能源與光電薄膜科技研討會暨國科會專題研究成果發表會 -- 專家專訪二
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轉述:
分類:PVD 鍍膜技術
2006/11/03 10:31
受訪奈米材料(B組)專家:馮哲川 教授 台灣大學光電工程研究所

Q: 您是國內鍍膜界的資深學者。可否請您告訴我們最令您感到自豪之成果?
A: 在鍍膜方面,我已經做了二十多年的工作了。有兩方面的結果,對我自己來說,有比較好的contribution。一個是CVD,也就是chemical vapor deposition,成長cubic silicon carbide on silicon。那是從八十年代、1983年開始。尤其是83年到88年還有90年代,就能夠跟我的合作者長出很好的、單晶的cubic silicon carbide on silicon。同時,在這個工作的基礎上,在2003年、2004年分別還出了兩本關於silicon carbide的review books。分別由世界上兩個知名的專業publisher出版。一個是Taylor & Francis,還一個是Springer,都出了兩本專書。這是一方面。第二方面就是MOCVD的deposition,就是metalorganic chemical vapor deposition on gallium nitride materials和LED structure。這些工作在1955年、參加EMOCO後就開始。後來在新加坡材料研究院也做了些工作。以後在George Tech以及2003參加台大以來,還繼續在做這方面的研究。在這方面特別大的貢獻我覺得是在於對這些材料的物理分析跟結構的分析,都指出了這材料的晶體 質量跟生長條件跟各方面control的物理因素,以及如何改變它的方向。同時還有LED的microstructure、nanostructure、 special features方面,我們也做了不少工作。指出來LED,尤其是nitride base的LED的發光,應該主要是由他們的quantum dot like structure來引起的,而不是傳統的標準的quantum well structure引起的。所以在這些方面我們也覺得很高興能夠在這些方面取得一些進展,做出一些貢獻。
schematic energy band structures and the HAADF-STEM images for the two QW samples
   
Q: 您在鍍膜方面已有超過二十年的經歷,而鍍膜協會相對而言是相當的年輕。請您說說加入協會後的感想。
A: 在來台灣之前,我已經是亞洲CVD協會前後幾次國際會議的international organizer committee的member。在1999年,我們舉辦第一屆亞洲CVD associated conference,當時是在上海召開的。第二屆2001年在南韓舉行,我也去了。當時本來決定第三屆在台灣,三年後舉行。可是由於各種原因,沒能夠舉 行。我來到台灣以後也就大力推動這個。後來就由我們台灣的鍍膜協會來接手。在推動期間,陳理事長很熱心的協助,一起來完成這件事情,合作得很成功。當時交 大的一大群學生,還有台北科技大學的,我覺得很感動。尤其是台北科技大學的,也就是前任秘書長林瑞允還有蘇春禧,現在也是理事之一。他們都很努力的做出很 多貢獻。這也是我們2004亞洲CVD會議以及2004鍍膜年會辦的很成功的重要因素。大家群策群力,不計較名利地位。而且我現在看到鍍膜協會的這個傳統 一直繼續著。比如說,像這一次中興大學主辦,我也看到了從上到下整個系,還有很多學生都是很努力的奉獻。以及還有上一年在日月潭的年會。所以我覺得我們鍍 膜協會還是個朝氣蓬勃的協會。而且全台灣的各個學校大家都很努力。包括我們理事會今天討論的下一屆年會主辦單位,大家都很踴躍爭取。並不像有些時候有些協 會,工作就是這個推那個,最後接受的是勉為其難的。所以我覺得很好、很有希望。而且工業界的參與也愈來愈強。尤其鍍膜協會不是個pure science的協會,他必須要為工業服務。為台灣發展這個工業服務。所以我們能夠做到這一點,我覺得這個協會很有希望。會愈來愈好。
   
Q: 您談到工業服務,請教您認為協會在這方面能有什麼具體作為?
A: 我有這麼個看法,因為可能前幾任理事長與各個理事工作的關係,屬於硬質鍍膜方面,聯絡得比較多。但是有些新興的鍍膜產業,比如說MOCVD,我們現在台灣 已經有二三十個廠家在從事gallium nitride的MOCVD以及還包括III-V的MOCVD。現在他很有可能成為台灣產業的重點支柱之一。而這部份的廠家,現在參與鍍膜協會的活動還比 較少。所以我們應該多跟他們聯繫,吸取他們來參加。像現在連續的幾個月,我看譬如說我們的面板公司還有一些LED廠商的合併,都成為報紙版面的重要新聞。 這個呢,我們鍍膜協會應該努力參與進去。而做MOCVD與LED的研究學者有許多不在材料系,而在光電、電子等系所,我們應該努力鼓勵他們參與進來。同時 還有包括台積電、聯電等廠家,他們CVD的配備是特別多的。當然有些已經參與協會,但是如何使他們發揮更大的作用。因為像這樣子的大公司大廠商,他要支持 協會、donation一點的話,那這個聲勢就不同凡響。
   
Q: 所以您認為找到業界支持並不困難?
A: 並不困難。只要找到管道。有人要資助collaboration research,像我知道的比如說交大、清華他們很多科系的教授學生,都跟台積電與聯電有很多合作的關係。但是,這些大公司為了他們的營運的 benefit,有的時候參與會議得少一些。就協會來說,要主動的提供他們資訊,主動邀請他們。比如說,我們這一次邀請工研院的組長來做報告,這就很好。 我們也可以邀請這些公司。主動邀請他們會來。不主動邀請,有時他們很忙也就不會來了。若是managers與engineers有意願來,可是上頭沒有發 話,或者是看了你開會的通知,他就跟主管報告他想參加會議,這就不太容易獲得批准。但是如果協會給他正式的邀請,這會讓他們覺得鍍膜協會對他們公司很看 重。這樣子人家就會來。要跟產業界打交道一定要這樣子。它不像學校教授學生成天看e-mail,都願意來開這個會。產業界有時很不容易來,必須從外面去促 他、邀請他。而不是廣發開會通知說你願不願意來。所以說,作為理事會、理事長或者秘書班底應該對這些主要的大公司、對台灣的經濟產業與鍍膜協會的發展有舉 足輕重影響的公司,要主動的跟他們contact,而且要向他們發出邀請函。所以我希望下一屆的年會能增加像剛剛說的,像台積電、聯電,還有製造LED現 在已經合併的幾家大一點的公司的參與。
ref: http://www.tact.org.tw/20061101/20061101.htm#E1
引用:http://tw.myblog.yahoo.com/jw!EOUWG0WRGBKHrRDl8JmGBC4-/article?mid=1201


 



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