BW Professional Cutter Expert www.tool-tool.com

Prof. Liu (左) 與年會籌備會呂福興主委合照
Q: 劉教授您好，很高興您能應邀來本次研討會擔任首席演講者並答應接受此次專訪。您的演講題目是silicon nitride、boron nitride鍍膜研究，請您談談您的主要成果。
A: 很榮幸能受到貴協會邀請來台灣演講。我這次要講的主要材料是silicon carbide。一般都知道，silicon carbide是一種很好很硬的材料。尤其是在harshest environment下是很好的材料。而且它有很多很好的electronic property，例如wide band gap。不過一直以來，silicon carbide普遍用作substrate，應用在high temperature electronics。最近我也聽說很多人想用silicon carbide來做為太陽能轉換材料。雖然我不是太陽能方面專家，但也被詢問過此種可能性。它的導熱也相當好，也可用為thermal conductor。就coating來講，畢竟大家對coating都特別關心。我的背景是化工專長，一直在做micro-fabrication和 micro-machining的工作。所以，在一年多以前，我們開始用silicon carbide作為moisture和chemicals的resistor與barrier，也希望能用在electronic packaging上面去。但是silicon carbide大部分都在高溫製作，根本不可能用在electronics上。因為400 oC以上，大部分electronics早就壞了。所以我們想是一些條件，在低溫下做出silicon carbide。大家都同意還是用sputtering的方法。我們找到條件，在保守估計溫度40 oC以下作出silicon carbide都沒有問題。我們鍍膜的厚度在2000~5000 Å。可以鍍在玻璃與silicon上，也可鍍在polyimide，也就是flexible塑膠片上。這次我給的是個progress report。主要是在製程上，還包含一些物理性質的報告，硬度、pinhole free的情形、film uniformity以及stiffness等。未來我們希望了解它的光properties與electronic properties。我們最大的貢獻是可以在40 oC的low temperature以下，鍍2000到5000 Å厚的silicon carbide。我們也做boron nitride。Boron nitride也是很好的材料。因為它跟beryllium nitride很接近。我們也可以在40 oC的以下，鍍2000到6000 Å的boron nitride。很鼓勵他人來做它的光與電性質的研究。我的recipe都可以告訴有意願的人，可以重複製作。我另外還有電池相關的研究在進行。
silicon carbide on glass (left) and polyimide
　 　
Q: 我們知道您常來台灣，與台灣有相當深的淵源。可否請您簡單介紹您的學經歷以及您與台灣的關係？
A: 我是前清大校長劉炯朗的弟弟。我也常被人介紹是劉校長的弟弟 (爽朗的大笑)。我是成功大學畢業。四十多年到美國。在Cal Tech拿到master，再到Case獲得PhD。之後先到Pittsburgh大學任教。後來再回到Case教書。我與台灣多所大學有合作的關係。我 平均每年來台6次到8次。我在交通大學、成功大學、科技大學皆有合作還受聘為榮譽教授。也有清華大學、東海大學與成功大學獲得千里馬計畫補助的學生到我那 邊去。我也常回來演講。之前到ITRI演講，也認識當時在那裡服務、現在在中興任教的鍍膜協會武東星秘書長。這次在中興大學演講biosensor，也有 機會與工學院林院長見面，彼此皆希望未來能建立良好合作關係。
　 　
Q: 您從事鍍膜的研究有多久時間？
A: 我的研究主要工作是在chemical與biosensor方面。大約三四年前，開始想到應用鍍膜技術製作mechanical coatings。我在chemical與biosensor方面有很多的成果。我也做micro- fabrication與micro-machining，這方面成果也很多。
　 　
Q: 您在美國Case Western Reserve University的研究團隊規模如何？
A: 我主持的Micro and Nano Processing中心具有厚膜與薄膜設備。以薄膜來說，有diffusion furnace、photoresist sputtering等。厚膜有screen printing、inkjet printing等。中心有6個技術員。我也曾到台灣的數個研究單位訪問。我覺得其中很大的問題是沒有足夠技術員的編制。設備都是靠學生的保養。這是不行 的。我的技術員的薪水是由我找的，因為中心的技術員也不是編制內人員。目前中心提供設備供全校各系45名博士生使用。而我的博士生則有7位。我的所有的博 士生都領薪水。
　 　
Q: 您覺得台灣的學生素質如何？能否給他們一些建議？
A: 我最近收了很多台灣大學來的學生，我都用英文與他們一對一的interview。他們的表現都非常好。我覺得一般學生的水準都不錯。我也遇到過其他學校來 的學生，例如千里馬的學生，表現都很不錯。如果要我給學生一些建議，我會建議他們不要一直跟著老師、一直跟著文獻。多創造新的東西。因為他們太小心了。

ref: http://www.tact.org.tw/20061101/20061101.htm#E1
引用：http://tw.myblog.yahoo.com/jw!EOUWG0WRGBKHrRDl8JmGBC4-/article?mid=1200

BW碧威股份有限公司針對客戶端改善切削方式、提供專業切削CNC數控刀具專業能力、製造客戶需求如：Cutting tool、切削刀具、HSS Cutting tool、Carbide end mills、Carbide cutting tool、NAS Cutting tool、Carbide end mill、Aerospace cutting tool、Carbide drill、High speed steel、Milling cutter、Core drill、鎢鋼銑刀、航太刀具、鎢鋼鑽頭、高速剛、鉸刀、中心鑽頭、Taperd end mills、斜度銑刀、

Metric end mills、公制銑刀、Miniature end mills、微小徑銑刀、鎢鋼切削刀具、Pilot reamer、領先鉸刀、Electronics cutter、電子用切削刀具、Step drill、階梯鑽頭、Metal cutting saw、金屬圓鋸片、Double margin drill、領先階梯鑽頭、Gun barrel、Angle milling cutter、角度銑刀、Carbide burrs、滾磨刀、Carbide tipped cutter、銲刃刀具、Chamfering tool、倒角銑刀、IC card engraving cutter、IC晶片卡刀、Side cutter、側銑刀、NAS tool、DIN tool、德國規範切削刀具、Special tool、特殊刀具、Metal slitting saws、Shell end mills、滾筒銑刀、Side and face milling cutters、Side chip clearance saws、交叉齒側銑刀、Long end mills、長刃銑刀、Stub roughing end mills、粗齒銑刀、Dovetail milling cutters、鳩尾刀具、Carbide slot drills、Carbide torus cutters、鎢鋼圓鼻銑刀、Angeled carbide end mills、角度鎢鋼銑刀、Carbide torus cutters、短刃平銑刀、Carbide ball-noseed slot drills、鎢鋼球頭銑刀、Mould cutter、模具用刀具、BW微型渦流管槍、Tool manufacturer、刀具製造商等相關切削刀具、以服務客戶改善工廠加工條件、爭加競爭力。

歡迎尋購～～～

碧威股份有限公司

www.tool-tool.com