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Bewise Inc.

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*注入劑量均勻性受植入量與濺射效應所控制。
*於Beam-line製程中控制 <20~30°,可提升植入均勻性。
*MEVVA束斑大均勻性差異可達<1% 。
*PIII 利用電漿鞘層(plasma sheath)加速離子植入,均勻性最佳,唯工件尺寸需>電漿鞘層之寬度。
(3).傳統Beam-line與PBII特性
Beam-line PIII MEVVA
束流方向性 Line-of-sight Non light-of-sight Line-of-sight
束斑大小 小
大系統複雜性提高 無束斑大小之問題 束斑大且系統間單
製程時間 受工件表面積影響 劑量控制 劑量控制
製程溫度 高 低 低(<200℃ )
組裝經費 高 低 低
離子通量(ion flux) 低 中 高
離子電荷態
(charge state) 單一 多重 多重
四.電漿沉浸式離子植入技術 PIII (Plasma Immersed Ion Implantation)
(1). 工作原理與特性
* 工作原理:利用熱燈絲、DC 、 RF 或 ECR方式使氣體在真空腔中解離產生均勻的電漿，欲處理的樣品沉浸於該電漿中，再於樣品上施加一脈衝負高壓(-1~100kV)，電漿中的離子在樣品表面 高壓電場的作用下，加速入射到樣品各個表面並注入到材料晶格中，形成PIII技術的改質層。
*特點:與傳統離子植入技術相比具有無方向性的植入即在樣品表面全方位植入之優點。
(2). PIII 系統

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UC Berkeley PIII系統

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(3). 鞘層模型(Sheath model)

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