都會因這種新材料而受惠。

壓印微影術能製作60奈米線寬的積體電路 2002/12/16


在 最近於舊金山舉行的「奈米壓印與印刷技術(Nanoimprint and Nanoprint Technology, NNT)研討會」上,普林斯頓大學發表以奈米壓印微影技術在4吋晶圓上製造出奈米級的金屬氧化物半導體(MOSFET)元件。奈米壓印微影是一種新的微影 技術,它捨棄傳統的光學透鏡,採用紫外光與液體浸泡方式將光罩圖案轉移到晶圓上。根據此種技術,透過四層光罩與三層覆蓋對齊,普大研究人員成功製造出60 奈米線寬的金屬氧化物半導體元

DNA分子可做為奈米馬達的燃料 2003/03/31


DNA 除了是建構生命的藍圖之外,在奈米科技的領域裡,DNA也是個多用途的材料之一。DNA由A、 C、 G、 T四個鹼基組成,其中C只和G配對,而A只和T配對。奈米科學家們利用這個特性,設計出特殊的DNA序列,用來製成新奇的特定結構。貝爾實驗室及牛津大學 的科學家們曾於2000年合成一小段DNA做為分子鑷子(molecular tweezers);透過再加入的一股DNA,可以控制這個DNA鑷子的開合。現在他們更設計了DNA loop,可以做為DNA分子馬達的動力來源。DNA環的反應相當的慢,當特別設計的DNA序列加入後,會打開這個DNA環而催化反應的進行。打開後的 DNA環會彼此結合,產生轉動馬達的能量,馬達自由轉動時會慢慢消耗DNA能源,直到耗盡DNA的能量為止。詳見近期將出刊的Physical Review Letters.

單次曝光就能製造三維結構的神奇光罩 2003/02/12


半 導體製程中的光微影術(photolithography)是將光罩上的圖案轉移到矽晶圓上,由於傳統光罩對紫外光而言是 「全過或全不過」,即未遮蔽的部份紫外光全部通過,遮蔽的部份則完全擋住,因此曝光後光阻材料上的圖案都有一致的高度,因此必須經由多次曝光程序才能顯現 三維結構,不僅耗時,成本也高。為克服這個缺點,美國西雅圖華盛頓大學的Folch教授等人最近開發了一種灰階(gray-scale)光罩,它是由一種 對紫外光透明的聚合物所構成,其中添加了能吸收紫外光的染料,經由改變染料濃度即可控制通過光罩後的光強度,因此採用這種光罩僅需一次曝光就可在光阻材料 表面刻劃出三維結構,即使像楔形或階梯形等複雜結構也能在幾秒鐘內形成。詳見即將出刊的C Chen et al. 2003 Proc. Nat. Acad. Sci.。

研究人員已能模仿薄膜輸送管道 2002/04/23


法國居里研究所(Institut Curie)的科學家製造出一種體外(in vitro)的系統,可以模仿在不同部位的細胞間傳遞資訊的薄膜輸送管道。研究人員說,這套系統能協助他們瞭解細胞間的蛋白質運送,將來也可能應用在奈米科技方面。

化學噴劑效法蓮花的自潔功能 2002/11/11


蓮 花如何出污泥而不染?這是因為它具有自潔效應:水滴在蓮葉上會形成水珠而滾落,因此即使淋雨也不會濕,更由於水珠會將葉面上 的塵粒帶走,因此能保持葉面的清潔。蓮葉的表面除了奈米結構外,還有一層直徑約1奈米的蠟結晶,這種在奈米尺寸下顯得粗糙的表面,由於與水或固體的實際接 觸面積小,反而比光滑表面更拒水防塵。德國化學公司BASF正在研發一種由奈米微粒及拒水性聚合物混合組成的鍍膜噴劑,這種名為蓮花石的噴劑模仿蓮花拒水 防塵的自潔功能,將來可望應用在紡織、皮革及建築材料上。

自潔玻璃終於在歐洲登陸 2002/09/19


自 潔(self-cleaning)玻璃向來是平面玻璃製造商如Pilkington公司的夢想。自從去年問世後,該公司的產 品Activ玻璃先是在愛爾蘭、奧地利及美國上市,直到今天才取道歐洲返抵英國。Activ玻璃能自潔的關鍵在於製造過程中在玻璃表面加上一層厚僅40奈 米的超薄鍍膜。該鍍膜的材料以二氧化鈦為主,它所含的光觸媒能與陽光中的紫外線作用,分解掉玻璃表面的有機殘渣;此外,由於該鍍膜為親水性,雨水以整片的 形式流下玻璃時連帶的將灰塵也沖刷掉了。

全新的微影技術為打破摩耳定律帶來契機 2003/01/22


美 國威斯康新大學的科學家發明一種新的微影(lithography)技術,能以線寬為100奈米的光罩製造出線寬為20奈米 的晶片,這種微影技術是藉由改變光罩與晶圓的距離來製造出光的相位移(phase-shifting),以控制光在通過光罩時所產生的繞射,而此繞射現象 正是傳統微影製程無法製造出比光罩線寬更小的晶片線寬的主因。這種新的技術對傳統光源或X射線光源的微影製程都適用,它將可使半導體工業打破摩耳定律 (Moore's law),提早八年實現該定律預測的製程能力。

桌上型深紫外雷射性能獲得大幅改善 2003/01/06


科 羅拉多大學的研究人員發展出能大幅提高桌上型深紫外(extreme ultraviolet, EUV)雷射功率並縮短其波長的發法。科大的Margaret Murnane及Henry Kapteyn率先採用高諧產生(high-harmonic generation, HHG)法來提升雷射頻率:在先前發展的桌上型深紫外雷射中,他們以飛秒可見光脈衝雷射照射充滿氣體的空心波導,透過氣體的游離化,將能量由基本頻率提高 至非常高諧,進入奈米級的深紫外範圍。最近,他們在波導直徑上加入起伏,使雷射光產生相位匹配(phase-matching),成功地將波長由30nm 降至7nm,功率則由100瓦提高至1百萬瓦。這項成果可望開啟新的應用領域,包括下一代的13nm深紫外光微影術及顯微學上。

DNA可協助製造磁性奈米材料 2003/02/27


日 本科學家近日研發出一種可用來製造分子磁鐵的方法,此種方法利用DNA雙股透過鹼基結合的特性,將金屬銅離子串接起來,目前 最多可做到五個並排的銅離子串,研究人員稱之為DNA金屬陣列(DNA metal array)。一般而言,雙股DNA在配對時,都是由四種環碳化合物腺嘌呤(Adenine, A)、鳥糞嘌砱(Guanine, G)、胞嘧啶(cytocine, C)以及胸腺嘧啶(thymidine, T),而A與T配對、G與C配對。東京大學的Mitsuhiko Shionoya等人以hydroxypyridone(H)替換這些鹼基,在配對時,銅離子正好可做為兩個H的連接橋樑(H-Cu2+-H), 所以當雙股DNA形成時,銅離子便組成一條磁性鏈,離子的間距為0.37nm。除了銅離子外,該研究小組也在進行異離子間連結的研究,並希望採用有三向或 四向接點(3- or 4-way junctions)的DNA,以便將金屬離子以二維或三維的方式排列。詳見Science 299, p.1212 (2003).

奈米金粒子可以大幅提昇生物感應器的效能 2003/03/25


以 色列與美國的科學家以金奈米微粒將葡萄糖氧化酵素貼到電極上,這個酵素-電極裝置最終可以做成微型生物感應器,放入人身體內 測量血糖濃度。耶路撒冷希伯來大學的研究員Itamar Willner指出,將單一金粒子植入蛋白質內,使其充當氧化還原反應中心與電極的接觸點,可提供酵素與葡萄糖進行氧化反應時,電子進入電極的通路。這個 作法可以將自然界中原來每秒700次的電子移轉交換率(electron-transfer exchange rate),大幅提升到每秒約5000次,電極的分子單一性(specificity)及零敏度(sensitivity)因而大增。靈敏度的提高有助於 實現微型生物感應器,分子單一性則能避免其它分子干擾分析結果,這樣的奈米生物電極才真正具有普及實用的價值。詳見近期的Science雜誌。

光墨水:以電壓改變顏色的彩色電子墨水 2003/03/21


加 拿大多倫多大學的研究人員最近發明一種新型的彩色電子墨水,只要輕輕按下開關,就能在半秒內改變墨水顯現的顏色。先前的電子 墨水原型只能顯示黑白兩色,因此雖然用來做為電子紙(electric paper)的可捲曲螢幕(flexible screen)已經出現,但它們仍採用以紅、綠、藍三個像素(pixel)混色的方法,來產生其他各種顏色。而這種被稱為「光墨水」(photonic ink)的新式電子墨水,其色彩來自於光的繞射過程,它包含許多直徑約300奈米的二氧化矽圓球,像水果攤上的橘子那樣堆疊起來,當光在這些小球間來回反 射,光的干涉會消除部份波長的光,最後反射出特定顏色的光。為了讓光墨水的顏色可變,研究人員在二氧化矽小球的周圍塗上一種聚合物膠,這種膠浸泡在溶劑中 會膨脹,去除溶劑後則會收縮,它的膨脹與收縮會改變奈米小球間的距離,因而改變光的干涉與墨水的顏色;更重要的,膨脹的聚合物膠會導電,因此改變施加於光 墨水的電壓便可改變聚合物膠所帶的電荷,進而改變它被浸泡的程度,而得以平滑地改變光墨水顯現的顏色。這種新式電子墨水可望應用在畫面可捲動的電子報紙, 或是用來製造化學感測器,依所偵測到的物質顯示不同的顏色。

奈米探測器可用來觀察細胞內的活動 2003/03/10


美 國密西根大學的研究人員計畫使用奈米探測器,來取得活細胞內部化學反應的及時三度空間影像;該跨學門的三年計畫已獲得兩百萬 美金的補助。這個稱為PEBBLE(probes encapsulated by biologically localized embedding)的探測器直徑只有20 奈米,小到原則上不會影響細胞的正常功能。鋅離子與銅離子在生物體內的含量很少,但卻對某些生物功能有重要影響。雖然科學家很清楚這些離子如何進出細胞, 但對於它們在細胞內的運動卻所知有限。有了奈米探測器,當生物體內的鋅或銅離子與探測器內的偵測分子結合時,探測器會發光,科學家便能研究這些離子的移動 模式。拜PEBBLE之賜,科學家們第一次見到這些微量的金屬離子在細胞內的工作情形。

蛋白石與碳奈米管的結合 2003/03/20


美 國科學家在人工合成的蛋白石(opal)上生長碳奈米管,製成具有特定光學性質的新材料。新澤西理工學院的研究人員首先以直 徑200至650奈米的二氧化矽(silica)奈米球(nanosphere)合成蛋白石薄膜,以這些排列整齊的二氧化矽球來支撐鉬 (molybdenum, Mo)/鈷(Cobalt, Co)觸媒粒子,然後透過化學氣相沉積法在蛋白石表面生長出平均直徑為0.9奈米的半導體型單壁碳奈米管(single-walled carbon nanotubes)。研究人員對該樣品進行光學性質測試,發現碳管的透射率隨著雷射光的強度增加而變大,在特定入射角度下,透射率有增強的現象;照光會 影響其電流-電壓特性曲線,而拉曼散射會隨著偏壓加大而減弱。研究人員指出,該結構可望用來製成快速、有效的有機全光式(all-optical)或光電 式(electro-optical)開關,以便應用在通訊及感測系統中。這項工作將發表於Applied Physics Letters.

碳奈米管複合物有助於場發射 2002/10/17


美 國的Applied Nanotech公司製造出針對電子場發射(electron field emission)應用的碳奈米管複合物,並宣稱在其特性上獲得重大改善。該公司說,由碳奈米管與其他導電或非導電奈米微粒結合成的複合物,能降低最佳場 發射所需的電壓。通常碳奈米管需要施加至少2.5至4.5 V/μm的電壓才能引起場發射,Applied Nanotech卻宣稱它的碳奈米管複合物在同樣的條件下只需1.5至3 V/μm。

研究人員將碳奈米管紡成長絲 2002/10/24


一 群中國研究人員發展出一項新技術,能由成束排列整齊的碳奈米管陣列中,抽出長達30公分的碳奈米管長絲。清華-富士康奈米技 術研究中心(Tsinghua-Foxconn Nanotechnology Research Center)的科學家原本是要從生長在矽基板上高約數百微米的碳奈米管陣列中,拉出一束碳奈米管,卻意外抽出一條連續的奈米管長絲,類似從蠶繭抽絲的過 程。由於碳奈米管獨特的電子及機械特性主要是表現在軸方向上,因此如果能被製成長絲,將可以用來建構巨觀的結構,同時仍保持碳奈米管的特性。詳見近期出刊 的Nature雜誌。

萊斯大學與IBM合作計算碳奈米管結構 2003/01/30


美 國計算巨擘IBM捐贈一台超級電腦給萊斯大學的生物與環境奈米科技中心(CBEN),該中心將以該設備來進行與碳奈米管及其 他奈米材料分子結構相關的複雜數學計算。CBEN的創始指導者諾貝爾獎得主Richard Smalley指出,碳奈米管的獨特性質使它的用途超乎想像,但許多應用都需要靠仔細了解它的結構與電子特性,而IBM的機器正好提供研究人員必要的協 助。IBM提供的eServer p690超級電腦使該中心的計算能力倍增,初步的計算顯示即使是小缺陷也會對奈米管的機械與電子特性造成劇烈影響。

奈米簇有助於製造直徑更均勻的碳奈米管 2002/11/01


美 國科學家發明了一種使碳奈米管的大小分佈更均勻的方法。由於碳奈米管的直徑大小與其螺旋性(helicity)及導電性有強 烈關連,因此如何獲得直徑固定的碳管成為非常重要的課題。杜克大學及北卡羅萊那大學的研究人員在以化學氣相沉積法生長碳奈米管的過程中,採用完全相同的分 子奈米簇做為催化劑,結果發現能製造出直徑更均勻的碳管。該研究小組希望最終能製造出完全是金屬性或完全是半導體性的碳管,而非目前由兩種型式混合構成的 產物。

自由電子雷射能大量製造碳奈米管 2003/02/05


科 學家們一直在尋找便宜而有效的方法,來製造高品質且特性可控制的碳奈米管。最近美國威廉瑪莉學院與太空總署的科學家成功地以 自由電子雷射達成這個目的,且效率是傳統技術的200倍。研究人員將雷射光照射置於旋轉石英棒上的石墨,石墨表面被雷射剝離的原子最後會群聚形成碳奈米 管。這種方法使用功率為1仟瓦的自由電子雷射,每小時可製造2公克的碳奈米管,每公克碳奈米管的成本為100美元;相對的,使用桌上型雷射每小時只能製造 出10毫克的碳奈米管,而每公克的成本卻需要200美元。目前研究小組希望能將自由電子雷射的功率提昇至10仟瓦,以得到碳奈米管的最佳化製程條件,並探 討碳奈米管的光化學產生機制。

改良過的微電子製程可用來生長奈米管 2002/06/10


德國的Infineon Techonologies宣稱它已採用與微電子製程(microelectronics process)相容的方法,在矽晶圓上生長碳奈米管。它的科學家更改了標準的微電子製程,成功地將奈米管生長在6吋晶圓上事先選定的位置。

碳奈米管能單獨發出螢光 2002/07/26


碳 奈米管有聚集形成平行束的強烈傾向,這個現象會干擾碳管的電子結構並影響其光學特性。美國Rice大學及Baylor醫學院 的科學家發展出一項能將碳奈米管個別分離出來的技術,結果發現直接能隙型半導體碳奈米管能發出波長在800-1600奈米範圍的螢光,而這正是光纖通訊及 生物造影最感興趣的波段。詳見近期的「科學」雜誌。

碳奈米管在閃光燈下消失 2002/04/26


單 壁碳奈米管又展現另一種獨特的性質:一般相機的閃光燈就能令其自燃。美國Rensselaer Polytechnic Institute的一個學生在嘗試為奈米管拍照時,意外發現了這個效應後,其指導教授Pulickel Ajayan立即組成研究小組展開研究。他們發現閃光能將碳奈米管加溫至驚人的高溫,未來或許能利用這個特性在安全距離外進行點火。詳見P Ajayan et al, Science 296, p.705 (2002).

碳奈米管的場發射效應有助於X-ray造影 2002/07/03


美 國北卡羅萊那大學Chapel Hill分校及Applied Nanotechnologies公司的研究人員將碳奈米管應用在冷陰極X-ray裝置中,並以該系統拍攝下一條魚及人手的影像。X-ray的產生是靠高 能電子撞擊金屬標靶,傳統的裝置是將金屬燈絲加熱到約攝氏1000度以游離出電子,稱為熱離子發射(thermionic emission)。此處,研究人員利用單壁奈米管的場發射(field emission)特性,可以在室溫下產生電子。該技術可望協助製造出體積更小、溫度更低、反應更迅速的裝置。

STM探針可用來在金基板上存取量子點 2002/11/27


一 群歐洲科學家採用掃瞄式穿隧電子顯微鏡(STM)成功地從在一塊金基板上增添及移除量子點(quantum dots)。由比利時、德國及荷蘭研究人員所組成的小組原先是想發展一套以化學方式將量子點與金屬基板連接的通用方法,以便透過STM探究量子點的電子結 構,卻意外發現了切斷及恢復半導體奈米微晶(量子點)與金屬基板間的分子接合的方法。他們以含有硫醇(thiol)的分子橋將硒化鎘(CdSe)量子點附 著在基板上,並以STM觀察量子點的影像,結果發現當基板的電壓為負時,量子點都附著在基板上,而當表面電壓大於250至500 mV時,奈米微晶都轉移到STM針尖上。詳見近期的Applied Physics Letters.

光學顯微鏡再創新記錄 2003/03/13


奈 米科技的發展仰賴研究人員操控奈米結構的能力,雖然許多先進方法如掃描探針(scanning probe)、光鑷子(optical tweezers)與原子力顯微鏡(atomic force microscopy)等都能達到這個目的,但它們並不能讓人實際「看到」奈米結構;另一方面,拉曼光譜儀(Raman spectroscopy)是量測通過樣品後被散射的雷射光光譜,由於它能測得材料本身特有的振動模態,因此能提供比其他影像方法更詳細的分子結構資訊。

美 國羅徹斯特大學的科學家最近使用一種稱為「近場表面增強拉曼光譜」(near-field surface-enhanced Raman spectroscopy)的技術來觀察碳奈米管,並得到迄今解析度最高(約17奈米)的光學影像──可見到寬度小於30奈米的細部節構。這種方法是先將 雷射光聚焦於銀探針尖端直徑約為10奈米的區域內,接著以探針在距離樣品上方1奈米處掃描,針尖的電磁波與樣品表面原子作用的結果,可使拉曼信號的強度增 大1015倍,因此可用來研究單一分子。這種新技術可以用來鑑定材料的化學組成,甚至可以「看到」一根碳奈米管是直立還是橫躺著,這是以前遠場顯微鏡所無 法辦到的。研究人員希望能進一步改進這個系統,將解析度降至5奈米,以得到蛋白質結構的影像。詳見Phys. Rev. Lett. 90, 095503 (2003)。


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